【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
硅片抛光机冷凝水盛接托盘,其特征在于,所述硅片抛光机冷凝水盛接托盘包括:外形与工作台的底部外形相适应的托盘体,所述托盘体与所述工作台相连接的一侧上设有用于盛接冷凝水及泄露研磨液的凹槽;若干连接件,若干所述连接件均有一端固定设置在所述托盘体上;一端固定设置在所述托盘体上的排水管,所述排水管与所述凹槽连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:柳廷全,
申请(专利权)人:宇骏潍坊新能源科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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