扫描探头显微镜的悬臂及其制造方法、以及热辅助磁头元件的检查方法及其装置制造方法及图纸

为了测定热辅助磁头发生的近场光和磁场这两者、能进行热辅助磁头检查，将扫描探头显微镜的悬臂构成为具备：在板状的部件材料的前端部形成探针的杆、在杆的探针的表面形成为薄膜状的磁性体膜、形成于磁性体膜的表面的贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜，将检查热辅助磁头元件的检查装置构成为具备：所述悬臂、检测悬臂的振动的变位检测单元、检测从近场光发光部发生并有悬臂的探针的贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜增强的近场光带来的散射光的近场光检测单元、处理由变位检测单元和近场光检测单元检测而得的信号的处理单元。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及能够测定近场光和磁场这两者的扫描探头显微镜的悬臂及其制造方法、以及用扫描探头显微镜进行近场光计测、微小尺度磁场计测而检查薄膜热辅助磁头元件的热辅助磁头元件的检查方法及其装置。
技术介绍
作为下一代硬盘用的磁头，人们已经开始讨论研究日本专利特开2010 - 182394号公报(专利文献I)以及日本专利特开2011 - 86362号公报(专利文献2)、日本专利特开2011 - 113595号公报(专利文献3)等中记载的热辅助磁头元件。从热辅助磁头元件发生的近场光，为从头元件开始20nm以下的宽度范围，该宽度决定硬盘的写入轨道宽度。对实际动作时的近场光的强度分布、发光部的表面形状以及近场光和写入磁场的位置关系的检查方法是未解决的重要课题。另一方面，在日本专利特开2009 - 230845号公报(专利文献4)中公开了 根据使用了具有磁性探针的悬臂的扫描探头显微镜(ScanProbe Microscope :SPM)检查技术,在遮板状态下，检查薄膜磁头元件的写入磁场的方法。在专利文献4所公开的方法中，只能计测磁头元件的写入磁场的轨道宽度。但是，没有顾虑到下一代硬盘用的磁头元件、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描探头显微镜的悬臂，其特征在于，具有：由板状的部件材料形成的杆、和形成于该杆的前端部分的探针，在该探针的表面形成有磁性膜，在该磁性体膜的表面形成有贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜，计测试样表面的磁场和近场光。

【技术特征摘要】
2011.10.13 JP 2011-225619;2012.05.22 JP 2012-11631.一种扫描探头显微镜的悬臂，其特征在于，具有 由板状的部件材料形成的杆、和 形成于该杆的前端部分的探针， 在该探针的表面形成有磁性膜，在该磁性体膜的表面形成有贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜，计测试样表面的磁场和近场光。2.根据权利要求1所述的扫描探头显微镜的悬臂，其特征在于，在所述贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜之上，形成变换入射的光的波长而使之出射的材料的微粒子或者薄膜。3.根据权利要求1或者2所述的扫描探头显微镜的悬臂，其特征在于，所述贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜是金、银、钼或者含有这些的合金的微粒子或者薄膜。4.一种扫描探头显微镜的悬臂,其特征在于,具有 由板状的部件材料形成的杆、和 形成于该杆的前端部分的探针， 在该探针的表面形成有磁性膜，在该磁性体膜的表面形成有变换入射的光的波长变换而使之出射的材料的微粒子或者薄膜，计测试样表面的磁场和近场光。5.根据权利要求1或者4所述的扫描探头显微镜的悬臂，其特征在于，在所述杆中，由不同的材料形成所述板状的部件材料和所述探针。6.根据权利要求5所述的扫描探头显微镜的悬臂，其特征在于，所述探针由碳纳米管或者碳纳米纤维、氧化硅、高密度碳(HDC :DLC)、钨(W)形成。7.一种扫描探头显微镜的悬臂的制造方法，其特征在于， 在将探针形成于板状的部件材料的前端部的杆的所述探针的表面，形成薄膜状的磁性体膜， 在形成于该探针的表面的磁性体膜的表面形成贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜，其中 所述扫描探头显微镜通过所述悬臂计测试样表面的磁场。8.根据权利要求7所述的扫描探头显微镜的悬臂的制造方法，其特征在于， 在形成于所述磁性体膜的表面的贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜之上，还形成变换入射的光的波长而使之出射的材料的微粒子或者薄膜。9.一种扫描探头显微镜的悬臂的制造方法，其特征在于， 在将探针形成于板状的部件材料的前端部的杆的所述探针的表面形成薄膜状的磁性体膜， 在形成于该探针的表面的磁性体膜的表面还形成变换入射的光的波长而使之出射的材料的微粒子或者薄膜，其中 所述扫描探头显微镜通过所述悬臂计测试样表面的磁场。10.一种检查热辅助磁头元件的检查装置，其特征在于，具备以下部分 载置作为试样的热辅助磁头元件并在平面内能够移动的工作台单元； 具备扫描载置于该工作台单元的试样的表面的探针，在该探针的表面形成有磁性膜的悬臂； 使该悬臂对于所述试样的表面在上下方向上振动的振动驱动单元；通过向由该振动驱动单元振动的所述悬臂的形成所述探针的一侧的相反侧的面照射光而检测来自所述悬臂的反射光，从而检测所述悬臂的振动的变位检测单元；输出用于使交变磁场从所述热辅助磁头元件的磁场发生部发生并且使近场光从近场光发光部发生的信号的信号输出单元；检测由于根据从该信号输出单元输出的信号从所述热辅助磁头元件的所述近场光发光部发生的近场光而从所述悬臂的形成磁性膜的探针的表面发生的散射光的散射光检测单元；以及处理由所述变位检测单元检测得到的信号和由所述散射光检测单元检测所述散射光得到的信号，检查从所述热辅助磁头元件的所述近场光发光部发光的近场光的强度分布、所述近场光发光部的表面形状、磁场发生部与近场光发光部的位置关系中的至少一个的处理单元。11.根据权利要求10所述的热辅助磁头元件的检查装置，其特征在于，所述悬臂的探针，在所述磁性膜的表面形成有贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜，通过使所述探针接近使所述近场光发生的试样的表面，利用所述近场光使散射光从所述贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜发生。12.根据权利要求10所述的热辅助磁头元件的检查装置，其特征在于，在形成于所述悬臂的探针的表面的磁性膜之上，形成有变换入射的光的波长而使之出射的材料的微粒子或者薄膜，通过使所述探针接近使所述近场光发生的试样的表面，对于从所述探针的表面的磁性膜发生的散射光，利用变换所述入射的光的波长而使之出射的材料的微粒子或者薄膜，使与所述近场光不同的波长的散射光发生。13.根据权利要求10所述的热辅助磁头元件的检查装置，其特征在于，在形成于所述悬臂的探针的表面的磁性膜之上形成有贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜，在该贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜之上形成有变换入射的光的波长而使之出射的材料的微粒子或者薄膜，由变换所述入射的光的波长而使之出射的材料的微粒子或者薄膜，变换通过使所述探针接近使所述近场光发生的试样的表面而从形成于所述探针的贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜发生的散射光的波长，发生与所述近场光不同的波长的散射光，由所述散射光检测单元检测该发生的散射光。14.一种检查热辅助磁头元件的检查装置，其特征在于，具备以下部分载置作为试样的热辅助磁头元件并在平面内能够移动的工作台单元；具备扫描载置于该工作台单元的所述试样的表面的探针，在该探针的表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：张开锋，广濑丈师，渡边正浩，中込恒夫，本间真司，徳富照明，中田俊彦，立崎武弘，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：