一种用于蓝宝石领域的CMP抛光液外部循环系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于蓝宝石领域的CMP抛光液外部循环系统，包括抛光液管道，所述抛光液管道与抛光液桶连通，在所述抛光液管道上依次设置推进泵A、粗过滤装置、细过滤装置及推进泵B。将所述推进泵B与三通阀连接，三通阀的端口A与CMP设备连接，三通阀的端口B与抛光液桶连通，三通阀的端口A上设有第一阀门，三通阀的端口B上设有第二阀门。当CMP设备不运行的时候，打开第二阀门，将三通阀的端口B与抛光液桶连通，推进泵A和推进泵B保持工作，实现抛光液的外部循环。本实用新型专利技术利用将三通阀将抛光液管道与抛光液桶实现循环连通，实现了抛光液的外部循环，避免了抛光液因为CMP设备不运行而结晶的问题。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于蓝宝石领域的CMP抛光液外部循环系统，包括抛光液管道（1），所述抛光液管道（1）与抛光液桶连通，所述抛光液管道（1）上依次设置推进泵A（2）、粗过滤装置（3）、细过滤装置（4）及推进泵B（5），其特征在于：所述推进泵B（5）与三通阀（6）连接，三通阀（6）的端口A（7）与CMP设备连接，三通阀（6）的端口B（9）与抛光液桶连通，三通阀（6）的端口A（7）上设有第一阀门（8），三通阀（6）的端口B（9）上设有第二阀门（10）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：易小顺，方建雄，李呼相，吴鲁，隆仁伟，
申请(专利权)人：苏州海铂晶体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：