图像形成方法以及图像形成系统技术方案

本公开涉及图像形成方法，以将多层结构体中所含的多个分层的信息遍及大范围显性化、或进行了显性化的对象层的图像化为目的。提出一种方法，包含：将样品表面的法线方向的轴作为旋转轴使所述样品旋转，并且经由设置于从样品分离的位置且具有使离子束选择性穿过的开口的掩模从相对于所述法线方向倾斜的方向朝向所述样品照射离子束，由此形成具有相对于样品表面倾斜的带状的倾斜面的孔；以及基于通过对所述带状的倾斜面中所含的所述对象层照射带电粒子束而得到的信号来形成从与所述对象层的所述倾斜面交叉的方向来看的第1图像。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】图像形成方法以及图像形成系统
本公开涉及图像生成方法以及图像生成装置，特别涉及将形成于样品内部的对象物图像化的方法以及装置。
技术介绍
已知为了进行利用了扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope：SEM)的样品的截面观察，使用离子铣削装置将样品溅射蚀刻、使截面在样品表面露出的手法。在专利文献1中公开了一种离子铣削装置，该离子铣削装置在旋转的样品台上放置样品，使旋转轴相对于离子束中心偏心，由此形成在大范围具有平坦面的加工孔。另外，在专利文献2中公开了一种离子铣削装置，该离子铣削装置在成为离子铣削的加工对象的样品上放置形成开口的罩，使用穿过了开口的离子束来对位于开口下的样品区域选择性地进行铣削加工。现有技术文献专利文献专利文献1：JP特开平3-36285号公报专利文献2：JP特开2003-68243号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题专利技术者们新想出了如下观察法：通过在多层结构体的样品进行形成具有非常小的倾斜角的缓斜面的加工，从而从层叠方向来看将多层结构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种形成由层叠了多个层的样品中所含的对象层或多个层构成的图案的图像的方法，所述方法：/n将所述样品表面的法线方向的轴作为旋转轴使所述样品旋转，并且经由设置于从所述样品分离的位置且具有使离子束选择性穿过的开口的掩模从相对于所述法线方向倾斜的方向朝向所述样品照射离子束，由此形成具有相对于样品表面倾斜的带状的倾斜面的孔，对该带状的倾斜面照射带电粒子束，检测基于该照射得到的带电粒子，基于该带电粒子的检测来生成包含所述倾斜面中所含的多个不同的带状的亮度区域的第1图像，使用该第1图像来确定所述对象层、包含由所述多个层构成的图案的亮度区域、或由所述多个层构成的图案。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种形成由层叠了多个层的样品中所含的对象层或多个层构成的图案的图像的方法，所述方法：
将所述样品表面的法线方向的轴作为旋转轴使所述样品旋转，并且经由设置于从所述样品分离的位置且具有使离子束选择性穿过的开口的掩模从相对于所述法线方向倾斜的方向朝向所述样品照射离子束，由此形成具有相对于样品表面倾斜的带状的倾斜面的孔，对该带状的倾斜面照射带电粒子束，检测基于该照射得到的带电粒子，基于该带电粒子的检测来生成包含所述倾斜面中所含的多个不同的带状的亮度区域的第1图像，使用该第1图像来确定所述对象层、包含由所述多个层构成的图案的亮度区域、或由所述多个层构成的图案。


2.根据权利要求1所述的方法，其中，
在将所述掩模和所述样品的相对的位置关系固定了的状态下，使所述样品旋转。


3.根据权利要求2所述的方法，其中，
所述掩模是板状体，在将该板状体的所述样品表面的对抗面和所述样品表面设为平行的状态下，使所述样品旋转。


4.根据权利要求3所述的方法，其中，
在所述板状体设有多个开口。


5.根据权利要求4所述的方法，其中，
所述样品是半导体晶片，所述板状体的多个开口被设为使得在所述半导体晶片中所含的多个芯片的对应的位置形成所述孔。


6.根据权利要求1所述的方法，其中，
通过在预先登记的显示了条纹纹样的模板图像与所述第1图像之间执行模板匹配，来确定所述对象层、包含由所述多个层构成的图案在内的亮度区域、或由所述多个层构成的图案。


7.根据权利要求1所述的方法，其中，
通过对所述第1图像中所含的多个不同的带状的亮度区域的数量进行计数，来确定所述对象层、包含由所述多个层构成的图案在内的亮度区域、或由所述多个层形成的图案。


8.根据权利要求1所述的方法，其中，
使所述带电粒子束的照射位置在与所述多个不同的带状的亮度区域的带的长边方向交叉的方向上移动，并在各照射区域取得图像，基于对从在该各区域取得的图像得到的特征量满足给定的条件的亮度区域的束照射，来执行呈现于所述倾斜面上的图案的测定。


9.根据权利要求1所述的方法，其中，
使所述带电粒子束的照射位置在与所述多个不同的带状的亮度区域的带的长边方向交叉的方向上移动，并在各照射区域取得图像，在该各照射区域得到的图像与预先登记的模板之间执行图案匹配，基于对匹配评分满足给定的条件的亮度区域的束照射，来执行呈现于所述倾斜面上的图案的测定。


10.一种图像形成系统，具备：
束照射子系统，构成为对晶片照射束，产生与来自晶片的信号相应的输出；和
计算机子系统，
所述计算机子系统接收基于对在样品上形成的带状的倾斜面照射带电粒子束而形成的第1图像，在该第1图像与预先登记的显示了多个不同的带状的亮度区域的模板图像之间执行模板匹配，控制所述束照射子系统，使得将所述束照射子系统的视野定位于与通过该模板匹配确定的位置处于已知的位置关系的带状的亮度区域。


11.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：福田宏，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：日本;JP