端部状态确认装置包含旋转保持装置、光出射部及摄像部。将至少一部分具有圆形状且于外周端部设置着保护部件的衬底搬入到所述端部状态确认装置。搬入的衬底保持于旋转保持装置。摄像部具有摄像区域，构成为能接收透过衬底及保护部件的红外光。光出射部将红外光出射到摄像部的摄像区域。衬底的外周端部的至少一部分以预设的规定姿势配置于摄像部的摄像区域中预设的规定位置。域中预设的规定位置。域中预设的规定位置。
【技术实现步骤摘要】
端部状态确认装置
[0001]本专利技术涉及一种确认于外周端部形成着涂布膜的衬底的端部状态的端部确认装置。
技术介绍
[0002]为了对半导体衬底、液晶显示装置或有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示装置等FPD(Flat Panel Display：平板显示器)用衬底、光盘用衬底、磁盘用衬底、磁光盘用衬底、光罩用衬底、陶瓷衬底或太阳能电池用衬底等的衬底进行各种的处理，使用衬底处理装置。
[0003]根据对衬底进行的处理，有对所述衬底要求高强度的情况。因此，作为成为处理对象的衬底，有使用将2块衬底以粘合剂贴合的衬底(以下，称为贴合衬底。)的情况。
[0004]贴合衬底中，如果于2块衬底之间存在缺陷(例如空隙)，那么无法获得足够的强度。因此，提案有一种对于贴合衬底，检查有无产生于2块衬底之间的不良部分的检查装置。
[0005]在日本专利特开2013
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26260号公报所记载的检查装置中，搬入的贴合衬底(重合晶圆)由卡盘吸附保持。另外，红外线照射于由卡盘保持的贴合衬底，拍摄贴合衬底的整面。基于通过所述拍摄像而得的图像，检查贴合衬底。
技术实现思路
[0006]在贴合衬底中，例如有以不使具有斜面部的2块衬底的贴合部分的边界露出于外部的方式，将保护部件设置于贴合衬底的外周端部的情况。保护部件例如通过对在贴合的2块衬底的积层方向上相邻的斜面部之间的空间填充保护部件用的涂布液，使填充的涂布液硬化而形成。
[0007]然而，如果形成于贴合衬底的外周端部的保护部件的一部分剥离，那么成为产生微粒的原因。保护部件的剥离可能因产生于保护部件的内部的缺陷(例如空隙)而产生。另外，产生于保护部件的内部的缺陷也会使贴合衬底的强度降低。产生于保护部件的内部的缺陷无法直接看到。对于在外周端部设置了保护部件的贴合衬底，除了判定于2块衬底贴合时产生的缺陷外，也期望判定有无产生于保护部件的内部的缺陷。
[0008]本专利技术的目的是提供一种能判定形成于衬底的外周端部的保护部件中有无内部缺陷的端部状态确认装置。
[0009](1)依照本专利技术的一方面的端部状态确认装置确认至少一部分具有圆形状且于外周端部设置着保护部件的衬底的端部状态，且具备：衬底保持部，保持衬底；光出射部，朝由衬底保持部保持的衬底的外周端部，出射能透过衬底及保护部件的波长的光；及摄像部，通过接收从光出射部出射并透过衬底的外周端部及保护部件的光，而摄像衬底的外周端部。
[0010]在所述端部状态确认装置中，朝由衬底保持部保持的衬底的外周端部出射光。出射的光入射到衬底及保护部件中的至少一部分。根据衬底的外周端部有无缺陷，从光出射部出射并透过衬底的外周端部及保护部件的光由摄像部接收。通过使用摄像部的衬底的外
周端部的摄像，能取得表示衬底的外周端部及保护部件内部的状态的图像数据。结果，基于取得的图像数据，能判定形成于衬底的外周端部的保护部件中的内部缺陷。
[0011](2)摄像部具有于第1方向延伸的剖面带状的摄像区域，光出射部与摄像部以通过从光出射部出射光而出射的光朝摄像部的摄像区域行进的方式，以预设的位置关系配置，衬底保持部构成为能一边保持衬底一边使所述衬底旋转，端部状态确认装置还可具备：位置姿势调整部，于摄像部拍摄衬底的外周端部时，通过使由衬底保持部保持的衬底旋转，而以衬底的外周端部的周方向上的多个部分依预设的基准姿势朝与第1方向交叉的第2方向依序通过摄像区域中预设的基准位置的方式，调整衬底保持部的位置及姿势。
[0012]在所述情况下，无需增大摄像区域，能遍及整周拍摄衬底的外周端部。由此，能将光出射部及摄像部小型化，抑制端部状态确认装置的大型化。
[0013](3)端部状态确认装置还可具备：偏心形状信息取得部，于摄像部拍摄衬底的外周端部前，取得包含衬底的中心相对于由衬底保持部保持的衬底的旋转中心的偏心量及偏心方向的偏心信息、与表示衬底的外周部的形状的形状信息；且位置姿势调整部于摄像部拍摄衬底的外周端部时，基于由偏心形状信息取得部取得的偏心信息及形状信息，调整衬底保持部的位置及姿势。
