本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。本发明的衬底处理装置具备装载部、阶层及控制部。阶层分别具备第1载置部、处理部及主搬送机构。装载部具备载体载置部及搬送部。搬送部进行供给动作，将衬底从载置在载体载置部的载体搬送到第1载置部。第1搬...

本发明涉及一种装载装置、衬底处理装置、装载装置的控制方法及衬底处理装置的控制方法。第1衬底搬送机构及第2衬底搬送机构分别进行关于前开式晶圆盒的衬底的搬送，所述前开式晶圆盒分别载置在沿上下方向配置的例如2个开启器，而非沿横向配置的例如2个...

本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理装置的控制方法。通常，第2衬底搬送机构被设定为从衬底缓冲部向载置在开启器的前开式晶圆盒搬送衬底。然而，在满足规定条件的情况下，第2衬底搬送机构从前开式晶圆盒向衬底缓冲部搬送衬底。也就是说，第2衬底搬送...

衬底处理装置具备第1搬送机构、第2搬送机构、中间搬送机构、第1中间部、第2中间部及控制部。中间搬送机构配置在第1搬送机构与第2搬送机构之间。第1中间部配置在第1搬送机构及中间搬送机构能够搬送衬底的第1重叠区域内。于第1中间部载置衬底。第...

本发明的衬底处理装置具备装载部、第1处理部、第1搬送机构、第2处理部、第2搬送机构、第1载置部、第2载置部及控制部。第1搬送机构反复执行包含3个接近动作(具体来说为第1接近动作、第2接近动作及第3接近动作)的第1循环动作。第2搬送机构反...

本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置(100)包括处理槽(110)、基板保持部(120)、流体供给部(130)及控制部(140)。处理槽(110)蓄存用于处理基板的处理液。基板保持部(120)在处理槽(110)的处理...

本发明提供一种通过第二处理部对通过第一处理部实施了第一处理的基板实施包括加热处理的第二处理的基板处理装置以及基板处理方法，能够抑制加热处理时间的偏差，从而能够制造高品质的基板。第一交接部和第二交接部在相互不同的位置进行基板的交接，搬运机...

本发明是一种基板处理装置，对基板进行处理，所述装置包含以下要素，即为：分度区块，针对每个载具载置部具备分度机器人，所述分度机器人具有用以从所述载具载置部的载具取出基板且将基板收纳于所述载具载置部的载具的臂，且水平方向的位置固定；桥接区块...

本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法。基板处理方法包括：第一处理工序，在处理槽中，以设定为第一温度的磷酸来处理基板(W)；以及第二处理工序，在处理槽中，以设定为第二温度的磷酸来处理基板(W)。本发明的基板处理装置以及基板处理方法可...

本发明提供一种墨水供给部，能够降低因补充墨水等而中断印刷处理的频率，从而能够连续地进行印刷。墨水供给单元(墨水供给部)(50)设置于在片剂(记录介质)(9)的表面以喷墨方式进行印刷的片剂印刷装置(印刷装置)，所述墨水供给单元(50)具有...

本发明提供一种片剂印刷装置以及片剂印刷方法，即使在对像薄膜包衣片、糖衣片等那样的表面的耐水性高且液体难以渗入的片剂喷出油墨滴的情况下，也能够抑制随后油墨从片剂脱落。该片剂印刷装置(1)是以喷墨方式对片剂(9)的表面印刷图像的装置，具有：...

本发明提供一种搬运装置以及搬运方法，不需要现有技术那样复杂的机构，也能够一边使多个非圆形的粒状物在搬运方向上隔开规定的间隔地排列一边进行搬运。该搬运装置具有吸附滚筒(30)。吸附滚筒(30)具有多个吸附孔(301)、以及与吸附孔(301...

本发明提供一种印刷装置、印刷系统、印刷方法，在循环地向喷头供给墨水的循环泵由于停电而停止的情况下，能够抑制墨水向负压墨盒溢出。设置在供给墨盒(91)和回收墨盒(92)之间的电磁阀(98)在通电时将供给墨盒(91)和回收墨盒(92)相互切...

本发明提供一种加热装置，能够在清洁的加热环境中加热基板。加热装置包括：加热板，从下方加热被定位于加热位置的矩形状的基板；升降机构，使基板相对于加热板在铅垂方向上在比加热位置高的待机位置和加热位置之间升降；以及矫正机构，具有能够与基板的上...

本发明提供一种能够确实地掌握劣化加剧的虚设晶圆的热处理方法及热处理装置。对虚设晶圆利用卤素灯进行预备加热处理并利用闪光灯进行闪光加热处理，从而进行对基座等腔室内结构物进行调温的虚设运转。这时，在每次进行预备加热处理或闪光加热处理时，对向...

本发明提供一种能防止劣化加重的虚设晶圆的误处理的热处理方法及热处理装置。实施如下虚拟运行：利用卤素灯对虚设晶圆进行预加热处理，且利用闪光灯对虚设晶圆进行闪光加热处理，而调节基座等腔室内构造物的温度。这时，每次进行预加热处理或闪光加热处理...

一种数据处理方法、装置与系统、以及计算器可读取记录介质，在对多个单位处理数据(各单位处理数据包含多种时间序列数据)进行处理的数据处理方法中，包含：单位处理数据选择步骤，从多个单位处理数据中选择两个以上的单位处理数据；第一评价值计算步骤，...

一种数据处理方法、数据处理装置和计算机可读取记录介质在对多个单位处理数据(各单位处理数据包含多种时间序列数据)进行处理的中，包含：评价值分布利用步骤，进行使用评价值分布的处理，所述评价值分布表示通过评价各时间序列数据而获得的评价值的每个...

本发明的数据处理方法包括如下的步骤：为了对包括一个以上的处理单元的基板处理装置中所获得的时序数据进行处理，对时序数据与基准数据进行比较而求出时序数据的分数；将分数分类成多个等级；以及针对处理单元，显示评估结果画面，所述评估结果画面包括表...

本发明提供一种对基板照射光来进行图案的描画的描画装置以及描画方法。描画装置的描画头(31)具备光源(32)、光调制器件(341)和投影光学系统(35)。来自光源(32)的光被引导至光调制器件(341)。投影光学系统(35)将由光调制器件...