带电粒子束装置制造方法及图纸

技术编号：9241416 阅读：117 留言：0更新日期：2013-10-10 05:24

本发明专利技术提供一种带电粒子束装置，其在连续地修正焦点的同时观察对试样照射倾斜束而取得的倾斜像或左右视差角像时，能够抑制产生的视野偏移。通过在使一次带电粒子束聚焦在试样（10）表面的物镜（7）和使一次带电粒子束倾斜的倾斜角控制用偏转器（53）之间设置的视野修正用对准器（54），以根据倾斜角控制用偏转器（53）的倾斜角、透镜条件、物镜（7）和试样（10）的距离而求出的修正量，与物镜（7）的焦点修正联动地抑制一次带电粒子束的倾斜时产生的视野偏移。