一种等离子体处理装置，为了提供提高了处理的成品率的等离子体处理装置或等离子体处理方法，对配置在真空容器内部的处理室内的晶片上的处理对象的膜层使用在该处理室内形成的等离子体进行处理，所述等离子体处理装置具备：检测器，在所述晶片的处理中，对...

使得从带电粒子线装置的电子枪稳定地放出大电流的电子线。具备电子枪，其具有：SE尖端(202)、配置在比SE尖端的前端更靠后方的抑制器(303)；和由底面和筒部构成的杯子形状的引出电极(204)，在引出电极中内含SE尖端和抑制器，在抑制器...

本发明提供一种检查装置，进行细菌或者真菌的鉴定检查或药剂敏感性检查，其中，所述检查装置具有：温度调节部，其对具有多个孔并在各孔中保持包含所述细菌或者真菌的培养液的培养板进行温度调节；显微镜观察光学系统，其具有倍率被设置为能够观察所述细菌...

一种联锁单元，其能够禁止罩从关闭位置向开放位置的转动，具备：中空的壳体，其位于罩的在关闭位置处的与支轴相反一侧的端部的下方，且配置于与框体的内部的侧面相邻的位置，且该壳体具有长方体形状；作用构件，其设置于壳体的上表面，被支承为能够在非动...

本发明提供一种在针对较高频率的电磁场得到高的屏蔽性能的同时，能够减轻重量的电磁场屏蔽板等。电磁场屏蔽板将由坡莫合金的板材或片材构成的坡莫合金层(3)和由Fe

对含有硼的硅膜、多晶硅膜进行等离子体蚀刻的等离子体处理方法使用卤素气体、含有氟的气体、以及三氯化硼气体的混合气体，对含有所述硼的多晶硅膜进行蚀刻。由此，能够在对含有硼的多晶硅膜进行等离子体蚀刻时，实现蚀刻速率的提高，抑制蚀刻不良。抑制蚀...

本发明提供一种提升自动分析系统中的测量数据从回归线的背离判别的精度的技术。本公开的数据解析系统具有：多个第一计算机，其在画面上显示自动分析部使试样与试剂反应而得到的测量数据；以及第二计算机，其对从多个第一计算机分别取得的测量数据进行解析...

本发明提供一种自动分析装置，即使在因分注注射器动作、分注前后的探头动作而产生压力脉动的情况下，也能够高精度地进行分注状态的检测。自动分析装置(101)具有充满流体的容器(208)和压力源，自动分析装置具备：探头(202)，其对容器(20...

本发明实现了一种离子检测装置，其能够避免负离子与闪烁体直接碰撞，能够防止闪烁体劣化，实现闪烁体的长寿化、免维护化、正负两种离子的高灵敏度检测。相对于将正离子用CD(52)的中心点(63)与相对电极(54)的中心点(64)连接的基准线(6...

本发明提供一种能够更准确地判断液体中包含的气泡的尺寸的自动分析装置。自动分析装置包括：检测包含在液体中的气泡的检测部(102)；执行经由检测部(102)输送液体的第一送液动作的内部标准液注射器(8)、稀释液注射器(9)、吸管注射器(10...

本发明不需要检体托架的方向控制单元，能够实现成本的降低、时间的缩短。通过在检体托架(100)的底面设置高摩擦构件(102)，使输送面与底面之间的摩擦力(11)的中心(14)偏置到从检体托架(100)的底部的旋转中心分离的位置。由此，通过...

提供能使被蚀刻件相对于掩模件的蚀刻选择比提升且能减低掩模图案侧壁的粗糙度的等离子处理方法。对于被蚀刻件使沉积膜选择性地沉积在掩模件的等离子处理方法控制蚀刻参数，使得所述掩模件的培育时间比所述被蚀刻件的培育时间短。培育时间短。培育时间短。

提供一种能够容易地实施高精度的微生物检查的技术。本公开的微生物检查试剂盒的特征在于，具备：第一注射器，其能够采集样本且具有第一注射器针；第二注射器，其容纳ATP提取试剂且具有第二注射器针；密闭的反应容器，其具有第一开口部、嵌合于所述第一...

通过控制自动分析装置(100、110)的动作的主体软件、和与主体软件独立且在构成自动分析装置(100、110)的设备的维护时使用的附属软件能够进行动作，附属软件以及主体软件分别保持确定自身的版本的确定识别信息，附属软件和主体软件中的至少...

等离子处理装置具备：在内部具备载置被处理基板的电极的等离子处理室；对等离子处理室提供等离子产生用的电力的电力提供部；和控制从该电力提供部对等离子处理室提供的电力的控制部，控制部执行：保温放电，在未将被处理基板载置于处理室的内部的电极的状...

在本发明中，输送装置(1)具有设置在受检体架(111)一侧的永磁体(10)、由第二磁性体构成的齿(22)和卷绕在齿(22)的外周侧的绕组(21)，在齿(22)中，与永磁体(10)相对的部分的截面的截面积大于其他部分的截面的截面积。或者，...

输送装置(1)具备：设置于检体架(111)侧的永磁铁(10)；具有由第二磁性体构成的铁芯(22)、以及卷绕于铁芯(22)的外周侧的绕组(21)的磁极(25)；向磁极(25)的绕组(21)供给电流的驱动电路(50)；以及控制从驱动电路(5...

本发明实现一种分析装置的柱烘箱，该分析装置的柱烘箱搭载有多个柱，能够对每一个柱进行有效的热传导，能够识别保持柱的柱盒，并且能够容易地对每一个柱进行更换。柱更换机构(105)包括套管(206)、可动套管连接器(207)、配管(208)、紧...

本发明提供一种使校准的测定结果的可靠性提高的自动分析装置。对检体进行分析的自动分析装置包括：分析部，其在进行用于校准的测定之后分析所述检体；存储部，其存储累积数据，所述累积数据是对所述校准的测定结果进行累积而得的数据；计算部，其基于所述...

本发明的自动分析装置包括：收纳部(3)，能容纳具有长方体形状并且在其短边侧面的一个面上具有IC标签(29)的多个试剂瓶(4)；用于与IC标签通信的天线(37)；检测有无试剂瓶的检测器(38)，收纳部(3)具有被冷却机(35)冷却的收纳容...