本发明在使用化合物半导体材料等加工微细的图案时，使得能够通过比较低的温度工艺形成剖面为垂直的形状的图案。半导体装置的制造方法构成为具备使用等离子体对半导体材料进行蚀刻的工序、在半导体材料形成损伤层的工序、以及去除所述损伤层的工序。以及去...

本发明提供一种自动分析装置，能够使用于将接受附着在探针上的清洗液的真空瓶中留存的清洗液排出的电磁阀维持清洁的状态。自动分析装置包括：清洗槽(14)，其具有喷出用于清洗探针的清洗液的清洗液喷口(41)、及用于探针插入的真空吸引口(40)；...

本发明提供一种自动分析装置，具备：分析模块(24、25、26)，其执行检体的分析；显示装置(30)，其显示与包含分析模块(24、25、26)的装置内的维护相关的信息；以及整体管理用计算机(28)，其进行控制以使在显示装置(30)的显示画...

使生化分析装置的宽带光源装置的寿命性能提高，而且容易维护。宽带光源装置具备配备有产生第一波长区域的光束且在第一波长区域的光束上具备荧光体的LED芯片(14)和发出第二波长区域的光束的LED芯片(13)的LED基板(12)，荧光体是通过将...

检测体架具备供试管从插入口(16c)插入的检测体架主体(16a)、设置在检测体架主体(16a)并按压试管进行保持的多个板簧(17)、以及从插入口(16c)插入的适配器(25A)。适配器(25A)具有从插入口(16c)插入的筒体(25a)...

具备：第一存储装置(25)，其针对每个检体存储包含反应液的测定结果的检体信息；以及第二存储装置(26)，其针对每个检体存储第一存储装置(25)中存储的检体信息中的至少一部分检体的检体信息，控制装置(3)在自动分析装置(100)成为预先决...

本发明的目的在于提供一种自动分析装置，通过输送内部标准液，能够更可靠地降低之前的检体的影响。本发明的自动分析装置预先判定第一检体的离子浓度是否比第二检体的离子浓度大基准值以上，在大的情况下，除了内部标准液之外还输送检体以外的液体。

本发明提供一种设定用于检测自动分析装置的异常的更适当的判断基准的技术。本实施方式的异常判定方法生成自动分析装置中的用于判定含有试料和试剂的反应液的反应过程有无异常的判定基准并用该判定基准来进行异常判定，包含执行规定的运算的处理器获取反应...

本发明的目的是提供一种可减少装置的占地面积和成本并高效率地进行多个分析的自动分析装置。为此，本发明提供一种自动分析装置以及使用该装置的分析方法，所述装置包含容纳试样的容器、载有多个所述容器的一个台架、及控制单元；所述控制单元针对所述一个...

分光光度计(300)包括白色光源(212)、对从白色光源(212)释放的光进行聚光的聚光透镜(242a、242b)、对由聚光透镜(242a、242b)聚光后的光进行衍射的狭缝(245)、对通过狭缝(245)的光进行分光的凹面衍射光栅(2...

具备：处理部(3)，其进行检测体的分析前的处理；供给设备，其向设置于处理部(3)的反应容器(11)供给试剂；液温调整部(1)、控制部(201)，它们调整通过供给设备向反应容器(11)供给的试剂的温度；以及第一温度检测部(4)，其检测处理...

本发明的自动分析装置包括：试料分注机构(113)，用于将作为分析对象的试料分注到反应容器(116)；试剂分注机构(123)，用于将与试料不同的其他分注对象分注到反应容器(116)；以及质量分析部(133)，用于检测通过将分注到反应容器(...

以少量的检查点数来推定概率性图案缺陷那样的缺陷的发生。为此，在本公开中，提出了一种系统以及计算机可读介质，其包括以下工序：取得或产生基于晶片上的多个测量点的测量数据而求出的与图案的边缘存在于第一位置的概率相关的第一数据；取得或产生在所述...

本发明的目的在于通过既确保隔热性又将加热气体的温度分布均匀化，从而提高离子源的安全性、稳定性。本发明的离子源在保持离子探针的探针保持部内具备气体导入口，使加热气体的温度上升的加热部和上述气体导入口之间通过沿上述离子探针的延伸方向延伸且互...

本发明的目的在于，在向检查室供给洁净的空气的检查装置中，使基板周边的洁净的空气流可靠地朝向基板的下方。本发明的检查装置包括整流板，该整流板覆盖载置基板的工作台的上表面的一部分，并且配置在气体供给部与上述工作台之间，阻断朝向上述基板的气流...

本公开涉及图像形成方法，以将多层结构体中所含的多个分层的信息遍及大范围显性化、或进行了显性化的对象层的图像化为目的。提出一种方法，包含：将样品表面的法线方向的轴作为旋转轴使所述样品旋转，并且经由设置于从样品分离的位置且具有使离子束选择性...

本发明提供一种自动分析装置，该自动分析装置能够通过沿用测定容器内的液量的现有的传感器来检测包含电磁阀、压力变化部的故障在内的流路的异常。自动分析装置使注射器(103)、第一电磁阀(104)和第二电磁阀(105)进行动作，在容器(101)...

本发明提供一种自动分析装置，具有在不依赖于使用温度环境的情况下能够得到稳定的清洗效果的超声波清洗器。自动分析装置具有：分注机构，其具有进行样本或者试剂的分注的喷嘴；超声波清洗器(26)，其对喷嘴进行清洗；以及控制部(28)，超声波清洗器...

提出了运送装置、以及具备其的检体分析系统、检体前处理装置。具备：具有至少1个以上永磁铁(10)的被运送物；具有包含第2磁性体的磁芯(22)以及在磁芯(22)的外周卷绕的绕组(21)的磁极(25)；对磁极(25)的绕组(21)提供电流的驱...

提供一种自动分析装置，在进行分注的自动分析装置中，防止由排出分节空气时的气泡破裂引起的飞溅。该自动分析装置具有：试剂探针(121)，其对液体进行抽吸及排出；泵部，其与试剂探针(121)连接；以及移动部，其使试剂探针(121)的位置移动，...