株式会社日立高新技术专利技术

株式会社日立高新技术共有2367项专利

  • 能够减轻操作者的作业量,不停滞地且正确地进行各个检体分别需要的处理的检体检查自动化系统。在检体检查自动化系统中,准备可架设多个检体(150)的检体托盘(120),对检体托盘(120)附加用于识别检体托盘(120)的识别符,在检体投入部(...
  • 通过正确地预测自动分析系统内的检体的停滞状况,调节各装置中的检体的运入运出的定时和运入运出的顺序,防止紧急检体的TAT的增加。指示所述各装置中的检体的运入运出的装置管理服务器具有:使用传感器的信号,确定已放入的检体的当前位置的跟踪部;把...
  • 本发明涉及等离子体处理方法及等离子体灰化装置,目的是提供在具有Low-k膜的试样的等离子体灰化处理中,边高速进行灰化处理,边抑制或减少对Low-k膜的膜损伤的处理方法。在对具有Low-k膜(15)的试样进行等离子体处理的等离子体处理方法...
  • 本发明提供一种核酸增幅装置及使用了该核酸增幅装置的核酸检查装置。核酸增幅装置设置保持件(3),该保持件(3)设置了多个温度调节部件(10),该温度调节部件(10)分别保持至少一个收放了反应液的反应容器(105),利用设在多个温度调节部件...
  • 本发明提供对于包括高极性溶质分子的具有广泛的色谱极性的溶质,能够抑制杂质吸附并且进行高效率且选择性优异的固相萃取的吸附材料,和固相萃取方法。本发明提供一种含杂环共聚物吸附材料,其特征在于,由包含多官能含杂环单体和能够与该单体进行共聚反应...
  • 本发明提供如下技术:在一种自动分析装置中,将试样和试剂混合,并测定混合液经时变化,自动地决定或者预测反应过程中出现的检测材料的直线范围。本发明用函数近似反应过程数据,根据该函数自动地判定反映初期及/或后期的曲线部分。针对每个检测材料决定...
  • 自动分析装置对于微量的反应液也能够实现稳定且高S/N的检测。经由光学窗(102)用光电倍增器(111)检测来自于包含发光物质(114)的反应液(109)的光。在处理其输出并分析包含于所述反应液(109)中的发光物质(114)的量的情况下...
  • 本发明提供一种能够在使用堆积性气体的等离子处理中,抑制被处理体的处理枚数的增加所产生的异物的等离子处理方法。本发明提供一种等离子处理方法,从被导入到处理室内的堆积性气体生成等离子体,通过使载置于该处理室内所设置的试料台上的被处理体以施加...
  • 本发明涉及曝光装置以及其方法。曝光装置的曝光机构,具备:光学积分器,将从光源发射的曝光光转换为多个点光源;准直镜,将透射光学积分器后的曝光光转换为平行光;及反射镜单元,将由准直镜转换为平行光后的曝光光用反射镜反射并照射到掩模上,反射镜单...
  • 本发明提供一种质量分析方法,其对空间电荷的影响进行修正,兼顾灵敏度和动态范围。根据在各离子排出时积蓄在离子阱内的离子量,对质量谱的质量轴进行修正。
  • 本发明实现了不使用气体就能够形成等离子体,能够小型轻量化的能够通过电气加热法进行原子吸光分析的元素分析装置。样品通过送液部(101)从流路(102)被送到原子化部(103),在电极(118)间施加电压。当在电极(118)上施加了电压时,...
  • 在热辅助磁头元件检查方法及其装置中,将样品装载到能在扫描探针显微镜装置的平面内移动的工作台上,使样品的近场光发光部产生近场光,通过在使具有探针的扫描探针显微镜的悬臂在样品表面附近上下振动的状态下使工作台在平面内移动,检测近场光引起的散射...
  • 本发明提供一种真空处理装置以及真空处理方法。在连结了处理室的搬运机构部配置了多个搬运机器人,在多个搬运机器人之间进行被处理体的交接的线性工具的真空处理装置中,提供在处理所需要的时间不稳定的状况下高效率的搬运的控制方法。针对每个处理室,对...
  • 本发明提供多晶硅薄膜检查方法及其装置。能够光学观察多晶硅薄膜的表面的状态,来检查多晶硅薄膜的结晶状态。多晶硅薄膜检查装置的基板检查部具有:对在表面上形成了多晶硅薄膜的基板照射光的照明单元;拍摄从通过照明单元被照射了光的基板在第一方向上产...
  • 本发明提供磁力显微镜用悬臂及其制造方法。通过在附加了磁性膜的探针外进一步形成保护膜来制造高耐久性的磁力显微镜用悬臂。在磁力显微镜用悬臂的制造方法中,当在磁力显微镜用悬臂(1)的前端的探针(401)上形成磁性膜(2),在探针(401)的周...
  • 在对血液、尿等检测体进行分析的自动分析装置中,为了不会因更换试剂而停止测定中的自动分析装置,且减轻操作员的负担,自动地进行试剂的更换。通过将搬运检测体架的机构和保管、搬运试剂的机构做成两层结构,从而即使自动分析装置在分析中也能进行试剂更...
  • 本发明提供一种即使不将装置大型化也能够以高精度分析血中浓度为低浓度的项目的分析装置。所述分析装置的特点在于,具有:搭载有被检体容器的被检体盘;搭载有试剂容器的试剂盘;搭载有用于对所述被检体的测定对象成分进行精制的第一容器的第一盘;搭载有...
  • 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法,在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中,会有以下情况:(1)当需要检查的地方增多时,摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间;(2)生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题;(3)...
  • 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法,在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中,会有以下情况:(1)当需要检查的地方增多时,摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间;(2)生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题;(3)...
  • 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法,在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中,会有以下情况:(1)当需要检查的地方增多时,摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间;(2)生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题;(3)...