【技术实现步骤摘要】
绘制装置
[0001]本专利技术涉及对基板进行绘制的绘制装置。
技术介绍
[0002]以往，通过对在半导体基板、印刷基板、或者有机EL显示装置或液晶显示装置用的玻璃基板等(以下称为“基板”。)上形成的感光材料照射光来进行图案的绘制。
[0003]在进行该绘制的绘制装置中，在朝向基板射出光的绘制头中，若投影光学系统等的温度发生变动，则倍率、焦点位置及绘制位置等有可能发生变动。因此，在日本专利第6117594号公报(文献1)的绘制装置中公开了以下技术：在将绘制部的多个绘制头覆盖的壳体内配置从温度调节机延伸的温度调节用的空气管道，从该空气管道的吹出口向壳体内供给温度调节用的空气，由此谋求多个绘制头的温度维持。
[0004]近年来，为了提高绘制装置的生产能力，提出了以下方案：在1台绘制装置内设置2个载台和1个绘制部，在针对一方载台上的基板进行绘制的过程中，进行另一方载台上的基板的更换或对准等。
[0005]在这样的绘制装置中，若进行文献1那样的绘制头的温度调节，则在使绘制部从一方载台的上方向另一方载台的上方移...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种绘制装置，针对基板进行绘制，其特征在于，具备：基板保持部，其将基板以水平状态保持；基板移动机构，其使所述基板保持部沿着基板移动路径水平移动；头单元，其具有配置于所述基板保持部的上方并对所述基板照射光而绘制图案的绘制头、和在内部收容所述绘制头的头罩；绘制头移动机构，其使所述头单元沿着在俯视下与所述基板移动路径交叉的头移动路径在第1头位置与第2头位置之间水平移动；以及气体送出部，其沿着所述头移动路径配置，在所述头单元位于所述第1头位置及所述第2头位置中的任一位置的情况下，都能够向所述头罩的内部供给温度调节后的气体，所述气体送出部具备：气体流路，其沿着所述头移动路径从所述第1头位置延伸到所述第2头位置，并且供所述气体流动；气体送出口，其设于所述气体流路的与所述头单元相对的部位，朝向所述头罩的气体流入口送出所述气体；以及送出位置切换部，其将所述气体送出口的位置在与位于所述第1头位置的所述头单元相对的第1送出位置、和与位于所述第2头位置的所述头单元相对的第2送出位置之间进行切换。2.根据权利要求1所述的绘制装置，其特征在于，在所述气体流路设有从所述第1送出位置到所述第2送出位置的开口部，所述送出位置切换部具备开闭部，该开闭部对所述开口部中的、与位于所述第1头位置的所述头单元相对的第1区域、和与位于所述第2头位置的所述头单元相对的第2区域分别进行开闭，通过利用所述开闭部使所述开口部的所述第1区域打开并且使所述第2区域封闭，从而所述气体送出口的位置成为所述第1送出位置，通过利用所述开闭部使所述开口部的所述第1区域封闭并且使所述第2区域打开，从而所述气体送出口的位置成为所述第2送出位置。3.根据权利要求1所述的绘制装置，其特征在于，所述气体送出口以能够在所述气体流路的与所述头单元相对的部位处沿着所述头移动路径移动的方式设置，并通过所述送出位置切换部而与所述头单元在所述第1头位置与所述第2头位置之间的移动同步地在所述第1送出位置与...
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