异物检测装置和异物检测方法制造方法及图纸

技术编号：9241214 阅读：135 留言：0更新日期：2013-10-10 05:07

本发明专利技术提供一种检测电极合剂的膜等、对象物的表面或该对象物之中所含的异物，提高该检查对象物的可靠性的异物检测装置和异物检测方法。通过向对象物照射太赫兹照明光(100)(波长4μm～10mm)，将来自作为对象物一例的电极(10)的散射光(660)由散射光检测器(200)作为信号进行检测，从而检测电极(10)的表面或电极(10)之中所含的异物、例如金属异物(720)。在此，通过在集电体(710)的两面、涂装有包含活性物质(701)和导电助剂和粘合剂作为构成要素的电极合剂层(700)而形成电极(10)，通过透射光(656)的一部分由金属异物(720)反射而产生散射光(660)。