压电元件、压电致动器制造技术

本发明专利技术提供一种压电特性和耐久性优异的压电元件、压电致动器。压电元件具备基板、第一电极、包含钾、钠和铌的薄膜压电体和第二电极。在将薄膜压电体在成膜方向上二等分，并将第一电极侧设为第一区域且将第二电极侧设为第二区域时，在第一区域中(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值除以(100)面的XRD峰值强度、(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值的得到的值A，小于在薄膜压电体中(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值除以(100)面的XRD峰值强度、(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值而得到的值B。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种压电元件、压电致动器。

技术介绍

1、一直以来，作为压电元件的压电体层的材料之一，已经研究出了铌酸钾钠(knn；(k，na)nbo3)(例如，参照专利文献1)。

2、由knn膜构成的knn压电体层能够通过提高(100)面的结晶取向度来增大应变量。因此，在使用了knn压电体层的压电元件的开发中，通常使用在(100)面上结晶取向的knn膜。但是，在(100)面上结晶取向的knn膜与在(111)面或者(110)面上结晶取向的knn膜相比较，存在与被形成于knn膜上的电极的紧贴强度降低的课题。因此，当knn压电体层的位移量增大时，在电极与knn膜的界面处有可能发生剥离。

3、专利文献1：日本特开2016-178253号公报

技术实现思路

1、根据本专利技术的一个方式，提供一种压电元件，该压电元件具备：基板；第一电极，其被成膜在所述基板上；薄膜压电体，其被成膜在所述第一电极上，且包含钾、钠和铌；第二电极，其被成膜在所述薄膜压电体上。在将所述薄膜压电体在成膜方向上二等分，并将所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种压电元件，具备：

2.如权利要求1所述的压电元件，其中，

3.如权利要求1所述的压电元件，其中，

4.一种压电致动器，具备：

5.如权利要求4所述的压电致动器，其中，

6.如权利要求4所述的压电致动器，其中，

【技术特征摘要】

1.一种压电元件，具备：

2.如权利要求1所述的压电元件，其中，

3.如权利要求1所述的压电元件，其中，

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【专利技术属性】
技术研发人员：酒井朋裕，中山雅夫，北田和也，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：