磁力显微镜用悬臂及其制造方法技术

本发明专利技术提供磁力显微镜用悬臂及其制造方法。通过在附加了磁性膜的探针外进一步形成保护膜来制造高耐久性的磁力显微镜用悬臂。在磁力显微镜用悬臂的制造方法中，当在磁力显微镜用悬臂（1）的前端的探针（401）上形成磁性膜（2），在探针（401）的周围形成非磁性硬质保护膜（3）时，从磁力显微镜用悬臂（1）的探针（401）的正面以角度15°-45°来形成非磁性硬质保护膜（3），从磁力显微镜用悬臂（1）的探针（401）的背面在角度15°-30°的范围内从两个方向形成非磁性硬质保护膜（3）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及磁力显微镜用悬臂，尤其涉及悬臂前端的保护。
技术介绍
原子力显微镜(Atomic Force Microscope :AFM)使用安装了前端尖细的探针的悬臂来追随试样表面或者以与试样表面保持一定间隔的方式进行描绘，通过测量悬臂因试样和探针之间的原子力而引起的上下方向上的位移，来进行试样表面形状的评价。在此，具体地表示原子力显微镜(AFM)结构的一个例子。图6是用于说明原子力显微镜(AFM)结构的一个例子的说明图。 在图6中，作为原子力显微镜(AFM)的最基本的结构，原子力显微镜(AFM)的测定部设置在除振台101上。首先，利用激振部102对具有前端细的探针的悬臂I进行激振。接着，利用光学显微镜103将悬臂I移动到想要观察的部位的上方。此时，使Z工作台104缓缓地上升，使悬臂I接近载置在试样台107上的试样108。当充分接近时，作用于悬臂I的前端的探针和试样表面间的原子力(引力、斥力)对悬臂I的振动产生影响，当探针和试样间是某个一定距离(标准位置)时，对悬臂I的振动产生影响的力是一定的，振动的悬臂I的弯曲也是一定的。此时，原子力显微镜(AFM)是根据悬臂I的弯曲进行检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁力显微镜用悬臂，用于磁力显微镜的测定，其特征在于，具备：附加在上述磁力显微镜用悬臂的前端的探针上的磁性膜；以及附加于上述探针的周围的非磁性硬质保护膜。

【技术特征摘要】
2011.05.09 JP 2011-1041511.一种磁力显微镜用悬臂，用于磁力显微镜的测定，其特征在于， 具备附加在上述磁力显微镜用悬臂的前端的探针上的磁性膜；以及 附加于上述探针的周围的非磁性硬质保护膜。2.根据权利要求I所述的磁力显微镜用悬臂，其特征在于， 上述磁性膜附加在上述探针的一侧。3.根据权利要求I所述的磁力显微镜用悬臂，其特征在于， 根据上述磁性膜的形状来决定利用上述磁力显微镜用悬臂测定磁场时的空间分辨率。4.根据权利要求I所述的磁力显微镜用悬臂，其特征在于， 上述磁性膜是Ni、NiFe、CoFe的软磁性材料、或Co、Al-Ni-C, Fe-Pt的硬磁性材料。5.根据权利要求I所述的磁力显微镜用悬臂，其特征在于， 上述非磁性硬质保护膜是DLC、TiN, TiC, TiCN, CrNCN、或贵金属膜。6.一种磁力显微镜用悬臂，用于磁力显微镜的测定，其特征在于， 具备附加在上述磁力显微镜用悬臂的前端的探针上的磁性膜；以及 附加于上述探针的周围的软磁性体氧化防止保护膜。7.一种磁力显微镜用悬臂的制造方法，该磁力显微镜用悬臂用于磁力显微镜的测定，该磁力显微镜用悬臂的制造方法的特征在于， 在上述磁力显微镜用悬臂的前端的探针上形成磁性膜，在上述探针的周围形成非磁性硬质保护膜。8.根据权利要求7所述的磁力显微镜用悬臂的制造方法，其特征在于， 当在上述磁力显微镜用悬臂的探针的周围形成上述非磁性硬质保护膜时，从上述磁力显微镜用悬臂的上述探针的正面以角度15° -45°来形成上述非磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：张开锋，广濑丈师，渡边正浩，松井哲也，中込恒夫，德富照明，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：