[0014]在所述情况下，能根据衬底保持部对衬底的保持状态及衬底的形状，将衬底的外周端部相对于光出射部及摄像部的位置及姿势更正确地调整为基准位置及基准姿势。
[0015](4)端部状态确认装置还可具备：图像数据产生部，基于来自摄像部的输出信号产生图像数据；缺陷判定部，基于由图像数据产生部产生的图像数据是否满足预设的判定条件，而判定衬底的外周端部是否存在缺陷。
[0016]在所述情况下，无需使用者熟练地判定缺陷，而统一判定衬底的外周端部及保护部件的内部是否有缺陷。
[0017](5)衬底也可为将多个单一衬底贴合的贴合衬底。由此，能判定互相贴合的多个单一衬底的边界部分是否有缺陷。
[0018](6)构成贴合衬底的多个单一衬底中的各者于所述衬底的外周端部具有斜面部，保护部件以填埋于多个单一衬底的积层方向上相邻的2个斜面之间的空间的方式设置于贴合衬底的外周端部，摄像部以接收透过衬底的外周端部及保护部件且于2个斜面部中的一个斜面部反射的光的方式配置。
[0019]在将保护部件无间隙地埋入2个斜面部之间的空间的情况下，朝贴合衬底的外周端部出射的光未反射而穿过各斜面部。另一方面，因保护部件未充分埋入2个斜面部之间的空间，而于一个斜面部上存在空隙的情况下，朝贴合衬底的外周端部出射的光在存在空隙的一个斜面部上反射。因此，根据所述的构成，基于从贴合衬底的外周端部入射到摄像部的光的受光量，能容易地判定保护部件内部存在空隙。
[0020](7)端部状态确认装置还可包含：保护部件形成部，在由衬底保持部保持未形成保护部件的未处理衬底的状态下，通过于未处理衬底的外周端部形成保护部件而制作衬底。
[0021]在所述情况下，在端部状态确认装置中能对衬底的外周端部形成保护部件。因此，衬底处理的效率提高。
附图说明
[0022]图1是第1实施方式的端部状态确认装置的示意性侧视图。
[0023]图2是图1的端部状态确认装置的示意性俯视图。
[0024]图3是表示设置于贴合衬底的外周端部的保护部件的一例的图。
[0025]图4是表示可能产生于图3的保护部件的内部的缺陷的一例的图。
[0026]图5是表示对于未形成保护部件的贴合衬底，能通过图1的摄像部获得的端部图像的一例的图。
[0027]图6是表示对于保护部件的内部不存在缺陷的贴合衬底，能通过图1的摄像部获得的端部图像的一例的图。
[0028]图7是表示对于保护部件的内部存在缺陷的贴合衬底，能通过图1的摄像部获得的端部图像的一例的图。
[0029]图8是表示图1的端部状态确认装置的控制系统的构成的框图。
[0030]图9是表示在端部状态确认装置中执行的端部状态确认处理的一例的流程图。
[0031]图10是第2实施方式的端部状态确认装置的示意性侧视图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种端部状态确认装置，确认至少一部分具有圆形状且于外周端部设置着保护部件的衬底的端部状态，且具备：衬底保持部，保持所述衬底；光出射部，朝由所述衬底保持部保持的所述衬底的外周端部，出射能透过所述衬底及所述保护部件的波长的光；及摄像部，通过接收从所述光出射部出射并透过所述衬底的外周端部及所述保护部件的光，而拍摄所述衬底的外周端部。2.根据权利要求1所述的端部状态确认装置，其中所述摄像部具有于第1方向延伸的剖面带状的摄像区域，所述光出射部与所述摄像部以通过从所述光出射部出射光而出射的光朝所述摄像部的所述摄像区域行进的方式，以预设的位置关系配置，所述衬底保持部构成为能一边保持衬底一边使所述衬底旋转，所述端部状态确认装置还具备：位置姿势调整部，于所述摄像部拍摄所述衬底的外周端部时，通过使由所述衬底保持部保持的所述衬底旋转，以所述衬底的外周端部的周方向上的多个部分依预设的姿势朝与所述第1方向交叉的第2方向依序通过所述摄像区域中的预设的位置的方式，调整所述衬底保持部的位置及姿势。3.根据权利要求2所述的端部状态确认装置，还具备：偏心形状信息取得部，于所述摄像部拍摄所述衬底的外周端部前，取得包含所述衬底的中心相对于由所述衬底保持部保持的所述衬底的旋转中心的偏心量及偏心方向的偏心信息、...
【专利技术属性】
技术研发人员：桒原丈二，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：
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