【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种真空蒸镀装置，其使蒸镀材料在基板成膜，该真空蒸镀装置的特征在于：具有将多个线状蒸发源以相对于成膜方向对称的方式配置而成的蒸发源组，所述蒸发源组相对于所述基板向第一方向移动并对所述基板成膜后，相对于所述基板向作为所述第一方向的反方向的第二方向移动并对所述基板成膜。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：玉腰武司，三宅龙也，松浦宏育，峰川英明，楠敏明，山本健一，矢崎秋夫，尾方智彦，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：
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