本发明专利技术为了缩短基板更换所耗的时间而提供一种基板搬运装置(100A)，其向可保持基板(P2)的保持装置的保持面(TS)搬运所述基板(P2)，且基板搬运装置(100A)包括：第一保持部(161A)，具有在所述保持装置的上方保持所述基板(P2)的基板保持面；第二保持部(184a)，在上下方向上所述保持面(TS)与所述基板保持面之间的位置，保持经所述第一保持部(161A)保持的所述基板(P2)的一部分；以及驱动部(164)，以所述第一保持部(161A)自所述保持装置的上方退避的方式，在所述第二保持部(184a)保持所述基板(P2)的所述一部分的状态下，使所述保持装置及所述第二保持部(184a)与所述第一保持部(161A)相对移动。
Substrate handling device, exposure device, manufacturing method of flat panel display, component manufacturing method, substrate handling method and exposure method
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板搬运装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、基板搬运方法以及曝光方法
本专利技术涉及一种基板搬运装置、曝光装置、平板显示器(flatpaneldisplay)的制造方法、元件制造方法、基板搬运方法以及曝光方法。
技术介绍
在制造液晶显示器件、半导体器件等电子元件的光刻步骤中，一直使用曝光装置，所述曝光装置利用能量束将形成于掩模(或光掩模(reticle))的图案转印至基板(由玻璃或塑料等构成的基板、半导体晶片(wafer)等)上。此种曝光装置中，进行保持基板的平台装置上的经曝光基板的搬出、及新基板向平台装置上的搬入。关于基板的搬运方法，例如专利文献1所记载的方法为已知。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2013/150787号
技术实现思路
根据第一实施方式，提供一种基板搬运装置，其向可保持基板的保持装置的保持面搬运所述基板，且包括：第一保持部，具有在所述保持装置的上方保持所述基板的基板保持面；第二保持部，在上下方向上所述保持面与所述基板保持面之间的位置，保持经所述第一保持部保持的所述基板的一部分；以及驱动部，以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，在所述第二保持部保持所述基板的所述一部分的状态下，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部相对移动。根据第二实施方式，提供一种曝光装置，其包括：所述基板搬运装置；以及光学系统，对经搬运至所述保持装置的所述基板照射能量束，对所述基板进行曝光。根据第三实施方式，提供一种平板显示器制造方法，其包括：使用所述曝光装置对基板进行曝光；以及对经所述曝光的所述基板进行显影。根据第四实施方式，提供一种元件制造方法，其包括：使用所述曝光装置对基板进行曝光；以及对经所述曝光的所述基板进行显影。根据第五实施方式，提供一种基板搬运方法，向可保持基板的保持装置的保持面搬运所述基板，且包括：在所述保持装置的上方，通过第一保持部及第二保持部而保持所述基板；以及以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，在所述第二保持部保持所述基板的一部分的状态下，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部相对移动，其中，所述第二保持部是在上下方向上所述保持面与所述基板保持面之间的位置，保持经所述第一保持部保持的所述基板的一部分。根据第六实施方式，提供一种曝光方法，其包括：通过所述基板搬运方法向所述保持装置搬运所述基板；以及对所述基板照射能量束，对所述基板进行曝光。根据第七实施方式，提供一种平板显示器制造方法，其包括：使用所述曝光方法对所述基板进行曝光；以及对经所述曝光的所述基板进行显影。根据第八实施方式，提供一种元件制造方法，其包括：使用所述曝光方法对所述基板进行曝光；以及对经所述曝光的所述基板进行显影。再者，也可将下述实施方式的构成适当改良，另外，也可将至少一部分代替为其他构成物。进而，对其配置并无特别限定的构成要件，不限于实施方式所公开的配置，可配置于可达成其功能的位置。附图说明[图1]图1为概略性地表示第一实施方式的曝光装置的构成的图。[图2]图2为图1的曝光装置(局部省略)所具有的平台装置及基板搬运装置的平面图。[图3]图3(a)为第一实施方式的平台装置的平面图，图3(b)为侧面图，图3(c)为图3(a)的A-A剖面图。[图4]图4(a)～图4(c)为用以对第一实施方式的基板更换动作进行说明的曝光装置的侧面图(其一)。[图5]图5(a)～图5(c)为用以对第一实施方式的基板更换动作进行说明的曝光装置的侧面图(其二)。[图6]图6(a)～图6(c)为用以对第一实施方式的基板更换动作进行说明的曝光装置的侧面图(其三)。[图7]图7(a)～图7(c)为用以对第一实施方式的基板更换动作进行说明的曝光装置的侧面图(其四)。[图8]图8(a)～图8(c)为用以对第一实施方式的基板更换动作进行说明的曝光装置的侧面图(其五)。[图9]图9(a)～图9(c)为用以对第一实施方式的第一变形例的基板更换动作进行说明的曝光装置的侧面图。[图10]图10(a)为第一实施方式的第二变形例的基板搬入手的立体图，图10(b)为侧面图。[图11]图11(a)及图11(b)为用以对第一实施方式的第三变形例的基板更换动作进行说明的曝光装置的侧面图。[图12]图12(a)为第一实施方式的第四变形例的基板搬入手的俯视图，图12(b)为图12(a)的A-A剖面图。[图13]图13(a)及图13(b)为用以对使用第一实施方式的第四变形例的基板搬入手的基板的搬入动作进行说明的图。[图14]图14(a)及图14(b)为概略性地表示第一实施方式的第五变形例的基板搬入手的剖面图。[图15]图15(a)及图15(b)分别为第二实施方式的曝光装置的俯视图及侧面图。[图16]图16(a)及图16(b)为第二实施方式的基板搬入手的立体图。[图17]图17(a)及图17(b)分别为用以对第二实施方式的基板更换动作进行说明的曝光装置的俯视图及侧面图(其一)。[图18]图18(a)及图18(b)分别为用以对第二实施方式的基板更换动作进行说明的曝光装置的俯视图及侧面图(其二)。[图19]图19(a)及图19(b)分别为用以对第二实施方式的基板更换动作进行说明的曝光装置的俯视图及侧面图(其三)。[图20]图20(a)及图20(b)分别为用以对第二实施方式的基板更换动作进行说明的曝光装置的俯视图及侧面图(其四)。