一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开的一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，包括箱体和腔室门，腔室门用于真空工作的箱体敞口处的封盖；箱体两侧分别设置有两组同步控制腔室门上下升降运动便于箱体敞口处让位打开的盖门升降部；腔室门两侧与两组盖门升降部之间还分别设置有两组用于控制腔室门前后进给运动、对箱体敞口密封封盖的盖门密封部；通过腔室门控制装置实现清洗工作腔的自动密封开合控制，有效配合生产线的自动化生产。自动化生产。自动化生产。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置


[0001]本技术涉及等离子清洗技术，尤其涉及一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置。

技术介绍

[0002]等离子清洗蚀刻设备，其工作原理是，在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，被清洗产品的表面材料变成颗粒和气态物质并被释放出来，再通过抽真空来达到清洗产品表面处理的目的。
[0003]由于等离子清洗蚀刻设备工作腔是在真空条件下工作，其工作腔的密封显得尤为重要，现有的等离子清洗设备通常具有一端或两端敞开的工作腔，工作腔的敞开端采用可升降的腔室门封闭，但是这样的方式具有密封性不佳、容易泄漏的问题，影响清洗质量以及车间环境。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，能够自动封闭密封工作腔的敞开端，具有结构简单、控制方便，有效配合生产线的自动化生产。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0006]一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，用于清洗工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，用于清洗工作腔的自动密封开合控制，其特征在于，包括箱体和腔室门，所述腔室门用于真空工作的箱体敞口处的封盖；所述箱体两侧分别设置有两组同步控制所述腔室门上下升降运动便于箱体敞口处让位打开的盖门升降部；所述腔室门两侧与两组盖门升降部之间还分别设置有两组用于控制所述腔室门前后进给运动、对所述箱体敞口密封封盖的盖门密封部。2.根据权利要求1所述的一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，其特征在于：每组所述腔室门升降部包括直线升降滑轨组件和升降气缸驱动组件，所述腔室门两侧分别设有与直线升降滑轨组件上的滑块连接的L形支撑板；所述升降气缸驱动组件驱动所述L形支撑板沿所述直线升降滑轨组件上直线导轨上下升降动作、并同步驱动所述腔室门上下直线升降运动。3.根据权利要求2所述的一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，其特征在于：所述腔室门两侧与所述L...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志强，赵义党，廖文晗，
申请(专利权)人：珠海恒格微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：