【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于微滴沉积装置的喷嘴板。喷嘴板通常安装在具有多个喷墨腔的微滴沉积装置的主体上，以便为各腔提供相应的微滴喷嘴。由于必须以高精度在喷嘴板中形成喷嘴以例如保证从喷射腔中喷出的微滴的尺寸和速度的一致性，因此通常采用激光烧蚀来在喷嘴板中形成喷嘴。通常采用塑料如聚酰亚胺、聚砜或其它这类可激光烧蚀的塑料来形成喷嘴板，在将墨水排斥层涂覆到喷嘴板的一个表面上之后，通过将喷嘴板暴露于适当直径的激光束如准分子激光束下来形成各个喷嘴。接着将带有所完成的喷嘴的喷嘴板粘结到装置的主体上，并使各喷嘴与形成于主体中的相应腔对准。使用塑料制造喷嘴板会使喷嘴板的强度较弱而易受到机械损伤。虽然可采用较硬的材料如金属或陶瓷材料来制造喷嘴板，但是在这种喷嘴板中不太容易形成精确的喷嘴。本专利技术力图在其优选实施例中解决上述和其它的问题。在本专利技术的第一方面中，提供了一种用于微滴沉积装置的喷嘴板，该喷嘴板包括主体和多个喷嘴，各喷嘴具有入口、出口，以及在入口和出口之间延伸并形成为穿过形成于主体的开口内的聚合物材料的内孔。这使得喷嘴板主体能够用相对较硬的材料如塑料、金属或陶瓷材料制成，同时...
【技术保护点】
一种用于微滴沉积装置的喷嘴板，所述喷嘴板包括主体和多个喷嘴，各所述喷嘴具有入口、出口，以及在所述入口和出口之间延伸并形成为穿过形成于所述主体的开口内的聚合物材料的内孔。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：W扎普卡，R哈维，S特姆普尔，S奥默，PR德鲁里，
申请(专利权)人：萨尔技术有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。