【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种刷子及具备所述刷子的衬底处理装置，所述刷子在对半导体衬底、液晶显示用或有机el(electroluminescence：电致发光)显示装置等fpd(flat paneldisplay：平板显示器)用衬底、光罩用玻璃衬底、光盘用衬底等衬底进行洗净处理时作用于衬底。
技术介绍
1、以往，作为这种的第1装置，具有一边自转一边在衬底的径向移动，作用于衬底的上表面而进行洗净处理的刷子(例如，参考专利文献1)。所述刷子在中心部与外周部具备不同硬度的部件。具体来说，在外周部具备硬度比中心部低的部件。由此，即便在衬底面翘曲，而在衬底的径向上具有倾斜的情况下，刷子的洗净面也依所述形状而变形。因此，即便是从中央部朝向周缘部在径向上具有倾斜的衬底，也能消除未洗净部，以高清洁度进行洗净。
2、另外，作为这种的第2装置，存在具有内筒与外筒的刷子(例如，参考专利文献2)。内筒与外筒各自在下表面具有洗净刷。在使用洗净刷中的一个向径向移动且进行洗净后，向下一个径向移动时，使用另一个进行洗净。也就是说，通过分开使用内筒与外筒的刷子，能防止附着了异物的刷子损伤衬底，从而节省更换刷子的时间或工夫。但是，所述第2装置未记载任何关于根据衬底的翘曲而切换内筒与外筒的构成的内容。
3、[
技术介绍
文献]
4、[专利文献]
5、[专利文献1]
6、日本专利特开2013-38178号公报
7、[专利文献2]
8、日本专利特开2006-319279号公报
1、[专利技术所要解决的问题]
2、然而，在具有这种构成的以往例的情况下，存在如下问题。
3、也就是说，由于以往的第1装置通过构成刷子的部件的硬度差而依循衬底的倾斜，所以无法使刷子瞬时依循衬底的倾斜。因此，产生刷子的外周侧成为歪斜的形状而作用于衬底的状态。具体来说，针对在刷子作用的面上，衬底面朝一侧直线倾斜的情况，例如朝右下侧倾斜的情况进行说明。所述情况下，在刷子的外周侧中的衬底的周缘侧(右方)刷子被较弱地压缩，在衬底的中央侧(左方)刷子被强力压缩。因此，刷子的外周侧成为歪斜的形状且自转。由此，担心衬底的洗净面受到损伤。
4、另外，第2装置并非根据衬底的翘曲而切换内筒与外筒。因此，即便用于具有翘曲的衬底，也无法在适当的时刻在衬底的中央部与周缘部中进行切换。
5、本专利技术是鉴于此种事情而完成的，目的在于提供一种能通过使刷子作用于衬底的面瞬时依循衬底的倾斜，不对衬底的洗净面造成损伤而洗净的刷子及具备所述刷子的衬底处理装置。
6、[解决问题的技术手段]
7、本专利技术为了达成此种目的，而采用如下构成。
8、也就是说，技术方案1所记载的专利技术是一种刷子，所述刷子作用于衬底而进行洗净处理，且特征在于具备：作用于衬底的刷子本体、及安装所述刷子本体的刷座；且所述刷子本体具备：中央刷，构成俯视下的中央部；至少一个外周刷，配置在所述中央刷的外周侧，且安装成能相对于所述中央刷在垂直方向上滑动；及弹推机构，以在所述刷子本体位于衬底的中央部的状态下，所述中央刷的下表面与所述外周刷的下表面成为几乎一致的高度，而在所述刷子本体位于衬底的周缘部的状态下，容许所述外周刷根据所述周缘部的倾斜相对于所述中央刷在垂直方向移动的方式，将所述外周刷相对于所述中央刷向衬底侧弹推。
9、[作用、效果]根据技术方案1所记载的专利技术，弹推机构以在刷子本体位于衬底的中央部的状态下，中央刷的下表面与外周刷的下表面成为几乎一致的高度的方式进行弹推。弹推机构以在刷子本体位于衬底的周缘部的状态下，容许外周刷根据周缘部的倾斜相对于中央刷在垂直方向移动的方式进行弹推。因此，在衬底的中央部，刷子本体的下表面全体作用于衬底。在衬底的周缘部，外周刷相对于中央刷瞬时在垂直方向移动而依循衬底的倾斜。结果，由于外周刷不产生歪斜的变形，几乎仅中央刷作用于衬底，所以不会对衬底的洗净面造成损伤。
