【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种晶片研磨浆料回收系统，其包括晶片研磨台与晶片研磨浆料回收装置；所述晶片研磨浆料回收装置包括采用空心结构的研磨浆料处理室；所述晶片研磨浆料回收装置设置有连接至晶片研磨机台的浆料流入管道，以及浆料流出管道；所述研磨浆料处理室内部设置有多级过滤装置；采用上述技术方案的晶片研磨浆料回收系统，其可对晶片研磨中的浆料进行回收，避免浆料的浪费；同时，晶片研磨浆料回收装置可对回收后的浆料进行筛选，获取含有最佳规格的研磨粉末的浆料投入研磨工作，从而避免在研磨过滤中，过大研磨粉末造成晶片粗糙度过大，或过小研磨粉末造成的研磨效率低下。【专利说明】一种晶片研磨浆料回收系统
本技术涉及一种晶片加工装置，尤其是一种晶片研磨浆料回收系统。
技术介绍
在晶片加工中，往往在研磨机台内通过含有研磨粉料的研磨浆料对晶片进行研磨。而研磨浆料往往在加工中会出现不同程度的渗出或流失，其会造成相当的浪费。同时研磨粉料在研磨过程中，其直径会随研磨时间逐渐减小；较大的研磨粉料可以提高研磨加工的效率，但同时会使得晶片粗糙度有所增加；较小的研磨粉料可以加工中低粗糙度的晶片，但其研磨效...
【技术保护点】
一种晶片研磨浆料回收系统，其包括晶片研磨台与晶片研磨浆料回收装置，其特征在于，所述晶片研磨浆料回收装置包括采用空心结构的研磨浆料处理室；所述晶片研磨浆料回收装置设置有连接至晶片研磨机台的浆料流入管道，以及浆料流出管道，其分别通过浆料流入口、浆料流出口与研磨浆料处理室连接，浆料流出管道端口处设置有浆料收集槽；所述研磨浆料处理室内部设置有多级过滤装置，过滤装置中至少包含有一级大孔径过滤装置，以及一级小孔径过滤装置；所述大孔径过滤装置设置在浆料流入管道对应位置；所述小孔径过滤装置设置在浆料流出管道对应位置，且其与浆料流出管道之间设置有阻隔层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：廖波，林文杰，李烨，
申请(专利权)人：南京京晶光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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