真空蒸镀系统及真空蒸镀方法技术方案

本发明专利技术提供能够在串联地配置真空搬运腔体与真空蒸镀腔体的真空蒸镀系统中降低材料损失的经济性好的真空蒸镀系统及真空蒸镀方法。本发明专利技术是一种真空蒸镀系统，其交替且串联地配置水平搬运工件的真空搬运腔体与对上述工件蒸镀蒸镀材料的真空蒸镀腔体，由具有多个上述真空蒸镀腔体的线构成，互相并列地设置N条上述线，其中N为2以上，上述真空蒸镀腔体是横跨各个上述N条线而设置的N条线真空蒸镀腔体，上述N条线真空蒸镀腔体在每条线上具有对工件进行蒸镀的蒸镀位置，当在上述N条线中的第一线对第一上述工件进行蒸镀期间，在与上述第一线不同的另一线上将第二工件搬出到下游侧的上述真空搬运腔体，并从上游侧的上述真空搬运腔体搬入第三工件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有串联地配置的多个真空蒸镀腔体与在上述串联上并在各安装腔体之间搬运进行蒸镀的工件的真空搬运腔体的，尤其涉及适于利用蒸镀法进行的制造的。
技术介绍
具有在真空基板等工件上蒸镀有机EL等的真空蒸镀法。在一般的真空蒸镀法中，为了持续进行稳定的蒸镀，需要以从蒸发源将材料蒸发速度保持为一定的方式进行控制。在使用电阻加热或感应加热等方法加热蒸镀材料并进行物理蒸镀(PVC)的场合，为了蒸发速度稳定，需要一定的时间，需要将材料蒸发速度保持为一定而一直蒸发。因此，当将工件一个个搬入真空蒸镀腔体中并进行处理时，当在工件的蒸镀后将工件从真空蒸镀腔体搬出，搬入新的工件期间从蒸发源蒸发的材料对蒸镀工序毫无用处，会成为材料损失。作为解决降低该材料损失的课题的方法具有专利文献I。在专利文献I中公开了在真空搬运腔体的周围设置真空蒸镀腔体的群集形式的真空蒸镀系统中在上述真空蒸镀腔体中交替地搬入、搬出两个工件，并进行蒸镀的方法。现有技术文献专利文献1:日本特开2008-227477号公报但是，如图1所示，即使在串联地配置真空搬运腔体与真空蒸镀腔体的真空蒸镀系统中，也期望降低搬运工件时的材料损失
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供在串联地配置真空搬运腔体与真空蒸镀腔体的真空蒸镀系统中，能够降低材料损失的经济性好的。本专利技术为了实现上述目的，至少具有以下特征。本专利技术是一种真空蒸镀系统，其交替且串联地配置水平地搬运工件的真空搬运腔体与对上述工件蒸镀蒸镀材料的真空蒸镀腔体，由具有多个上述真空蒸镀腔体的线构成，该真空蒸镀系统的特征在于，互相并列地设置N (N为2以上)条上述线，上述真空蒸镀腔体是横跨各个上述N条线而设置的N条线真空蒸镀腔体，上述N条线真空蒸镀腔体在每条线上具有蒸镀上述工件的蒸镀位置，当在上述N条线中的第一线上对第一上述工件进行蒸镀期间，在与上述第一线不同的另一线将第二上述工件搬出到下游侧的上述真空搬运腔体，并从上游侧的上述真空搬运腔体搬入第三上述工件。另外，本专利技术是一种真空蒸镀方法，其交替且串联地配置水平地搬运工件的真空搬运腔体与对上述工件蒸镀蒸镀材料的真空蒸镀腔体，使具有多个上述真空蒸镀腔体的线互相并列，具有N (N为2以上)条上述线，在横跨上述N条线的上述真空蒸镀腔体而设置的各个N条线真空蒸镀腔体中对上述工件进行蒸镀，当在上述N条线中第一线上对上述工件进行蒸镀期间，在与上述第一线不同的另一线将第二上述工件搬出到下游侧的上述真空搬运腔体，从上游侧的上述真空搬运腔体搬入第三上述工件。 并且，上述N是2，上述另一线是第二线。另外，上述真空搬运腔体可以具有送料机构，该送料机构具有在上述工件的搬运方向上沿前后伸缩的多级直动轴。另外，从上游侧的上述N条线真空蒸镀腔体或装入室搬出上述工件，将上述工件向下游侧的上述N条线真空蒸镀腔体或卸载室搬入。另外，上述搬入或上述搬出通过设在蒸镀位置的上方且在上述蒸镀位置与搬入搬出位置之间升降的交接机构来进行。另外，上述N条线真空蒸镀腔体具有从上述蒸镀位置在下部的区域使蒸发源二维移动的蒸发源驱动机构。另外，上述真空搬运腔体的真空部设在比上述蒸镀位置高的位置，上述N条线真空蒸镀腔体具有向上述真空搬运腔体的真空部的下侧突出的结构。另外，上述真空搬运腔体分别是横跨上述N条线而设置的N条线真空搬运腔体，上述N条线真空搬运腔体具有使上述送料机构在上述N条线间移动的机构、或一台水平多关节式搬运机器人。另外，上述真空搬运腔体只搬运上述工件、或搬运与保持上述工件的工件搬运体或掩蔽件为一体的上述工件。本专利技术的效果如下。根据本专利技术，能够提供在串联地配置真空搬运腔体与真空蒸镀腔体的真空蒸镀系统中能够降低材料损失的经济性好的。