成膜方法、液体供给头及液体供给装置制造方法及图纸

一种成膜方法，通过对喷嘴孔（２１）的内周面（２１２）及喷嘴板（２）的大致整个面形成被加工膜的工序、和将保护被加工膜的片材以一部分被填充在喷嘴孔（２１）内的方式安装在喷嘴板（２）的面（２２）的工序、和通过从喷嘴板（２）的上面（２３）施加等离子体处理及／或紫外线照射处理并去除被加工膜的从片材露出了的部分而得到疏液膜（７）的工序、和从喷嘴板（２）剥离片材而去除的工序，形成喷嘴板（２）的墨水喷出口（２１１）侧的面（２２）、和喷嘴孔（２１）的内周面（２１２）的局部区域（２１２ａ）连续而成的疏液膜（７）。由此，提供一种能用简单的工序／设备，在设在基板上的贯通孔的内周面的局部区域，以低成本形成膜的成模方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种成膜方法、液体供给头及液体供给装置。
技术介绍
喷墨头(液体供给头)具有微细喷嘴孔隔开微小间隔而形成多个的喷嘴板，并通过从喷嘴的一方的开口(墨水喷出口)喷出墨滴而滴落在印刷纸上，进行印刷。在这样的喷墨头中，如果喷嘴板的墨水喷出口侧的面附着墨水，则其后被喷出的墨水的喷出轨道会受到附着了的墨水的表面张力或粘性等的影响而被弯曲，产生墨水无法滴落在规定的位置的问题。因此，在喷嘴板的墨水喷出口侧的面、和喷嘴孔的内周面的墨水喷出口附近进行形成由氟系树脂等构成的疏液膜的工序。这样的疏液膜的形成，例如按如下方式进行(例如，参照专利文献1。)首先，准备喷嘴板，并在其墨水喷出口和反对侧的面层叠能由光进行硬化的感光性树脂薄膜。粘结，对该感光性树脂薄膜施加压力并加热。由此，在喷嘴板的内面热压接感光树脂薄膜，同时与喷嘴孔对应的部分的感光性树脂薄膜进入到喷嘴孔内。粘结，照射紫外线，并使感光性树脂薄膜硬化。粘结，将喷嘴板例如浸渍在通过电荷分散了镍离子和氟系树脂的电解溶液中，再搅拌。由此，在喷嘴板的没有被感光性树脂薄膜覆盖的部分、即，喷嘴板的墨水喷出口侧的面、和喷嘴孔的内周面的墨水喷出口附近形成共析镀层。粘结，将感光性树脂薄膜通过溶剂来溶解去除之后，以构成共析镀层的氟系树脂的熔点以上的温度来加热喷嘴板。通过以上的工序，在喷嘴板的墨水喷出口侧的面、和喷嘴孔的内周面的墨水喷出口附近形成疏液膜。但是，在如上所述的疏液膜的形成方法中，由于对不形成疏液膜的区域使用感光树脂薄膜，因此除了用于形成疏液膜的工序以外，还要进行将感光性树脂薄膜热压接在喷嘴板的工序、使感光性树脂硬化的工序、或将感光性树脂薄膜溶解去除的工序。这些工序很复杂，另外，需要用于进行各工序的设备。而且，感光性树脂薄膜本身很昂贵，由此存在制造成本高的问题。专利文献1特开平7-125220号公报
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种能用简单的工序/设备，在设在基板上的贯通孔的内周面的局部区域，以低成本形成膜的成模方法、以及具备通过该成膜方法形成的疏液膜的液体供给头、和具备该液体供给头的液体供给装置。本专利技术的目的通过下述的本专利技术来实现。本专利技术的成膜方法，是在设在基材中的贯通孔的内周面的、从一端向另一端的规定长度的局部区域形成膜的成膜方法，包括第1工序，在包含上述贯通孔的内周面的上述局部区域的区域，形成用于得到上述膜的被加工膜；第2工序，将保护上述被加工膜的片材，以其一部分被填充在上述贯通孔内的方式安装在上述基材的上述贯通孔的一端侧的面；第3工序，通过从上述贯通孔的另一端侧对上述基材施加等离子体处理及/或紫外线照射处理而去除从上述片材露出的上述被加工膜，留下存在于上述局部区域的上述被加工膜，得到上述膜；第4工序，从上述基材将上述片材剥离而去除。由此，在设在基材中的贯通孔的内周面的局部区域，能够使用简单的工序/设备，同时以低成本来形成膜。在本专利技术的成膜方法中，优选在上述第1工序中使用含有上述膜的构成材料的液体形成上述被加工膜。根据该方法(液相成膜)，能够容易地并且可靠地形成被加工膜。在本专利技术的成膜方法中，优选在上述第2工序中将上述片材的一部分以覆盖含有上述局部区域的上述被加工膜的方式填充在上述贯通孔内，在上述第3工序中，通过上述等离子体处理及/或上述紫外线照射处理，一边去除覆盖上述局部区域以外的上述被加工膜的上述片材，一边去除从上述片材露出的上述被加工膜。由此，作为片材能够使用的材料的选择范围广。在本专利技术的成膜方法中，优选在上述第3工序中在大气压下进行上述等离子体处理及/或上述紫外线照射处理。由此，无需减压泵，因此对膜的制造成本的降低有利。