浮起搬送热处理装置制造方法及图纸

提供能够在短时间内对加热后的基板进行冷却的浮起搬送热处理装置。浮起搬送热处理装置（1）排列有多个浮起搬送单元，各所述浮起搬送单元依次在对基板进行超声波振动浮起的同时进行热处理并进行搬送，该浮起搬送单元具有：振动板部，其通过超声波振动使基板浮起；超声波产生部，其对振动板部赋予超声波振动；搬送部，其支撑基板的端部并在与基板的浮起方向垂直的方向上搬送基板，该浮起搬送热处理装置具有加热区域（2）和冷却区域（3），在该加热区域中，浮起搬送单元具有对该浮起搬送单元的振动板部进行加热的加热器部，在该冷却区域中，浮起搬送单元不具有加热器部。

【技术实现步骤摘要】
浮起搬送热处理装置
本专利技术涉及对基板进行浮起搬送的同时进行基板的加热和冷却的浮起搬送热处理装置。
技术介绍
在液晶显示器或等离子显示器等平板显示器中使用在基板上涂布有抗蚀剂液而成的基板（称之为涂布基板）。通过以下方式生产该涂布基板：利用涂布装置在基板上均匀地涂布抗蚀剂液而形成涂布膜，然后利用热处理装置使涂布膜干燥。该热处理装置中存在例如专利文献1和图11所示的浮起搬送热处理装置。如图11所示，浮起搬送热处理装置90具有加热区域91，通过在利用超声波振动使基板W浮起的状态下，加热区域91借助加热区域91自身的温度对基板W进行加热，从而能够以非接触的方式对基板W进行加热，因此能够使基板W上的涂布膜干燥而不会产生干燥不均。另外，通过设置多个设定温度不同的干燥装置91，从而在对基板W进行浮起搬送的期间不仅能够进行涂布膜的干燥，还能够进行烧成（烘烤）。由这样的浮起搬送热处理装置90所加热的基板W，例如通过将基板W搬送至通过喷射空气来进行空冷的空气浮起单元或水冷后的金属板那样的冷却单元92，并载置于冷却单元92从而将其冷却至接近室温，然后搬送至下游的处理装置。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2012-248755号公报然而，在上述专利文献1和图11示出的浮起搬送热处理装置90中，存在基板的冷却花费时间的问题。具体地说，为了将基板W从浮起搬送热处理装置90搬送至冷却单元92，需要位于浮起搬送热处理装置90与冷却单元92之间的搬送机械手93从浮起搬送热处理装置90接受基板W，然后搬送机械手93将基板W载置于冷却单元92上，因此，如果将该时间包括在基板W的冷却时间中，则有可能无法收纳在用户能够准备的冷却时间的范围。
技术实现思路
本专利技术正是鉴于上述问题点而作出的，其目的在于，提供能够在短时间内对加热后的基板进行冷却的浮起搬送热处理装置。为了解决上述课题，本专利技术的浮起搬送热处理装置排列有多个浮起搬送单元，各所述浮起搬送单元依次在对基板进行超声波振动浮起的同时进行热处理并进行搬送，所述浮起搬送单元具有：振动板部，其通过超声波振动使基板浮起；超声波产生部，其对所述振动板部赋予超声波振动；搬送部，其支撑基板的端部并在与基板的浮起方向垂直的方向上搬送基板，所述浮起搬送热处理装置的特征在于，该浮起搬送热处理装置具有加热区域和冷却区域，在所述加热区域中，所述浮起搬送单元具有对该浮起搬送单元的振动板部进行加热的加热器部，在所述冷却区域中，所述浮起搬送单元不具有所述加热器部。根据上述浮起搬送热处理装置，能够通过冷却区域在短时间内对在加热区域中加热后的基板进行冷却。具体地说，在加热区域和冷却区域中，浮起搬送单元通过超声波振动使基板浮起，从而使基板和振动板部之间的气体产生强制对流。虽然经由该强制对流的气体在基板和振动板部之间进行热传递，但是由于强制对流是通过超声波振动产生的，因此能够高速地进行热传递。由此，在冷却区域中，能够在短时间内对基板进行冷却。另外，由于加热区域和冷却区域在浮起搬送热处理装置中是相邻的，因此与另外设置冷却区域的情况相比能够缩短从加热区域到冷却区域的基板的搬送时间，另外，搬送中也可以在从靠近冷却区域的部分开始基板的冷却，因此能够减少基板的搬送引起的时间损耗。另外，也可以是，所述冷却区域的所述浮起搬送单元在所述振动板部的使基板浮起的面的背面侧具有振动板冷却部，所述振动板冷却部用于对所述振动板部进行冷却，所述振动板冷却部具有与所述振动板部的背面对置的冷却对置面，所述冷却对置面配置为与所述振动板部的背面之间设置有预定间隔。由此，能够防止振动板部的升温，能够在更短的时间内对基板进行冷却。具体地说，通过将振动板冷却部的冷却对置面配置为与振动板部的背面之间设定有预定间隔，从而在振动板部进行超声波振动以使基板浮起时，通过该振动板部的超声波振动使得冷却对置面与振动板部的背面之间的气体产生强烈的强制对流。由于通过该强制对流在振动板部与冷却对置面之间经由气体进行热传递，因此振动板冷却部能够对振动板部进行冷却。这样能够防止振动板部的升温，因此能够通过该冷却后的振动板部在短时间内对基板进行冷却。另外，也可以构成为，所述振动板冷却部具有气体供给部，所述气体供给部向所述振动板冷却部与所述振动板部之间的空间提供气体。