光学装置的安装结构以及曝光装置制造方法及图纸

能够在使光学装置上下移动时防止光轴的抖动。在框体形成有在大致铅垂方向上贯通的圆孔，大致薄板状并且俯视呈大致圆板形状的引导构件(70)以覆盖圆孔的方式设置于所述框体。形成于引导构件(70)的大致中央的安装孔(74)配置为与圆孔大致同心的圆状，筒状部以光轴与所述安装孔(74)的中心大致一致的方式插入安装孔(74)而固定于引导构件(70)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学装置的安装结构以及曝光装置
本专利技术涉及光学装置的安装结构以及曝光装置。
技术介绍
在专利文献1中公开了一种曝光装置，其在对设置于曝光台的薄片薄膜进行曝光处理时，使曝光台升降，并且控制构成曝光头的棱镜对而进行焦点调整处理。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2006-235457号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献1所述的专利技术中，通过改变棱镜对的厚度来进行焦点调整，但若在会聚光中光路长度改变则会产生像差，因此光学系统的性能会因焦点调整而改变。这样，在通过使光学部件的配置发生变化来进行曝光头的焦点调整的情况下，有可能无法使光学性能最佳化。为了应对这样的问题，而考虑不使光学部件的配置发生变化而使光学装置整体上下移动的方法。然而，在使光学装置整体上下移动的情况下，有可能光轴随着上下移动而抖动(光轴的水平方向的位置偏移)，使描绘精度降低。特别是在设置有多个光学装置的情况下，由于多个光学装置的相对的关系是重要的，所以需要进一步地减小光轴的抖动量。另外，在专利文献1中记载的所专利技术的那样的用于制造印刷基板的装置中，通常使用NA为0.2～0.3程度的透镜。然而，若将在专利文献1中记载的专利技术所记载的棱镜对应用于使用NA为0.65左右的透镜的装置，则像差变大，并且对焦的范围变窄。本专利技术是鉴于这样的状况而完成的，因此，其目的在于提供能够在使光学装置上下移动时防止光轴的抖动的光学装置的安装结构以及曝光装置。用于解决课题的方案为了解决上述课题，本专利技术的光学装置的安装结构的特征在于，例如，所述光学装置的安装结构具备：光学装置，其具有筒状部；框体，其用于组装所述光学装置；大致薄板状的引导构件，其在所述光学装置的组装时设置于所述光学装置与所述框体之间；以及驱动部，其设置于所述框体，并使所述光学装置在铅垂方向上移动，在所述框体形成有在大致铅垂方向上贯通的圆孔，所述引导构件为俯视呈大致圆板形状，并以覆盖所述圆孔的方式设置于所述框体，在所述引导构件的大致中央形成有安装孔，所述安装孔配置为与所述圆孔大致同心的圆状，所述筒状部以光轴与所述安装孔的中心大致一致的方式插入所述安装孔而固定于所述引导构件。根据本专利技术的光学装置的安装结构，在框体形成有在大致铅垂方向上贯通的圆孔，大致薄板状并且俯视呈大致圆板形状的引导构件以覆盖圆孔的方式设置于所述框体。形成于引导构件的大致中央的安装孔配置为与圆孔大致同心的圆状，筒状部以光轴与所述安装孔的中心大致一致的方式插入安装孔而固定于引导构件。通过像这样使引导构件均匀地变形，能够在使光学装置上下移动时防止光轴的抖动，换句话说能够使光学装置不在水平方向上移动而使光学装置在上下方向上移动。在此，也可以是，所述框体具有：底板，其大致水平地设置；以及支承板，其大致水平地设置并且设置于所述底板的上侧，在所述底板以及所述支承板分别形成有所述圆孔即第一圆孔以及第二圆孔，在俯视下，所述第一圆孔的中心与所述第二圆孔的中心大致一致，在将所述光学装置组装于所述框体时，所述光学装置的重心位于所述驱动部将所述光学装置顶起的位置的附近。由此，驱动部在光学装置的重心的附近将光学装置顶起，从而能够使光学装置的上下移动稳定。在此，也可以是，所述框体具有：支承部，其大致水平地设置；柱，其分别设置于所述支承部的两端；以及移动机构，其使所述支承部在铅垂方向上移动，在所述支承部形成有支承部侧滑动面，在所述柱以与所述支承部侧滑动面对置的方式形成有柱侧滑动面，所述支承部由磁性材料形成，在所述柱设置有具有永久磁铁和电磁铁的永久电磁铁，在所述移动机构不使所述支承部移动时，通过在所述电磁铁的线圈中流过电流而使所述永久电磁铁吸附所述支承部，从而所述支承部侧滑动面与所述柱侧滑动面紧贴。由此，通过使支承部、即光学装置整体在铅垂方向上移动，能够在不使光轴移动的情况下使光学装置上下移动。