磨削装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种磨削装置，目的在于能容易地进行磨削轮的装卸作业。磨削轮装卸构件（30）具有：第1抽吸管（31），其沿旋转轴（24）的长度方向贯穿旋转轴（24）的内部；第2抽吸管（32），其与第1抽吸管（31）连通，并与配设在轮座（23）的装配面（200）上的抽吸口（201）连接；抽吸阀（33），其对从抽吸口（201）进行抽吸和切断抽吸进行切换；以及引导部（37），其将磨削轮（22）引导至轮座（23）的预定位置，因此通过打开抽吸阀（33），能够通过引导部（37）将磨削轮（22）不偏移地引导到轮座（23）的装配面（200）并进行抽吸保持。因此，即使不使用螺丝也能够容易地进行磨削轮（22）的装卸作业。

【技术实现步骤摘要】
磨削装置
本专利技术涉及具有能够装卸的磨削轮的磨削装置。
技术介绍
对形成有半导体器件等的板状工件进行磨削的磨削装置至少由以下部分构成：保持构件，其具有保持板状工件的保持工作台；以及磨削构件，其装配有对板状工件实施磨削的磨削轮。并且，通过磨削轮来对保持在保持工作台上的板状工件进行磨削直到使该板状工件薄化为预定厚度为止。磨削轮通过螺丝固定在旋转轴的轮座来进行使用，但是当紧固在该磨削轮下部的磨削磨具损耗时，需要将该磨削轮从轮座卸下并更换为新的磨削轮。在磨削轮的更换作业中，松开紧固于轮座的螺丝后从轮座取下使用过的磨削轮，并将新的磨削轮安装到轮座并拧紧螺丝来进行固定。这样，在一连串的磨削轮的更换作业中，需要进行拆卸或拧紧螺丝的作业，为了将新的磨削轮可靠地固定在轮座而使用多个螺丝（例如，参照专利文献1）。现有技术文献专利文献1：日本特开2006-224201号公报但是，存在这样的问题：当在磨削轮相对于轮座的装卸作业中使用多个螺丝时，磨削轮的装卸作业很繁杂。另外，当通过多个螺丝将磨削轮装配到轮座时，轮座的装配有磨削轮的装配面、和磨削轮的与该装配面接触的被装配面紧贴，有时很难卸下磨削轮。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述事情而完成的专利技术，本专利技术的要解决的课题在于，能够容易地进行磨削轮相对于轮座的装卸作业。本专利技术的磨削装置至少具有：保持工作台，其用于保持板状工件；以及磨削构件，其用于对上述保持工作台保持的板状工件进行磨削，上述磨削构件由以下部分构成：环形形状的磨削轮，在该磨削轮上呈环状地排列有磨削磨具；轮座，其具有装配上述磨削轮的装配面；旋转轴，其与上述轮座连接，并能够以上述轮座的中心为轴使上述轮座旋转；以及磨削轮装卸构件，其将上述磨削轮装配到上述轮座以及使上述磨削轮从上述轮座脱离，上述磨削轮装卸构件具有：第1抽吸管，其沿上述旋转轴的长度方向贯穿上述旋转轴的内部；第2抽吸管，其配设于上述轮座的内部，与上述第1抽吸管连通并且与配设在上述轮座的上述装配面上的抽吸口连接；抽吸阀，其对从上述抽吸口进行抽吸和切断上述抽吸进行切换；以及引导部，当通过上述抽吸阀的工作将上述磨削轮抽吸保持到上述轮座的上述装配面时，上述引导部将上述磨削轮引导至上述轮座的预定位置。