下载压电元件、压电致动器的技术资料

文档序号:41449687

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本发明提供一种压电特性和耐久性优异的压电元件、压电致动器。压电元件具备基板、第一电极、包含钾、钠和铌的薄膜压电体和第二电极。在将薄膜压电体在成膜方向上二等分,并将第一电极侧设为第一区域且将第二电极侧设为第二区域时,在第一区域中(111)面的...
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