10、另外，本专利技术中，优选为所述中央刷具备上部凸缘、及从所述上部凸缘的中央部朝垂直方向突出的柱状部件，所述外周刷具备面向所述上部凸缘的下表面的下部凸缘、及覆盖所述柱状部件的外周部且从所述下部凸缘朝垂直方向突出的中空部件(技术方案2)。
11、外周刷的中空部件沿着中央刷的柱状部件移动。因此，能顺利地进行外周刷的垂直方向的移动。
12、另外，本专利技术中，优选为所述弹推机构配置在所述上部凸缘的下表面与所述下部凸缘的上表面之间(技术方案3)。
13、能有效地将弹推机构的弹推力从上部凸缘传递到下部凸缘。
14、另外，本专利技术中，优选为所述弹推机构是上端及下端配置在所述上部凸缘与所述下部凸缘之间的压缩螺旋弹簧(技术方案4)。
15、能仅靠将压缩螺旋弹簧配置在上部凸缘与下部凸缘之间而构成弹推机构。因此，能以简单的构成使外周刷移动。
16、另外，本专利技术中，优选为所述弹推机构的弹推力小于将所述刷子向衬底弹推的推压力(技术方案5)。
17、刷子的受到推压力的反作用力的外周刷能与弹推机构的弹推力相反地在垂直方向移动。因此，在衬底的周缘部，能根据衬底的倾斜使外周刷适当地移动。
18、另外，本专利技术中，优选为所述刷座具备安装部、从所述安装部的外周面沿所述下部凸缘的外周面延伸的外周部、及从所述外周部的下表面沿所述下部凸缘的下表面延伸的限制部(技术方案6)。
19、能通过从安装部延伸的外周部，限制外周刷朝衬底的面方向移动。能通过限制部，限制外周刷从刷座向下方突出。因此，能以稳定的状态保持相对于中央刷移动的外周刷。
20、另外，技术方案7所记载的专利技术是一种衬底处理装置，所述衬底处理装置使刷子作用于衬底而进行洗净处理，且特征在于具备：旋转保持部，将衬底以水平姿势保持，且使衬底旋转；刷子，作用于保持在所述旋转保持部的衬底的上表面，且具备作用于衬底的刷子本体、及安装所述刷子本体的刷座；洗净臂，在前端部具备所述刷子；及臂驱动部，以使所述刷子在保持于所述旋转保持部的衬底的旋转中心与周缘部之间在衬底的径向移动的方式，驱动所述洗净臂；且所述刷子本体具备：中央刷，构成俯视下的中央部；至少一个外周刷，配置在所述中央刷的外周侧，且安装成能相对于所述中央刷在铅直方向上滑动；及弹推机构，以在所述刷子本体位于衬底的中央部的状态下，所述中央刷的下表面与所述外周刷的下表面成为几乎一致的高度，而在所述刷子本体位于衬底的周缘部的状态下，容许所述外周刷根据所述周缘部的倾斜相对于所述中央刷在垂直方向移动的方式，将所述外周刷相对于所述中央刷向衬底侧弹推。
21、[作用、效果]根据技术方案7所记载的专利技术，针对由旋转保持部旋转的衬底，一边使刷子作用于衬底，一边以洗净臂使刷子在中央部与周缘部之间移动。此时，弹推机构以在刷子本体位于衬底的中央部的状态下，中央刷的下表面与外周刷的下表面成为几乎一致的高度的方式进行弹推。弹推机构以在刷子本体位于衬底的周缘部本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种刷子，作用于衬底而进行洗净处理，且特征在于具备：
2.根据权利要求1所述的刷子，其中
3.根据权利要求2所述的刷子，其中
4.根据权利要求3所述的刷子，其中
5.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的刷子，其中
6.根据权利要求2所述的刷子，其中
7.一种衬底处理装置，使刷子作用于衬底而进行洗净处理，且特征在于具备：
【技术特征摘要】
1.一种刷子，作用于衬底而进行洗净处理，且特征在于具备：
2.根据权利要求1所述的刷子，其中
3.根据权利要求2所述的刷子，其中
4.根据权利要求3所述的刷子，其中...
【专利技术属性】
技术研发人员：安武阳介，石川道明，大野拓也，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：
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