本发明涉及等离子处理设备技术领域，尤其涉及一种纠偏执行机构及等离子装置，本发明的纠偏执行机构采用第一导向轮实现移动座相对底座的直线运动，代替现有的直线导轨和滑块的结构，减少甚至无需使用润滑脂，从而消除润滑脂因在真空环境下粘性增大而导致卡...

本发明公开的一种半自动等离子去胶机，用于晶圆的半自动控制去胶或掩膜去除，包括底座箱和功率源工作箱，功率源工作箱立式承托的安装于底座箱的顶端；功率源工作箱与底座箱之间安装有外部入料口用于晶圆进出的等离子真空去胶腔；底座箱前侧还悬挂安装有用...

本发明公开的一种半自动等离子去胶机，用于晶圆的半自动控制去胶或掩膜去除，包括底座箱和功率源工作箱，功率源工作箱立式承托的安装于底座箱的顶端；功率源工作箱与底座箱之间安装有外部入料口用于晶圆进出的等离子真空去胶腔；底座箱前侧还悬挂安装有用...

本发明公开的一种用于晶圆真空去胶的半自动送料机构，用于晶圆等离子去胶过程中的半自动控制晶圆进出真空腔，包括底架座，底架座上设置有位于真空腔入料口下侧的支撑板；支撑板上安装有气缸驱动组件，气缸驱动组件驱动连接的滑动连接块沿进出料方向接近或...

本实用新型公开的一种用于PCB蚀刻板清洗的双腔等离子蚀刻清洗机，包括控制箱、作为PCB板主工作腔的第一控制单元和作为PCB板辅助工作腔的第二控制单元；第一控制单元的工作腔体与第二控制单元的工作腔体相互独立设置，控制箱控制第一控制单元和第...

本实用新型公开的一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，包括箱体和腔室门，腔室门用于真空工作的箱体敞口处的封盖；箱体两侧分别设置有两组同步控制腔室门上下升降运动便于箱体敞口处让位打开的盖门升降部；腔室门两侧与两组盖门升降部之间还分别设置有...

本发明公开的一种用于PCB板生产的Plasma智能连线设备自动化控制工艺，包括以下步骤：PCB板的自动输入和空置载具输出；多层夹板框架自动输入，并一一承接水平段收板工位转移过来的PCB板；在物料转移工位，将多个PCB板转移至夹板框架交换...

本实用新型公开的一种用于转运PCB板的板框结构，包括板框板体和至少二组PCB板自锁夹持件，板框板体用于转运过程中承托固定PCB板、且中部凹陷形成有与PCB板周缘配合、并沿水平方向对PCB板周向进行围框固定限位的承载台面；PCB板自锁夹持...

本实用新型公开的等离子蚀刻装置及其双腔结构，包括外腔壳、两组气动门体机构、上冷却组件及上电极、下冷却组件及下电极和纵横导向机构，在外腔壳的相对两侧分别设有进料口和出料口，两组气动门体机构分别安装于外腔壳的进料口和出料口处；上冷却组件及上...

本发明提供的电极清洁方法包括以下步骤：S1，定位电极件；S2，将激光射枪放置于支撑架，激光射枪的激光口朝向电极件；S3，提起激光射枪，以两个红点合在一起为基准而调整激光射枪的枪头的高度；S4，同时按压激光射枪的把手的两个按钮；S5，摆动...

本实用新型公开的PCB板的立式上下料机，包括立柱支架、上下料吊升装置和上下料横移进给装置，上下料吊升装置安装于立柱支架上，上下料横移进给装置安装固定于上下料吊升装置上，用于将PCB板移送至其上的板框夹具锁紧、并在上下料吊升装置带动下升降...

本实用新型公开的一种PCB板的自动上下料控制装置，包括基座板、两组限位立板、板体载具定位机构、两组板体横移机构、板体升降抓取机构和板框移送机构，板体载具定位机构上设置有对PCB板定位及装卸锁紧的板框夹具和用于板框夹具沿移送通道方向导向及...

本发明公开的半自动上板机，用于板体的批量化装配和定位，包括底架座、板框夹具、至少二组板框锁定件和至少二组板体自锁夹持件，板框夹具用于承托固定板体，且外缘限位固定于底架座顶端的台面上；至少二组板框锁定件分别分置于板框夹具正对应的两侧边框外...

本发明公开的一种抓手装置及其物料移送系统，包括安装座、上夹手和下夹手机构，上夹手连接固定于安装座上，其上设置有位于物料上方的夹取支撑点；下夹手机构包括动力驱动部、下夹头和夹头转动件，上夹手的夹取支撑点侧旁的待抓取物料外缘还设有用于对夹头...

本发明公开的一种水平收板送板装置，用于板框夹具或板框夹具上的物料自动水平移送，包括基座板、两组限位立板、多组顶侧限位压轮、多组底侧限位承托轮、多组旁侧限位轮和板框移送机构，两组限位立板分别相对的竖直安装于基座板两侧；多组顶侧限位压轮、多...

本发明公开的一种自动横移传送机构及其PCB板上下料装置，包括支撑板、驱动部、第一传送带、第一滑轨及第一滑块组件、第二滑轨及第二滑块组件、第二传送带和皮带固定柱，第一传送带一端套装于驱动部的主动轮上，另一端套装于支撑板上安装的第一从动轮上...

本发明公开的双工位等离子刻蚀机，包括上料生产线、上料吊升装置、双工位等离子刻蚀装置、下料吊升装置和下料生产线，上料吊升装置用于将上料生产线输送的待加工PCB板放置于板框夹具上锁紧固定、以及送料至每个蚀刻加工单元；该双工位等离子刻蚀装置采...

本实用新型提供的夹持尺寸可调的夹持架及夹持装置，夹持架包括第一横架、第二横架与竖架，夹持架还包括动夹板，动夹板可转动地连接于第一横架；第一横架设有第一定位孔，竖架设有若干第二定位孔，夹持架的定位件插入于第一定位孔与第二定位孔。电路板受夹...

本实用新型提供的夹持尺寸可调的夹持装置包括相互可转动连接的第一夹板与第二夹板，夹持装置还包括定位条，定位条包括抵接部与连接部，抵接部包括第一板部、第二板部与主体部，第一板部与第二板部直接布置有容纳口，连接部设有定位孔，连接部受夹于第一夹...

本实用新型提供的用于电路板蚀刻或清洗的夹持装置包括相互可转动连接的第一夹板与第二夹板，夹持装置还包括弹性片、紧固机构与磁性件，弹性片受夹于第一夹板与第二夹板，紧固机构的第一部可拆卸地固定连接于第一夹板，紧固机构的第二部可拆卸地固定连接于...