【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种盘表面检查装置,其特征在于,具备:台单元,其载置作为样本的磁介质的盘,能够旋转并且能够在与旋转的中心轴成直角的方向上移动;照明单元,其向载置在该台单元上的样本的表面侧的面照射光;正反射光检测单元,其检测从通过该照明单元被照射了光的上述样本的表面侧的面反射的正反射光;低角度散射光检测单元,其从由通过上述照明单元被照射了光的上述样本的表面侧的面反射的正反射光中,分离该正反射光的附近的散射光来检测该散射光;高角度散射光检测单元,其检测从通过上述照明单元被照射了光的上述样本在相对于该样本的法线方向比上述正反射光的方向大的高角度方向上散射的散射光;以及处理单元,其对来自上述正反射光检测单元的输出信号、来自上述低角度散射光检测单元的输出信号以及来自上述高角度散射光检测单元的输出信号进行处理,检测上述样本的表面的缺陷,其中,上述处理单元还具有:缺陷候选提取部,其对来自上述正反射光检测单元的输出信号、来自上述低角度散射光检测单元的输出信号以及来自上述高角度散射光检测单元的输出信号进行处理,提取缺陷候选;以及圆周状缺陷提取部,其针对通过该缺陷候选提取部提取出的缺陷候选,根据从上述样本的中心在半径方向 ...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:堀江圣岳,谷中优,法利兹·宾·阿布多拉希德,
申请(专利权)人:株式会社日立高新技术,
类型:发明
国别省市:
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