另外，在不使支承部移动时，通过使支承部侧滑动面与柱侧滑动面紧贴，能够通过支承部侧滑动面与柱侧滑动面之间的摩擦来对支承部进行支承，以使得支承部的高度方向的位置不改变。在此，也可以是，所述移动机构具有：齿条，其沿着上下方向设置于所述支承部的与长度方向大致正交的端面；以及小齿轮，其能够旋转地设置于所述柱，所述齿条的齿位于穿过所述支承部的重心、并且与上下方向大致平行的线上。由此，能够在使支承部上下移动时不产生力矩。在此，也可以是，所述引导构件由厚度为大致0.1mm(大致0.1mm左右)的金属形成。由此，能够得到容易变形、并且坚固的引导构件。在此，也可以是，在所述引导构件沿着周向形成有多个环状扇形状的切口孔。由此，能够使光学装置在旋转方向上移动。在此，也可以是，所述引导构件由厚度为大致1mm(大致1mm左右)的金属形成，在所述引导构件分别形成有多个大致圆弧形状的第一切口孔以及第二切口孔，所述第二切口孔配置于所述第一切口孔的外侧，所述第一切口孔的包含端部在内的端部区域与所述第二切口孔的包含端部在内的端部区域的周向的位置大致一致。由此，即使将厚度为大致1mm的比较厚的金属板作为引导构件来使用，也能够使变形量与周向的位置无关而大致恒定。另外，引导构件比较厚，因此能够减少引导构件超过弹性极限而发生塑性变形的可能性。在此，也可以是，所述引导构件具有大致沿着所述引导构件的外周的大致环状的第一厚壁部、以及大致沿着所述安装孔的大致环状的第二厚壁部，所述引导构件与所述框体经由所述第一厚壁部而固定，所述引导构件与所述筒状部经由所述第二厚壁部而固定。由此，能够防止引导构件的变形。在此，也可以是，所述光学装置具有AF处理部，所述AF处理部具有：AF用光源，其照射向下的光；以及AF传感器，其供反射光射入，在所述引导构件上，在穿过所述安装孔的中心的线上以隔着所述安装孔的方式形成有两个孔，所述两个孔在俯视下与所述AF用光源以及所述AF传感器的位置重叠。由此，即使在使用了引导构件的情况下，也能够进行光学装置的AF处理。在此，也可以是，所述光学装置具有AF处理部，所述AF处理部具有：AF用光源，其照射向下的光；以及AF传感器，其供反射光射入，所述切口孔在俯视下与所述AF用光源以及所述AF传感器的位置重叠。由此，即使在使用了引导构件的情况下，也能够进行光学装置的AF处理。为了解决上述课题，本专利技术的曝光装置的特征在于，例如，所述曝光装置具备：板，其供工件载置；光照射部，其具有筒状部，并向所述工件照射光；框体，其用于组装所述光照射部，并将所述光照射部保持于所述板的上方；大致薄板状的引导构件，其在所述光照射部的组装时设置于所述光照射部与所述框体之间；以及驱动部，其设置于所述框体，并使所述光照射部在铅垂方向上移动，在所述框体形成有在大致铅垂方向上贯通的圆孔，所述引导构件以覆盖所述圆孔的方式设置于所述框体，所述引导构件为俯视呈大致圆板形状，并在中央部形成有安装孔，所述安装孔配置为与所述圆孔大致同心的圆状，所述筒状部以光轴与所述安装孔的中心大致一致的方式插入所述安装孔而固定于所述引导构件。通过像本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学装置的安装结构，其特征在于，/n所述光学装置的安装结构具备：/n光学装置，其具有筒状部；/n框体，其用于组装所述光学装置；/n大致薄板状的引导构件，其在所述光学装置的组装时设置于所述光学装置与所述框体之间；以及/n驱动部，其设置于所述框体，并使所述光学装置在铅垂方向上移动，/n在所述框体形成有在大致铅垂方向上贯通的圆孔，/n所述引导构件为俯视呈大致圆板形状，并以覆盖所述圆孔的方式设置于所述框体，/n在所述引导构件的大致中央形成有安装孔，/n所述安装孔配置为与所述圆孔大致同心的圆状，/n所述筒状部以光轴与所述安装孔的中心大致一致的方式插入所述安装孔而固定于所述引导构件。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171124 JP 2017-2260011.一种光学装置的安装结构，其特征在于，
所述光学装置的安装结构具备：
光学装置，其具有筒状部；
框体，其用于组装所述光学装置；
大致薄板状的引导构件，其在所述光学装置的组装时设置于所述光学装置与所述框体之间；以及
驱动部，其设置于所述框体，并使所述光学装置在铅垂方向上移动，
在所述框体形成有在大致铅垂方向上贯通的圆孔，
所述引导构件为俯视呈大致圆板形状，并以覆盖所述圆孔的方式设置于所述框体，
在所述引导构件的大致中央形成有安装孔，
所述安装孔配置为与所述圆孔大致同心的圆状，
所述筒状部以光轴与所述安装孔的中心大致一致的方式插入所述安装孔而固定于所述引导构件。


