【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在平板显示器的制造エ序中在玻璃基板上形成图形时的曝光技术，尤其涉及在液晶显示器的滤色器制造エ序的曝光エ序中适于在大面积的玻璃基板上均匀地曝光图形的曝光方法及其装置。
技术介绍
图9表示现在的液晶显示器制造中的制造エ序例。首先，在玻璃基板エ序921、922中，在进行玻璃基板的切断之后，分为前面版(前面版)、背面版两个エ序。在背面版中，在阵列エ序923中，在玻璃基板上反复进行成膜エ序、光刻蚀エ序，形成薄膜晶体管。另外，在上述前面版中，在滤色器エ序924中，在基板上形成红、绿、蓝滤色器，在上部形成透明电极(ITO)0其后，在下面的单元エ序25中组合从上述两个エ序完成的两基板，在其间放入液晶物质。而且，在模块エ序26中，组装背光灯或驱动用电源等，完成液晶显示器。 这里，用图10叙述滤色器エ序的详细情況。将以颜料为基础的彩色抗蚀剂涂敷在玻璃上，伴随曝光和显影的光刻蚀法为现在主流。首先，在洗净エ序1031中洗净玻璃基板表面，在涂敷エ序1032中在玻璃基板整个面上涂敷彩色抗蚀剂。(彩色抗蚀剂涂敷エ序)其后，在曝光エ序1033中通过光刻掩模进行图形曝光并进行UV硬...
【技术保护点】
一种曝光装置，具备：曝光光学机构，具有发射曝光光的光源；掩模座机构，保持掩模；平台机构，载置基板并在平面内能够移动；以及控制机构，控制上述曝光光学机构与上述平台机构，对载置于上述平台机构的基板依次进行曝光，上述曝光装置的特征在于，上述曝光机构，具备：光学积分器，将从上述光源发射出来的曝光光转换为多个点光源；准直镜，将透射该光学积分器后的曝光光转换为平行光；以及反射镜单元，将由该准直镜转换为平行光的曝光光用平面镜反射并照射在保持于上述掩模座的掩模上，该反射镜单元以二维状排列驱动器而装备，该驱动器推压上述平面镜的与反射上述曝光光的面相反一侧的面，上述控制机构基于与上述光学积分器...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：根本佳奈，高桥聪，吉武康裕，丸山重信，吉水惠子，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：
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