优选的是，上述磨削装置具有磨削液供给构件，该磨削液供给构件向装配在上述轮座上的上述磨削轮供给磨削液，上述磨削液供给构件具有：第1供给管，其与上述第1抽吸管平行地沿上述旋转轴的长度方向贯穿上述旋转轴的内部；第2供给管，其配设于上述轮座的内部，与上述第1供给管连通并与配设于上述装配面上的供给口连接；以及通液阀，其对向上述供给口流通磨削液和切断该流通进行切换，通过使上述通液阀工作能够向上述磨削轮供给磨削液，上述供给口形成为围绕上述抽吸口周围的形状，通过供给到上述供给口的磨削液来对上述轮座的装配面和装配在上述装配面上的上述磨削轮的被装配面之间的间隙进行液体密封。优选的是，上述磨削装置具有排出阀，该排出阀与向上述第1抽吸管供给流体的供给源连接，并对从上述抽吸口排出流体和切断上述排出进行切换。另外，优选的是，上述磨削装置具有保持维持构件，该保持维持构件对使抽吸阀工作、通过来自抽吸口的抽吸而被抽吸保持的磨削轮的保持进行维持。专利技术效果由于设置在本专利技术的磨削装置的磨削轮装卸构件具有：第1抽吸管，其沿旋转轴的长度方向贯穿旋转轴的内部；第2抽吸管，其与第1抽吸管连通并且与配设在轮座的装配面上的抽吸口连接；抽吸阀，其对从抽吸口进行抽吸和切断抽吸进行切换；以及引导部，其将磨削轮引导至轮座的预定位置，因此通过打开抽吸阀能够抽吸磨削轮，并能够通过引导部将磨削轮不偏移地引导到轮座的装配面并进行抽吸保持。因此，即使不使用螺丝也能够容易地进行磨削轮的装卸作业。上述磨削装置具有向装配在轮座上的磨削轮供给磨削液的磨削液供给构件，磨削液供给构件具有：第1供给管，其与第1抽吸管平行地沿旋转轴的长度方向贯穿旋转轴的内部；第2供给管，其与第1供给管连通并且与供给口连接；以及通液阀，其对从供给口流通磨削液和切断流通进行切换，因此在板状工件的磨削中，通过打开通液阀，能够向供给口供给磨削液，并且能够对形成于轮座的装配面和磨削轮的被装配面之间的间隙进行液体密封来封闭该间隙。因此，能够防止在板状工件的磨削中产生的磨削屑等侵入到形成于磨削轮的被装配面和轮座的装配面之间的间隙，磨削轮不会过度紧贴于轮座，从而能够从轮座容易地卸下磨削轮。另外，由于上述磨削装置的第1抽吸管具有排出阀，该排出阀与向第1抽吸管供给流体的供给源连接并且对从抽吸口朝向磨削轮的流体的排出和排出的切断进行切换，因此在从轮座卸下磨削轮时，通过打开排出阀，能够从抽吸口朝向磨削轮的被装配面排出流体。因此，能够从轮座容易地卸下磨削轮。另外，由于在磨削装置所具有的轮座的下表面设置有用于维持对磨削轮的抽吸保持的多个保持维持构件，因此能够维持磨削轮通过抽吸保持而装配于轮座的状态。因此，能够防止在板状工件的磨削中磨削轮从轮座掉落。附图说明图1是表示磨削装置的结构的立体图。图2是表示在卸下了磨削轮的状态下的磨削构件的结构的仰视图。图3是沿图2中的a-o-b线的剖视图。图4是表示磨削轮的仰视图。图5是沿图2中的o-c线的剖视图，（a）表示引导部被收纳在槽中的状态，（b）表示引导部的下部插入到定位槽的状态。图6是表示轮座一边抽吸保持磨削轮一边向磨削轮供给磨削液的状态的剖视图。图7是表示形成于轮座的液体密封部的仰视图。图8是表示使磨削轮从轮座脱离的状态的剖视图。标号说明1：磨削装置2：装置基体2a：上表面3：支柱4：移动基座5：保持工作台5a：保持面6：波纹部件7：旋转接头8：槽9：定位槽10：磨削进给构件11：滚珠丝杠12：马达13：导轨14：升降板20：磨削构件21：磨削磨具22：磨削轮22a：凸缘23：轮座24：旋转轴25：机壳200：装配面201：抽吸口210：被装配面30：磨削轮装卸构件31：第1抽吸管32：第2抽吸管33：抽吸阀34：抽吸源35：排出阀36：供给源37：引导部37a：扩径部38：弹簧40：保持维持构件41：销50：磨削液供给构件51：第1供给管52：第2供给管53：通液阀54：磨削液供给源55：供给口56：流路57：磨削液60：间隙具体实施方式图1所示的磨削装置1至少由沿Y轴方向延伸的装置基体2、和立设在装置基体2的Y轴方向后部侧的支柱3构成。