[图21]图21(a)及图21(b)分别为用以对第二实施方式的基板更换动作进行说明的曝光装置的俯视图及侧面图(其五)。[图22]图22(a)及图22(b)分别为用以对第二实施方式的基板更换动作进行说明的曝光装置的俯视图及侧面图(其六)。[图23]图23(a)及图23(b)分别为用以对第二实施方式的基板更换动作进行说明的曝光装置的俯视图及侧面图(其七)。[图24]图24(a)及图24(b)分别为用以对第二实施方式的基板更换动作进行说明的曝光装置的俯视图及侧面图(其八)。[图25]图25(a)及图25(b)分别为用以对第二实施方式的基板搬入手的优点进行说明的图。[图26]图26(a)及图26(b)分别为用以对第二实施方式的第一变形例的基板更换动作进行说明的曝光装置的俯视图及侧面图。[图27]图27(a)及图27(b)分别为用以对第二实施方式的第二变形例的基板更换动作进行说明的曝光装置的俯视图及侧面图(其一)。[图28]图28(a)及图28(b)分别为用以对第二实施方式的第二变形例的基板更换动作进行说明的曝光装置的俯视图及侧面图(其二)。[图29]图29(a)及图29(b)分别为用以对第二实施方式的第二变形例的基板更换动作进行说明的曝光装置的俯视图及侧面图(其三)。[图30]图30(a)及本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基板搬运装置，向能够保持基板的保持装置的保持面搬运所述基板，且包括：/n第一保持部，具有在所述保持装置的上方保持所述基板的基板保持面；/n第二保持部，在上下方向上所述保持面与所述基板保持面之间的位置，保持经所述第一保持部保持的所述基板的一部分；以及/n驱动部，以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，在所述第二保持部保持所述基板的所述一部分的状态下，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部相对移动。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板搬运装置，向能够保持基板的保持装置的保持面搬运所述基板，且包括：
第一保持部，具有在所述保持装置的上方保持所述基板的基板保持面；
第二保持部，在上下方向上所述保持面与所述基板保持面之间的位置，保持经所述第一保持部保持的所述基板的一部分；以及
驱动部，以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，在所述第二保持部保持所述基板的所述一部分的状态下，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部相对移动。
2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其中所述驱动部在上下方向上，使所述第一保持部在所述第二保持部及所述保持装置的上方移动。
3.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中所述驱动部使所述第一保持部向自所述第二保持部离开的方向移动。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板搬运装置，其中所述保持装置自所述基板的所述一部分侧向其他部分侧依序保持所述基板。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部在保持所述基板的其他部分的状态下，调整所述基板相对于所述保持装置的位置。
6.根据权利要求5所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部设于所述保持面。
7.根据权利要求6所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部设于所述保持面的上方。
8.根据权利要求7所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部以沿着所述基板的背面的方式能够移动地设置，保持为所述背面的一部分区域的所述基板的所述一部分。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的基板搬运装置，其中所述第一保持部以所述基板的所述一部分与所述保持面的距离短于所述基板的其他部分与所述保持面的距离的状态下来保持所述基板。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的基板搬运装置，其中所述基板保持面相对于所述保持面而倾斜设置。
11.根据权利要求10所述的基板搬运装置，其中所述基板保持面包含：第一面，保持所述基板的一部分且相对于所述保持面而倾斜设置；以及第二面，保持所述基板的其他部分且具有与所述保持面平行的面。
12.根据权利要求11所述的基板搬运装置，其中所述第一保持部具有驱动部，以相对于所述第二面倾斜的方式驱动所述第一面。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的基板搬运装置，其中所述驱动部使所述第一保持部沿着所述保持面移动。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的基板搬运装置，包括将与所述基板不同的其他基板自所述保持装置搬出的搬出装置，
所述搬出装置在所述驱动部进行的所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部与所述保持装置及所述第二保持部的相对移动中，搬出所述其他基板。
15.根据权利要求14所述的基板搬运装置，其中所述搬出装置使所述其他基板在上下方向上所述第一保持部与所述保持装置之间的位置移动。
16.根据权利要求14或15所述的基板搬运装置，其中所述搬出装置设于所述第一保持部，
所述驱动部使所述第一保持部相对于所述第二保持部及所述保持装置相对移动，并且使所述搬出装置移动。
17.根据权利要求14至16中任一项所述的基板搬运装置，其中所述保持装置具有吸气孔，所述吸气孔供给使所述其他基板上浮的气体，
所述搬出装置使在所述保持装置上经上浮的所述其他基板沿着所述保持装置的所述保持面移动。
18.一种曝光装置，包括：
根据权利要求1至17中任一项所述的基板搬运装置；以及
光学系统，对经搬运至所述保持装置的所述基板照射能量束，对所述基板进行曝光。
19.根据权利要求18所述的曝光装置，其中所述基板的至少一边的长度或对角长度为5...
【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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