提供一种光照射装置等，不需将照射光线的光照射部倾斜，而可以使膜带生成光对准。本发明的一实施形态之中的光照射装置是包含对膜带照射偏光光线的光照射装置、及多个的运送装置，被设置在对膜带的偏光光线的照射位置的前后，用于运送膜带，其中可以改变多...

提供一种激光照射装置、投影遮罩及激光照射方法，透过降低对通道区域所照射的激光的特性的偏差，而降低所形成的多晶硅薄膜的变异，以便能够抑制基板之中所包含的多个的薄膜晶体管的特性的变异。本发明的一实施形态之中的激光照射装置是具备产生激光的光源...

能够在使光学装置上下移动时防止光轴的抖动。在框体形成有在大致铅垂方向上贯通的圆孔，大致薄板状并且俯视呈大致圆板形状的引导构件(70)以覆盖圆孔的方式设置于所述框体。形成于引导构件(70)的大致中央的安装孔(74)配置为与圆孔大致同心的圆...

积分器部(90)具备2枚复眼透镜(91、92)，复眼透镜间隔调整机构(95)变更2枚复眼透镜(91、92)在光轴方向上的间隔(d)。根据由反射镜弯曲机构(70)实现的平面反射镜(68)的反射面的形状变更，来变更2枚复眼透镜(91、92)...

算出与进行退火的处理区域接近的未被照射激光的非处理区域的层叠结构的各构成膜的膜厚计算值，通过处理区域的第二分光谱测量值与根据膜厚计算值而计算的第二分光谱计算值的拟合，算出处理区域的结晶化水平，调整对于下次进行激光退火处理的TFT基板照射...

本发明的一实施方式的激光照射装置的特征在于，具备：光源，其产生激光；投影透镜，其向被覆于基板上的非晶硅薄膜的规定的区域照射所述激光；及投影掩模图案，其设置在所述投影透镜上，并设有多个开口部以对于所述非晶硅薄膜的规定的区域照射所述激光，所...

本发明提供一种能够提高吞吐量并能够小型化的研磨装置。头清洗部(7)设置在晶圆交接区域(5)的下方，具备：从装载/卸载区域(4)向晶圆交接区域(5)搬运晶圆(W)的、在装载/卸载区域(4)与晶圆交接区域(5)之间进行往复移动的装载板；从晶...

本发明的一实施方式的激光照射装置的特征在于，具备：光源，其产生激光；投影透镜，其向粘附于基板的非晶硅薄膜的规定的区域照射所述激光；及投影掩模图案，其配置在所述投影透镜上，包含使所述激光以规定的投影图案透过的长方形形状的透过区域，所述长方...

能够进行高精度的描绘。通过读取部，对描绘了包含被排列成二维状的多个十字位置的修正用基板图案的修正用基板，在初始状态、从所述初始状态旋转了大致90度、大致180度以及大致270度的状态的每一个状态下，进行读取，并根据该读取的结果来制作对描...

本发明的一个实施方式的激光照射装置的特征在于，具备：光源，其产生激光；投影透镜，其向被覆于基板上的非晶硅薄膜的规定的区域照射激光；及投影掩模图案，其设置在投影透镜上，并设有多个开口部以对于非晶硅薄膜的规定的区域照射激光，投影透镜经由投影...

一种用于体现预倾角而进行倾斜曝光的光取向用曝光装置，其能够使用廉价的散射光源即体积光源，并且以紧凑的方式获得均匀的照度分布。通过对被照射面向一个方向进行扫描曝光来进行光取向处理的光取向用曝光装置(1)，其具备：光源(2)，朝向被照射面(...

本发明的一方案的激光退火装置具备：光源，其产生激光；复眼透镜，其用于使激光的强度分布均匀；投影掩模，其遮蔽通过了复眼透镜的激光；及投影透镜，其由通过了投影掩模的激光形成向基板的规定的范围照射的激光束，为了抑制干涉条纹通过投影掩模而产生的...

本发明的一实施方式的激光照射装置的特征在于，具备：光源，其产生激光；及投影透镜，其对于基板上被覆的非晶硅薄膜的规定的区域照射该激光，该投影透镜包括：第一投影透镜，其对于该规定的区域中的与薄膜晶体管的沟道区域对应的第一区域照射该激光；及第...

在扫描曝光中能够求出形成有标记的部件与未形成标记的部件的位置关系。曝光装置使掩模保持部(20)在第一方向上移动并进行曝光，在掩模保持部(20)的与第一方向大致正交的侧面(20d)设置有模板(25)。在从光照射部朝向模板(25)照射光时，...

本发明是一种全彩LED显示面板，具备：LED阵列基板(1)，其在配线基板(4)上以矩阵状配置有放射紫外至蓝色波段的光的多个LED(3)；以及多个荧光发光层(5)，其对应于光三原色而排列设置在多个上述LED(3)上，由从该LED(3)放射...

本发明能够一次性地对大型的工件进行曝光处理。长度方向与对象物的搬运方向大致正交的第一灯及第二灯在搬运方向及作为与搬运方向大致正交的方向的正交方向上错开配置，在正交方向上，第一灯的第一端部与第二灯重叠，第二灯的第二端部与第一灯重叠。在俯视...

本发明提供将芯片零件可靠地转印到驱动电路基板的所期望的位置、像素配置的精度较高且制造成品率较高的显示装置的制造方法。具备以下工序：使具备各向异性导电膜(7)的驱动电路基板(6)与转印了芯片零件(3)的转印用基板(5)接近，从而使各向异性...

能够提高TFT对折弯、卷绕等外力的耐久性并防止基板的破裂、缺损。在挠性基板(20)，在与设置有薄膜晶体管的第一表面相反的一侧的第二表面形成有凹部(23)，从与第一表面大致正交的第一方向观察，凹部(23)配置于不与薄膜晶体管重叠的位置。

本发明具备：LED阵列基板(1)，其在基板上以矩阵状配置有放射紫外至蓝色波段的光的多个LED(3)；多个荧光发光层(5)，其对应于光三原色而排列设置在多个上述LED(3)上，由从该LED(3)放射的激发光激发而将该激发光分别波长转换为对...

高压放电灯(1)具备：发光管(10)；反射器(20)，该反射器具有环绕发光管(10)的长轴线形成的球面状或非球面状的反射面(22)以及能够供发光管(10)具有间隙(s)地插入的插入孔(23)；绝缘子(30)，该绝缘子将发光管(10)以及...