本发明提供一种提高真空蒸镀中蒸镀材料的利用效率的有机EL器件的真空蒸镀装置及真空蒸镀方法。在有机EL器件的真空蒸镀装置中，为了防止来自蒸发源的加热器的辐射热直接使阴罩过热，而通过在加热器与阴罩之间设置水冷式的冷却板，从而能够使蒸镀源与阴...

不是环境控制式电子线装置，即使通常的电子线装置也能实现试样附近的局部低真空化与试样冷却，并且不对装置进行改造且不追加气缸等设备而只利用试样支架实现试样附近的局部低真空化与试样冷却。在能将成为气体源的物质收纳在内部的容器与在该容器的试样台...

本发明提供一种带电粒子束装置，其在连续地修正焦点的同时观察对试样照射倾斜束而取得的倾斜像或左右视差角像时，能够抑制产生的视野偏移。通过在使一次带电粒子束聚焦在试样（10）表面的物镜（7）和使一次带电粒子束倾斜的倾斜角控制用偏转器（53）...

本发明不降低装置的处理速度地进行分注喷嘴的内外表面的清洗。本发明为了达到上述目的，其特征在于，在分注喷嘴的清洗槽设置清洗液供给口。更具体而言，从分注喷嘴的清洗槽所具备的清洗液供给口吸引清洗液，向所述清洗槽内喷出清洗液，从而能够在短时间内...

分析装置为了维持预定的分析性能，需要进行定期的维护，然而越是复杂的分析装置，维护项目越多。例如，对于同一部件，在存在多种将其取下来进行实施的维护的情况下，汇总起来实施维护效率高，但是在按照手册进行的情况下，在维护的实施推荐时期发生微小偏...

本发明提供一种检测电极合剂的膜等、对象物的表面或该对象物之中所含的异物，提高该检查对象物的可靠性的异物检测装置和异物检测方法。通过向对象物照射太赫兹照明光(100)(波长4μm～10mm)，将来自作为对象物一例的电极(10)的散射光(6...

本发明提供一种对于每个用户可以选择最合适的分析方法、且可以使吞吐量提高的核酸分析装置。在对核酸的扩增反应进行实时测定和分析的核酸检查装置中，对扩增曲线进行分析，并且用户可以选择扩增检出时的扩增反应结束条件。此外，用户可以选择扩增反应结束...

通过使用移动的针电极重复采样和离子化的电喷雾等进行稳定的离子化，不减小浓度测定的动态范围地提高分析的定量精度。从高压电源（4）对具有多个针电极（1）的试样输送电极（7）施加电压，通过驱动部（3）进行旋转驱动。附着了试样溶液（5）的多个针...

本发明提供一种自动分析系统，其能进行不同的检测体容器的栓体的开栓处理与闭栓处理，能进行栓体的管理与供给。本发明是一种自动分析系统，在具备搬运具有栓体的检测体容器的搬运机构的自动分析系统中，具备：分注规定量的收放在上述检测体容器中的检测体...

根据本发明，提供一种能够实现液体分注机构所进行的液体分注的准确度、精度及高速化的分析装置。在具备以步进电动机为动力源的驱动机构的分析装置中，该驱动机构从步进电动机的旋转输出轴经由至少一个以上的动力传递部向用于实施目标动作的可动部传递动力...

本发明的检体输送系统的主要特征在于：为了统一联络地输送、控制多个试管架，保存检体输送系统整体的状态以及检体信息的管理部（100）根据检体属性和委托信息生成成为实施多个同时处理的集群的群信息，由输送线（11）、结合线（12）、处理部（15...

提供一种带电粒子线装置、带电粒子显微镜，即便是大型的试料也可以在大气环境或者气体环境下进行观察。在采用分隔真空环境与大气环境(或气体环境)的薄膜的构成的带电粒子线装置中，具备：收纳带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；将从该带电粒子光学镜...

本发明提供电泳装置。在少数试样分析装置中，抑制分离介质即聚合物的浪费。是一种安装多个能一个个从装置脱离的毛细管单元的装置结构，就聚合物封入结束毛细管而言，安装与分析试样数相应的毛细管个数，并进行分析。由于能够使用与分析试样数相同的毛细管...

本发明提供能在大型基板上快速地形成膜厚均匀且有机EL上部电极用的铝金属薄膜，并能长时间连续运转的真空蒸镀装置及成膜装置。通过使用陶瓷制的坩埚防止铝的攀爬，并使用在横向上操作沿纵向排列有在相同方向上以规定的角度倾斜的蒸发源（3-1）的蒸发...

当在相对于离心分离器的旋转中心轴呈对称位置上架设的托座有重量差时或当设置在托座上的检体容器重量的不均衡造成托座的总重量的重心偏移时，存在无法进行正常的离心处理的情况。在连接投入模块和离心分离模块的输送线上，配置用于获取与在检体容器中收容...

本发明提供通过保留分析动作、使设置下一个检体容器的检体容器保持部向不可进入区域的外侧移动能够设置下一个检体容器的自动分析装置。其具备：沿周向并列配置有用于对收容有检体的检体容器进行配置的多个检体容器保持部的检体盘；配置有收容有用于检体的...

本发明提供一种质量分析系统。依赖于成分的挥发性和离子化趋势，测定的谱的强度和形状具有随着测定时刻的经过而迁移的趋势。针对以上课题，本发明的质量分析系统具有：质量分析部，对试样进行测定并输出质量谱；以及推测器，具有按每个成分以及测定时刻分...

本发明涉及一种质量分析装置，其可使质量分析装置中用于将分析对象物定量的标准曲线的制成迅速化和简单化。在质量分析装置中，具备：试样保存和稀释部(1)：其对包含定量用校准物的分析对象物的试样进行保存，该定量用校准物为对所定量的1个分析对象物...

本发明是成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构。提供能够缩小转送室的高度以及处理腔室的高度、且能够缩小闸阀的开口的上下方向的大小的长行程搬运机构。从下方开始第二层的直动轴承的上下两个滚动体保持部背对背地固定安装于基体（第一移动件）上，接下...

本发明提供能够在串联地配置真空搬运腔体与真空蒸镀腔体的真空蒸镀系统中降低材料损失的经济性好的真空蒸镀系统及真空蒸镀方法。本发明是一种真空蒸镀系统，其交替且串联地配置水平搬运工件的真空搬运腔体与对上述工件蒸镀蒸镀材料的真空蒸镀腔体，由具有...