在本专利技术的成膜方法中，优选在上述第3工序中在减压下进行上述等离子体处理及/或上述紫外线照射处理。由此，在施加等离子体处理的情况下，能够容易地并且可靠地产生等离子体，在施加紫外线照射处理的情况下，由于能够减少处理空气中的水蒸气量，因此能够用水蒸气吸收进行照射的紫外线，能够很好地防止衰减。另外，被加工膜的分解物容易扩散到处理空气中，能够进一步可靠地从基材去除被加工膜的分解物。在本专利技术的成膜方法中，上述贯通孔的一端侧的开口面积优选(平均)是50～40000μm2。在上述的极小的贯通孔的内周面形成膜的情况下，适用本专利技术的成模方法。由此能够在贯通孔的内周面的局部区域容易地并且可靠地形成膜。在本专利技术的成膜方法中，上述片材优选具有粘着性或粘结性。通过作为片材具有粘着性或粘结性，在基材上能够进一步可靠地安装片材，特别是，通过使用具有粘着性的材料，在第4工序中，能够从基材容易地并且可靠地剥离片材。在本专利技术的成膜方法中，优选在上述第1工序中将上述被加工膜形成在上述贯通孔的内周面及上述基材的表面，并将上述膜以上述贯通孔的内周面的上述局部区域、和上述基材的上述贯通孔的一端侧的面连续的方式形成。本专利技术的液体供给头，其特征在于，具备 喷头主体，其设有液体通过的流路，该流路的一方的开口构成排出上述液体的排出口；疏液膜，其通过权利要求8中上述的成模方法，以上述流路的内周面的排出口附近的局部区域、和上述喷头主体的上述排出口侧的面连续的方式形成。由此，得到能够对目的处可靠并均匀地供给液体的液体供给头。本专利技术的液体供给头优选具备能够从上述排出口将上述液体作为液滴来喷出的液滴喷出机构。本专利技术的液体供给装置，其特征在于，其具备上述技术方案中上述的液体供给头。由此，得到能够对目的处可靠并均匀地供给液体的液体供给装置。附图说明图1是表示将本专利技术的液体供给头适用在喷墨喷嘴的情况的实施方式的纵剖面图。图2是用于说明在图1中所示的喷墨头的制造方法的图。图3是用于说明在图1中所示的喷墨头的制造方法的图。图4是用于说明在图1中所示的喷墨头的制造方法的图。图5是用于说明在图1中所示的喷墨头的制造方法的图。图6是用于说明在图1中所示的喷墨头的制造方法的图。图7是表示适用了本专利技术的液体供给装置的喷墨打印机的实施方式的概略图。图中1-喷墨头，2-喷嘴板，21-喷嘴孔，211-墨水喷出口，212-内周部，212a-局部区域，212b-区域，22-墨水喷出口侧的面，23-上面，24-侧面，3-空腔板，31-振动板，4-电极板，5-空隙，51-墨水喷出室，52-孔，53-储藏部，54-墨水引入口，6-墨滴，7-疏液膜，70-被加工膜，8-振动室，81-个别电极，10-片材，100-等离子体处理装置，101-腔室，102-基板载置用载物台，103-等离子体产生用头，900-喷墨打印机，920-装置主体，921-托盘，922-排纸口，930-喷头单元，931-墨水盒，932-滑动架，940-印刷装置，941-滑动架电动机，942-往返移动机构，943-滑动架导向轴，944-同步带，950-供纸装置，951-供纸电动机，952-供纸辊，952a-从动辊，952b-驱动辊，960-控制部，970-操作盘，P-记录用纸。具体实施例方式下面，基于在附图中表示的实施方式来详细地说明本专利技术的成膜方法、液体供给头及液体供给装置。首先，说明将本专利技术的液体供给头适用在喷墨头的情况下的实施方式。此外，作为喷墨头，在本实施方式中举例说明了所采用的静电驱动方式，但是，并不局限于此，例如，也可以采用压电方式等的其他驱动方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成膜方法，是在设在基材中的贯通孔的内周面的、从一端向另一端的规定长度的局部区域形成膜的成膜方法，包括：第１工序，在包含所述贯通孔的内周面的所述局部区域的区域，形成用于得到所述膜的被加工膜；第２工序，将保护所述被加工膜的片 材，以其一部分被填充在所述贯通孔内的方式安装在所述基材的所述贯通孔的一端侧的面；第３工序，通过从所述贯通孔的另一端侧对所述基材施加等离子体处理及／或紫外线照射处理而去除从所述片材露出的所述被加工膜，留下存在于所述局部区域的所述被加工 膜，得到所述膜；第４工序，从所述基材将所述片材剥离而去除。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：西岛辰巳，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]