光调制器以及激光干涉仪制造技术

本发明专利技术公开了光调制器以及激光干涉仪，能够对激光重叠低频的调制信号，实现低成本化。一种光调制器，其特征在于，具备：振动元件，具有沿第一方向弯曲振动的振动部；衍射光栅，配置于所述振动部，并包括沿所述第一方向并列设置的多个槽，所述光调制器使入射到所述衍射光栅的激光的频率频移。此外，所述振动元件具备基部，所述振动部包括沿所述第一方向排列配置并且与所述基部连接的第一振动臂以及第二振动臂，所述第一振动臂以及所述第二振动臂沿所述第一方向弯曲振动，所述衍射光栅优选配置于所述第一振动臂以及所述第二振动臂中的至少一方。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光调制器以及激光干涉仪。

技术介绍

1、在专利文献1中，公开了一种掌握移动物体的移动的激光多普勒测量装置。在激光多普勒测量装置中，对被测定物照射激光，基于受到多普勒频移的散射激光测量移动。具体而言，利用外差干涉，得到激光的频率的频移量，并且根据该频移量，求出移动物体的速度、位移。

2、专利文献1中记载的激光多普勒测量装置具备移频器型的光调制器。该光调制器具备进行厚度剪切振动的水晶at振动子、包括在该振动子的位移方向上并列设置的多个槽的衍射光栅。在该光调制器中，由于厚度剪切振动为面内振动，即在与入射的激光的入射方向交叉的方向上振动，因此难以使激光的频率频移。换言之，为了有效地使激光的频率频移，要求激光的入射波数矢量与出射波数矢量的差和水晶at振动子的振动矢量的内积足够大。但是，在仅使用水晶at振动子的情况下，该内积大致为零。因此，在专利文献1中记载的光调制器中，在水晶at振动子中组合衍射光栅。该衍射光栅在与水晶at振动子的振动方向交叉的方向上具有槽。由此，振动矢量的方向被变换，能够使前述的内积超过零，能够进行激光的频率频移。

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【技术保护点】

1.一种光调制器，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的光调制器，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的光调制器，其特征在于，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的光调制器，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的光调制器，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的光调制器，其特征在于，

7.根据权利要求5所述的光调制器，其特征在于，

8.根据权利要求1至3中任一项所述的光调制器，其特征在于，

9.一种激光干涉仪，其特征在于，具备：

10.根据权利要求9所述的激光干涉仪，其特征在于...

【技术特征摘要】

1.一种光调制器，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的光调制器，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的光调制器，其特征在于，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的光调制器，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的光调制器，其特征在于，

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【专利技术属性】
技术研发人员：山田耕平，松尾敦司，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：