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光学装置的安装结构以及曝光装置制造方法及图纸
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文档序号:24133616
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能够在使光学装置上下移动时防止光轴的抖动。在框体形成有在大致铅垂方向上贯通的圆孔,大致薄板状并且俯视呈大致圆板形状的引导构件(70)以覆盖圆孔的方式设置于所述框体。形成于引导构件(70)的大致中央的安装孔(74)配置为与圆孔大致同心的圆状,...
该专利属于株式会社V技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社V技术授权不得商用。
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