由此，能够将由于与振动板部之间的热传递而升温的气体排出而提供低温的气体，能够使振动板冷却部与振动板部之间的空间维持在低温，因此通过强制对流能够更有效地对振动板部进行冷却。另外，也可以是，所述冷却对置面的水平方向的尺寸大于等于所述振动板部的水平方向的尺寸。由此，由于在振动板部的背面整个面进行基于气体的强制对流的热传递，因此能够有效地对振动板部进行冷却。另外，也可以是，所述冷却区域相对于基板的搬送位于最下游侧。由此，能够最终在冷却区域内充分地对加热后的基板进行冷却并交接至下一个工序。根据本专利技术的浮起搬送热处理装置，能够在短时间内对加热后的基板进行冷却。附图说明图1是本专利技术的一个实施方式中的浮起搬送热处理装置的示意图。图2是本实施方式中的加热区域的立体图。图3是本实施方式中的加热区域的侧视图。图4是本实施方式中的冷却区域的立体图。图5是示出本专利技术中的基板的冷却形态的示意图。图6是示出本实施方式中的冷却区域的冷却性能的示例的图表。图7是表示本实施方式中的基于浮起搬送热处理装置的基板的温度变化的示意图。图8是另一实施方式的冷却区域的侧视图。图9是示出另一实施方式的在冷却区域中对基板进行冷却的机构的示意图。图10是示出另一实施方式的冷却区域的冷却效果的图表。图11是示出以往的浮起搬送热处理装置和基于该浮起搬送热处理装置的基板的温度变化的示意图。标号说明1：浮起搬送热处理装置；2：加热区域；3：冷却区域；4：振动板部；5：加热器部；6：超声波产生部；7：搬送部；8：使基板浮起的面；9：使基板浮起的面的背面；10：振动板部；11：超声波产生部；12：搬送部；13：使基板浮起的面；14：振动板冷却部；21：振动板；31：加热器单元；32：间隔件；33：加热器集合体；41：超声波振子；42：变幅杆；51：手部；52：进退机构；61：冷却单元；62：间隔件；63：冷却单元集合体；64：冷却对置面；65：气体供给部；90：浮起搬送热处理装置；91：加热区域；92：冷却单元；W：基板。具体实施方式利用附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1是本专利技术的一个实施方式中的浮起搬送热处理装置的示意图。浮起搬送热处理装置1具有加热区域2和冷却区域3，其在对基板W进行超声波振动浮起的同时进行基板W的加热和冷却。加热区域2是对基板W进行加热的区域。加热区域2中设置有设定温度不同的多个后述振动板部4，不仅进行基板W的干燥，还进行烧成。冷却区域3相对于基板W的搬送位于最下游侧，通过将在加热区域2加热后的基板W冷却至接近室温，从而做好交接至下游的处理装置的准备。另外，加热区域2和冷却区域3具有后述的搬送部7，基板W在加热区域2和冷却区域3的各个振动板部4上浮起预定时间后，由搬送部7搬送至相邻的振动板部4。通过重复进行此操作，基板W在浮起搬送热处理装置1内一边被搬送一边被加热和冷却。并且，在以下的说明中，设搬送基板W的方向为Y轴方向，设与Y轴方向在水平面上正交的方向为X轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种浮起搬送热处理装置，该浮起搬送热处理装置排列有多个浮起搬送单元，各所述浮起搬送单元依次在对基板进行超声波振动浮起的同时进行热处理并进行搬送，所述浮起搬送单元具有：振动板部，其通过超声波振动使基板浮起；超声波产生部，其对所述振动板部赋予超声波振动；以及搬送部，其支撑基板的端部并在与基板的浮起方向垂直的方向上搬送基板，所述浮起搬送热处理装置的特征在于，该浮起搬送热处理装置具有加热区域和冷却区域，在所述加热区域中，所述浮起搬送单元具有对该浮起搬送单元的振动板部进行加热的加热器部，在所述冷却区域中，所述浮起搬送单元不具有所述加热器部。

【技术特征摘要】
2012.11.20 JP 2012-253845;2012.11.20 JP 2012-253871.一种浮起搬送热处理装置，该浮起搬送热处理装置排列有多个浮起搬送单元，各所述浮起搬送单元依次在对基板进行超声波振动浮起的同时进行热处理并进行搬送，所述浮起搬送单元具有：振动板部，其通过超声波振动使基板浮起；超声波产生部，其对所述振动板部赋予超声波振动；以及搬送部，其支撑基板的端部并在与基板的浮起方向垂直的方向上搬送基板，所述浮起搬送热处理装置的特征在于，该浮起搬送热处理装置具有加热区域和冷却区域，在所述加热区域中，所述浮起搬送单元具有对该浮起搬送单元的振动板部进行加热的加热器部，在所述冷却区域中，所述浮起搬送单元不具有所述加热器部，因此，在所述加热区域和所述冷却区域中，所述浮起搬送单元通过超声波振动使所述基板浮起，从而使所述基板和所述振动板部之间的气体产生强制对流，经由该强制对流的...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫岛勇也，奥田大辅，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：无