【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在处理室内在基板上成膜的成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构，尤其涉及在真空中在基板上成膜的成膜装置、成膜装置用基板搬运机构。
技术介绍
以有机EL器件制造装置为例对本专利技术的成膜装置进行说明。有机EL器件制造装置不仅仅是形成发光材料层(EL层)且以电极夹持的构造，为了在阳极上形成空穴注入层、输送层，在阴极上形成电子注入层、输送层等而形成将各种材料作成薄膜而成的多层构造，或对基板进行清洗，遍及多个制造装置地将作为处理的产品的有机EL器件保持在真空中不变地向后工序转送。并且，例如，多个制造装置是进行多次不同的蒸镀的蒸镀装置。图1是基板搬运机构的有机EL器件生产线的一个例子、其是表示利用前后长行程供给机构来搬运处理对象的基板的生产线的图。100是有机EL器件生产线，9是统一控制有机EL器件生产线100整体的控制部，3是处理对象的基板，I是处理基板3的处理腔室，2是利用使用了长行程直动轴承机构的长行程搬运机构来搬入以及搬出基板3的转送室。处理腔室I以及转送室2的第一添标的a d与处理腔室以及后工序相关地附加，处理腔室I以及转送室2的第二添标、以及基板3...
【技术保护点】
一种成膜装置，具备：在内部具有在基板上成膜的成膜机构的成膜腔室、用于在多个该成膜腔室间搬运基板的转送室、以及分隔该成膜腔室与该转送室的闸阀，该成膜装置的特征在于，通过载置基板并使之移动来搬运基板的搬运机构由层叠的多个移动单位构成，并且由一对导轨以及沿该导轨移动的滚动体构成的直动导向件直接或者间接地对该移动单位与移动单位之间进行连接，并且，所述移动单位的至少一个在上下面仅具备导轨、或者滚动体的任意一方。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：若林雅，加藤升，图师庵，石泽泰明，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：
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