2.根据权利要求1所述的光学装置的安装结构，其特征在于，
所述框体具有：底板，其大致水平地设置；以及支承板，其大致水平地设置并且设置于所述底板的上侧，
在所述底板以及所述支承板分别形成有所述圆孔即第一圆孔以及第二圆孔，
在俯视下，所述第一圆孔的中心与所述第二圆孔的中心大致一致，
在将所述光学装置组装于所述框体时，所述光学装置的重心位于所述驱动部将所述光学装置顶起的位置的附近。


3.根据权利要求1或2所述的光学装置的安装结构，其中，
所述框体具有：支承部，其大致水平地设置；柱，其分别设置于所述支承部的两端；以及移动机构，其使所述支承部在铅垂方向上移动，
在所述支承部形成有支承部侧滑动面，
在所述柱以与所述支承部侧滑动面对置的方式形成有柱侧滑动面，
所述支承部由磁性材料形成，
在所述柱设置有具有永久磁铁和电磁铁的永久电磁铁，
在所述移动机构不使所述支承部移动时，通过在所述电磁铁的线圈中流过电流而使所述永久电磁铁吸附所述支承部，从而所述支承部侧滑动面与所述柱侧滑动面紧贴。


4.根据权利要求3所述的光学装置的安装结构，其特征在于，
所述移动机构具有：齿条，其沿着上下方向设置于所述支承部的与长度方向大致正交的端面；以及小齿轮，其能够旋转地设置于所述柱，
所述齿条的齿位于穿过所述支承部的重心、并且与上下方向大致平行的线上。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的光学装置的安装结构，其特征在于，
所述引导构件由厚度为大致0.1mm的金属形成。


6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：米泽良，杉本重人，山崎祥平，町田孝二，
申请(专利权)人：株式会社V技术，
类型：发明
国别省市：日本;JP