本发明提供一种可在同一真空腔内进行剖面加工与平面加工双方的离子铣削装置。为实现该目的，提出一种离子铣削装置，其具备在真空腔内配置、且具有平行于与离子束正交的第一轴的倾斜轴的倾斜工作台，其中，离子铣削装置具备驱动机构和切换部，驱动机构具有...

在测定过程变动大的图案的情况下，在预先登记的测定区域中，若在测定对象图案的周围存在不是测定对象的图案或废料等的噪声时，则不能够进行正确测定。将样品的图像数据中的进行图案匹配而用于对位的规定的区域设定为从图案测定的对象中除外的非测定对象区...

近年来，将微量的目标基因扩增来进行检测的核酸扩增技术作为检测感染病、基因的方法被利用，但是由于必须在每次分注试剂、样本时更换分注吸头，消耗品的设置空间增大或者频繁地架设消耗品，所以存在削弱自动化的优点的问题。本发明提供一种可用性较高的自...

本发明提供实现用户能随时追加检测体，缩短到结果输出的时间，价格低且能小型化的自动分析装置。当进行检测体追加的要求时判断在外侧及内侧检测体设置盘上的一般、紧急检测体设置区域是否具有空位置（步骤101～103），若没有则产生警报（步骤104...

使漂浮在离子液体表面的微小试样不被离子液体覆盖而通过扫描电子显微镜观察。通过使漂浮性或者疏水性试样浮于亲水性离子液体水溶液表面，防止微小试样被离子液体覆盖。在亲水性试样的情况下，使用疏水性离子液体。通过使用粘性低、流动性大的离子液体水溶...

本发明提供在FIB与SEM之间以遮蔽环境的状态转移试样容易的带电粒子线用试样装置。在通过闸门与FIB（1）或SEM的试样室（4）连通的试样更换器（5）中设置用于装卸与外部空气遮蔽的环境遮蔽试样支架（7）的盖（9）的环境遮蔽单元（10），...

本发明提供一种检体处理系统，其在一个托座上仅承载一个检体容器的系统中，可实现防止取错检体。贴标模块（13）具有：识别符读取部（R1），其读取保持母检体容器的托座的识别符；打印机（13B），其利用识别符读取部读取的保持母检体容器的托座的识...

本发明的目的在于提供进行一种能识别装置状态和操作员呼叫的概要的通知，并能缩短操作员作业的浪费时间的样本检查自动化系统。本发明的样本检查自动化系统，具备处于离开装置的状态中的操作员能够识别的显示灯或扬声器等通知机构，该样本检查自动化系统具...

本发明提供在更换悬臂的场合，能够不使用调整夹具且在短时间内调整悬臂的位置的磁头元件检查器。磁头元件检查器（1）具备：保持悬臂（5）的悬臂支架（4）；安装悬臂支架（4）的支架基座（3）；在Z方向上驱动支架基座（3）的Z方向驱动轴（22）；...

本发明提供不必在真空处理室内设置用于基板保持的促动器而能够可靠地保持基板的有机EL器件制造装置。该有机EL器件制造装置具备基板支架、基板支承销、使基板支架升降的基板支架升降机构、由基板夹具、夹具支撑金属件、夹具加力螺旋弹簧构成的基板保持...

本发明提供一种成膜装置及成膜方法。光CVD装置(成膜装置)(1)通过对原料气体照射光而生成晶种，并通过使晶种在基板(2)上堆积而使膜成长，并且在光源(13)和保持基板(2)的样品台(基板保持部)(14)之间配置遮光板(遮光构件)(20)...

本发明提供一种能高精度地控制基板与掩模的间隙的有机EL器件制造装置。有机EL器件制造装置的构成为，其具有：设置在真空处理室内的荫罩；放置基板的基板座；使基板与荫罩之间接近或分离的基板密合机构；以及设置于基板座的四角的距离计测机构，距离计...

本发明提供掩模对准光学系统，其利用透射照明方式而性能良好，且能有效应用掩模。掩模对准光学系统在将蒸镀材料蒸镀到基板上的真空蒸镀室（1）中，进行基板（6）与金属掩模（102）的对准，并且具备固定框架（101）和载物台（201），固定框架（...

本发明的检体移载机构的特征在于大体可为：对检体容器的下方进行把持的检体的把持方法；避免抓住检体容器的把持臂与其他的物体的接触、靠近，在缩回动作时区分开周边的物体尤其是检体容器的、具有作为引导件的效果的罩。另外，在进一步提高作为引导件的效...

实现色谱分析装置，其不会使试样保持容器的添加、更换时的操作性恶化，而安全性高。色谱分析装置具有、开闭门（10、11）、开闭门的上锁机构部（15）、以及检测开闭门的开闭状态的传感器（13），为了在装置内部设置试样保持容器（6）和样品架（1...

本发明提供对生物聚合物的特性进行解析的设备以及方法，所述设备的机械稳定性优异，并且以高的空间分辨率和灵敏度且通过简单的装置构成对生物聚合物的特性进行解析。具体而言，在本发明中，使用生物聚合物的特性解析芯片100a，计量生物聚合物的拉曼散...

为了避免装置的大型化/复杂化，使检体架在系统内循环再利用的情况下，在需要检体架的多个处理单元之间，空闲的检体架的囤积数量中产生波动，难以构建处理速度高的系统。具有向多个处理单元运送用于保持检体的检体架的检体运送线和对不保持检体的检体架进...

为了测定热辅助磁头发生的近场光和磁场这两者、能进行热辅助磁头检查，将扫描探头显微镜的悬臂构成为具备：在板状的部件材料的前端部形成探针的杆、在杆的探针的表面形成为薄膜状的磁性体膜、形成于磁性体膜的表面的贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或...

本发明提供液体色谱仪用泵、以及液体色谱仪。泵控制器使以串联或者并联的方式连接的第一柱塞泵和第二柱塞泵以大致恒定的周期交替地进行吸入、压缩动作，使至少一个柱塞泵的加压室成为比其它加压室高压的状态，调整第一柱塞与第二柱塞的升程量来进行流量控...

本发明提供一种蒸发源及成膜装置。该成膜装置具有防止铝的爬升且难以产生破损的稳定的蒸发源。而且该成膜装置适合于使基板竖直并自横向进行蒸镀的纵向式蒸镀。所述蒸发源至少由坩埚和加热部构成，坩埚由相对于蒸镀材料的浸润性不同的材质制成的具有两种结...