在装置基体2的上表面2a配设有能够沿Y轴方向移动的移动基座4，移动基座4将保持工作台5支撑为能够旋转，上述保持工作台5具有抽吸保持被加工物的保持面5a。并且，移动基座4随着波纹部件6的伸缩而沿Y轴方向移动，由此，能够使保持工作台5沿同一方向移动。如图1所示，在支柱3的侧方，通过磨削进给构件10支撑有磨削构件20，上述磨削构件20对被加工物实施磨削。磨削进给构件10具有：滚珠丝杠11，其沿Z轴方向延伸；马达12，其与滚珠丝杠11的一端连接；一对导轨13，其与滚珠丝杠11平行地延伸；以及升降板14，设置于该升降板14内部的螺母与滚珠丝杠11螺合并且升降板14的侧部与导轨13滑动接触。当磨削进给构件10被马达12驱动而使滚珠丝杠11转动时，使升降板14沿一对导轨13沿Z轴方向移动，由此，能够使与升降板14连接的磨削构件10升降。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磨削装置，其至少具有：保持工作台，其用于保持板状工件；以及磨削构件，其用于对上述保持工作台保持的板状工件进行磨削，上述磨削装置的特征在于，上述磨削构件由以下部分构成：环形形状的磨削轮，在该磨削轮上呈环状地排列有磨削磨具；轮座，其具有装配上述磨削轮的装配面；旋转轴，其与上述轮座连接，并能够以上述轮座的中心为轴使上述轮座旋转；以及磨削轮装卸构件，其将上述磨削轮装配到上述轮座以及使上述磨削轮从上述轮座脱离，上述磨削轮装卸构件具有：第1抽吸管，其沿上述旋转轴的长度方向贯穿上述旋转轴的内部；第2抽吸管，其配设于上述轮座的内部，与上述第1抽吸管连通并且与配设在上述轮座的上述装配面上的抽吸口连接；抽吸阀，其对从上述抽吸口进行抽吸和切断上述抽吸进行切换；以及引导部，当通过上述抽吸阀的工作将上述磨削轮抽吸保持到上述轮座的上述装配面时，上述引导部将上述磨削轮引导至上述轮座的预定位置。

【技术特征摘要】
2012.11.21 JP 2012-2551321.一种磨削装置，其至少具有：保持工作台，其用于保持板状工件；以及磨削构件，其用于对上述保持工作台保持的板状工件进行磨削，上述磨削装置的特征在于，上述磨削构件由以下部分构成：环形形状的磨削轮，在该磨削轮上呈环状地排列有磨削磨具；轮座，其具有装配上述磨削轮的装配面；旋转轴，其与上述轮座连接，并能够以上述轮座的中心为轴使上述轮座旋转；以及磨削轮装卸构件，其将上述磨削轮装配到上述轮座以及使上述磨削轮从上述轮座脱离，上述磨削轮装卸构件具有：第1抽吸管，其沿上述旋转轴的长度方向贯穿上述旋转轴的内部；第2抽吸管，其配设于上述轮座的内部，与上述第1抽吸管连通并且与配设在上述轮座的上述装配面上的抽吸口连接；抽吸阀，其对从上述抽吸口进行抽吸和切断上述抽吸进行切换；以及引导部，当通过上述抽吸阀的工作将上述磨削轮抽吸保持到上述轮座的上述装配面时，上述引导部将上述磨削轮引导至上述轮座的预定位置，上述...

【专利技术属性】
技术研发人员：高田畅行，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：