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本发明为了缩短基板更换所耗的时间而提供一种基板搬运装置(100A)，其向可保持基板(P2)的保持装置的保持面(TS)搬运所述基板(P2)，且基板搬运装置(100A)包括：第一保持部(161A)，具有在所述保持装置的上方保持所述基板(P2)的...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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