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式的真空蒸镀系统的图。图2是表示真空蒸镀腔体与真空搬运腔体的结构的侧视图。图3是真空搬运腔体内的送料机构的说明图。图4是表示横跨两条线移动蒸发源，蒸镀两条线的工件的蒸镀源驱动机构的结构的图。图5是表示横跨两条线进行的蒸镀处理流程及蒸发源的动作流程的图。图6是示意地表示蒸发源的动作的图。图中:1—蒸镀部，2—交接部，4一工件搬运体，9—低温泵，10—闸门阀，11—防镀板,20一交接机构，40—控制装置,51一两联杆的空心臂机构，60—AB线间移动机构,71—蒸发源，80—线内移动机构，100—真空蒸镀系统，C、CA、CB、CC一真空蒸镀腔体，EA、EB—卸载室，F—送料机构，H、HAl至HA3、HBl至HB4:真空搬运腔体，IA、IB—装入室，W—工件。具体实施例方式使用图1至图6说明本专利技术的实施方式。图1表示本专利技术的实施方式的真空蒸镀系统100。真空蒸镀系统100具有两条并列线LA、LB与管理整体并控制各部的控制装置40。真空蒸镀系统100具有横跨两线的三个真空蒸镀腔体CA、CB、CC、将工件W搬入各线的装入室IA、IB、以及从各线搬出处理后的工件W的卸载室EA、EB。另外，真空蒸镀系统100具有真空搬运腔体HAl至HA4以及HBl至HB4 (作为代表表示时只记为H)，各搬运腔体具有搬运工件W的后述的送料机构。各送料机构在各真空蒸镀腔体C (作为代表表示时只记为C)间、或装入室IA、IB或卸载室EA、EB与该真空蒸镀腔体C之间搬运工件W。例如，箭头符号KA表示各送料机构的工件W的搬运范围。例如，箭头KAl表示真空搬运腔体HAl的送料机构的搬运范围。另外，各线的装入室IA、IB及卸载室EA、EB所示的小的箭头符号表示工件W的搬运方向。即，左侧为上游侧，右侧为下游侧。利用这种结构，本实施方式能够构成一样地蒸镀工件W的下表面的装置。可以在各真空蒸镀腔体C间蒸镀相同蒸镀材料，也可以蒸镀不同的蒸镀材料。另外，各真空蒸镀腔体C的数量未限定于三个，只要是多个即可。另外，代替装入室或卸载室，也可以连接前工序或后工序。图2是表示真空蒸镀腔体C与真空搬运腔体H的结构的侧视图，是从箭头符号D的方向观察线LA的HA2、CB及HA3的向视图。基本来说，由于真空蒸镀腔体C与真空搬运腔体H的各结构是相同的，因此在各结构上未表示表示场所所示的CB、HA2、HA3等。真空蒸镀腔体C大致具有在与送料机构F间进行工件W的交接的交接部2、对工件W蒸镀蒸镀材料的蒸镀部I。另外，真空蒸镀腔体C具有将真空蒸镀腔体内保持为规定的真空度的低温泵9、设在与真空搬运腔体H之间的闸门阀10。闸门阀10不需要设在全部的真空搬运腔体H上。只要以至少在各线LA、LB中存在关系的闸门阀不全部为大气开放状态的方式设置即可。例如，可以在最上游侧及最下游侧的真空搬运腔体或装入室或卸载室的搬入搬出口上设置闸门阀。另外，工件W被在中央部上具有用于进行蒸镀的开口部的工件搬运体4保持并搬运。当然，也可以直接搬运工件。该场合期望保持与蒸镀面相反侧的面。在交接部2上具有交接机构20，该交接机构20在交接位置UP从上游的送料机构F接受工件搬运体4，并移动到虚线所示的蒸镀位置JP，在蒸镀后返回到原来的交接位置UP，将工件搬运体4交接到下游 侧的送料机构F上。图2所示的交接机构20用于线LA，在纸面背侧存在具有相同结构的线LB用交接机构20。交接机构20具有与工件搬运体4相同地在蒸镀侧具有开口部的交接体21、将前端固定在交接体21的四本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空蒸镀系统，其交替且串联地配置水平地搬运工件的真空搬运腔体与对上述工件蒸镀蒸镀材料的真空蒸镀腔体，由具有多个上述真空蒸镀腔体的线构成，该真空蒸镀系统的特征在于，互相并列地设置N条上述线，其中N为2以上，上述真空蒸镀腔体是横跨各个上述N条线而设置的N条线真空蒸镀腔体，上述N条线真空蒸镀腔体在每条线上具有对上述工件进行蒸镀的蒸镀位置，当在上述N条线中的第一线上对第一上述工件进行蒸镀期间，在与上述第一线不同的另一线上将第二上述工件搬出到下游侧的上述真空搬运腔体，并从上游侧的上述真空搬运腔体搬入第三上述工件。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：若林雅，加藤升，石泽泰明，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：