自动且在短时间内实现利用了使用至少一个旋转驱动轴的水平驱动机构的分注探针的定位。使用具有以下组成部分的自动分析装置，分注探针；作为分注探针的水平移动机构具有至少一个旋转驱动轴的分注探针驱动机构；对位时分注探针所接触的部分形成为圆形状的定...

本发明的目的在于，针对动态范围广的测定和高灵敏度的测定，不变更装置结构和试剂便取得希望的定量结果。因此，在本发明中，提供一种自动分析装置，其测定散射光量的时间序列数据作为反应过程数据，根据光量的变化对测定物质的浓度进行定量，具有从通过多...

本发明实现混合试样和试剂并测定混合液的经时变化的自动分析装置的精度管理。从试样和试剂的反应过程中取得多个测定点数据。将对多个测定点数据进行近似的近似式的参数和检查值积累在存储部中。根据在存储部中积累的预定个数的参数或检查值，生成与参数或...

在自动缺陷分类功能中，由于对于每个装置适当的处理参数不同，因此需要按照每个缺陷观察装置来设定分类制程程序。在相同工序中运用多个装置的情况下，需要分类制程程序内的分类类相同。在重新制作分类制程程序等时候存在对于每个装置在分类类中产生差异这...

本发明的电子显微镜用试样保持装置（80），具有：通过对上部隔膜保持部（20）、试样保持板（30）以及下部隔膜保持部（40）的3个部件进行组装而形成的试样保持组件（10）；可更换地保持该试样保持组件的保持部（80A）。试样保持组件具有在上...

本发明提供一种带电粒子束装置乃至带电粒子显微镜，其不很大地改变现有的高真空带电粒子显微镜的结构，就能够在大气气氛或气体气氛下观察观察试样。在采用划分真空气氛和大气气氛（或气体气氛）的薄膜（10）的结构的带电粒子束装置中，能够保持上述薄膜...

本发明提供质量分析装置（100），其测定试样的更换容易，且能抑制带水。该质量分析装置具有：分离被离子化的试样气体的质量分析部（102）；利用来自质量分析部的差动排气对内部进行减压，并对上述试样气体进行离子化的离子源（101）；使测定试样...

本发明提供一种核酸分析器件以及使用其的核酸分析装置。本发明涉及一种核酸分析器件，其为利用荧光测定来分析试样中的核酸的核酸分析器件，其具备平滑的支持基体，在所述支持基体上具备含有顶点的形状的金属结构体和由所述金属以外的材料构成的薄膜层，所...

在使用吐出机构部从在规定的位置具有开口部的图案形成用掩模将膏转印到在工作台上固定的被图案形成物的规定的位置的图案形成装置中，为了实现能够高精度地稳定地对微细的图案进行图案形成，并且对微细的通孔的内部也能够可靠地填充膏的图案形成，将吐出机...

本发明的目的是，在进行去除附着在有机EL用掩模上的蒸镀物的清洁时，以对基板完全非接触的状态，去除蒸镀物。本发明的掩模清洁装置用于去除附着在形成有若干开口部（4）的有机EL用掩模（2）上的蒸镀物质（20）。在有机EL用掩模（2）的表面，借...

本发明提供实现高可靠性的试剂管理，减轻试剂交换等的作业所带来的操作人员的负担，并且在分析中不会发生试剂不足的情况，而使分析动作中断最少化的自动分析装置。自动分析装置具备：保管多个上述试剂容器的第1试剂保管机构；与第1试剂保管机构不同的、...

本发明提供一种自动分析装置。与以往的具有保冷功能的分析单元的试剂保管机构不同，更换用的试剂保管机构不具有保冷功能，该情况下，需要更高的试剂管理。通过对更换用的试剂保管机构（2）的试剂容器的载置经过时间进行管理，对该试剂的载置经过时间和进...

本发明提供一种在半导体处理装置中对多种晶片并行地实施处理的情况下，能够迅速且简便地选择生产性高的向各处理室进行的晶片种类的分配的方法，上述半导体处理装置是在连接有处理室的搬运机构中配置多个搬运机器人，并在多个搬运机器人之间进行被处理体的...

本发明提供一种基板粘合装置。该基板粘合装置能够高精度地进行基板的粘合。基板粘合装置（1）的控制部（14）用于进行如下控制：根据摄像部（5A、5B）的检测结果来驱动下构件移动机构（9），使设于下构件（8）的基板支承部（86）移动，而使支承...

本发明提供一种真空蒸镀装置。将多个线状蒸发源相对于成膜方向配置成多级，能够在去路和回路中不改变成膜顺序地进行共蒸镀。在基板上成膜蒸镀材料的真空蒸镀装置中，具有以相对于成膜方向为对称的方式配置有多个线状蒸发源的蒸发源组，上述蒸发源组相对于...

在自动取样器（12）中设置摄像装置（16），并读入设置有试样容器（15）的架（20）内的图像数据。数据处理装置（17）对摄像装置（16）所拍摄的数据进行解析，将设置有试样容器（15）的位置的信息与附加在各个试样容器（15）上的试样信息相...

本发明提供一种能够高效地检查磁头的磁头检查装置和磁头检查方法。本发明向磁条状态的磁头的连接端子供给励磁用信号，使设置在以预定频率激励的磁力显微镜的悬臂的前端的磁性探针上浮到上述磁头之上，使其与上述磁头的一边平行地以预定的间隔对多条扫描线...

本发明提供盘表面检查方法及其装置。在盘表面的检查中，为了能够从零散存在的擦伤缺陷中分离在盘上同心圆状产生的圆形擦伤缺陷，而向样本照射光，检测从样本反射的正反射光，从正反射光中分离正反射光附近的散射光来检测，检测在相对于样本的法线方向比正...

本发明提供一种即使蒸镀材料进入蒸发源内部，也防止膜质的劣化，不会对连续运转、维护产生障碍的蒸发源以及真空蒸镀装置。蒸发源以及真空蒸镀装置由具有用于将加热被封入的蒸镀材料而蒸发出的蒸镀材料排放的喷嘴的坩埚、用于加热该坩埚的加热构件、配置在...

本发明提供能够减少驱动机构且进一步高精细地蒸镀的有机EL器件制造装置或者有机EL器件制造方法。本发明提供一种有机EL器件制造装置或者方有机EL器件制造方法，能够内置N（N为2以上）张基板，使上述基板与蒸发源正对，通过上述蒸发源的单向往返...