珠海恒格微电子装备有限公司专利技术

珠海恒格微电子装备有限公司共有75项专利

  • 本实用新型提供的除胶设备包括除胶反应机构与基架,除胶反应机构布置于基架内,除胶设备包括滑动组件,滑动组件包括滑轨、滑块、连接件与弹性件,连接件包括第一横板、第二横板与竖板,弹性件的一端抵接于第二横板,弹性件的另一端抵接于除胶反应机构;沿...
  • 本实用新型提供的用于微波蚀刻设备的测温机构,微波蚀刻设备包括送料机构与蚀刻设备,送料机构的出料口对接于蚀刻设备的进料口,测温机构包括测温传感器与固定件,固定件包括依次布置的第一回转部、第二回转部与第三回转部,第一回转部与第三回转部的外径...
  • 本实用新型提供的用于电路板蚀刻或清洗的夹持装置包括相互可转动连接的第一夹板与第二夹板,夹持装置还包括夹持件与辅助件,夹持件与第二夹板之间设有调位区,辅助件位于第一位置时,辅助件与调位区为隔空相对设置;辅助件转动至第二位置时,辅助件的至少...
  • 本实用新型涉及电路板、半导体制造技术领域,尤其涉及一种工件移送组件及等离子蚀刻装置,所述工件移送组件包括:托盘和设置在蚀刻腔内的第一导槽,托盘上设置有与第一导槽相配合的导轨,第一导槽的上方或下方设置有若干个第一主动齿轮,导轨上设置有与第...
  • 本实用新型涉及PCB制造领域,公开了一种PCB显影废液的循环回用系统,包括前级处理装置、后级处理装置、高压泵、浓缩箱和回收箱,前级处理装置包括离心过滤组件,后级处理装置包括精细过滤组件。本循环回用系统的前级处理装置将显影废液中直径大于1...
  • 本实用新型涉及电路板加工设备保养维护技术领域,尤其涉及一种应用于线路板生产设备的低温保养装置,包括:机架,连接有移动组件,移动组件可驱使机架在水平面上往复移动;存储室,设置在机架上,用于存放固体低温清洁粒子;第一喷头,通过第一增压组件与...
  • 本实用新型涉及电路板技术领域,尤其涉及一种可调式活动夹具,包括框体、移动杆、压紧片和磁体,移动杆可沿框体的长度或宽度方向直线移动以调节工作平面的大小;压紧片铰接在框体上和/或移动杆上并且压紧片上设置有弹性压片;磁体用于磁吸框体与压紧片和...
  • 本实用新型涉及电路板加工设备技术领域,尤其涉及一种方便维护的等离子蚀刻装置,包括:基座;蚀刻箱,设置在基座上,具有内腔并且上端敞开;盖体,可转动盖设在蚀刻箱的上端;等离子发生组件,设置在盖体上;转动驱动机构,一端铰接在基座上,另一端与盖...
  • 本实用新型涉及电路板加工设备技术领域,尤其涉及一种微波等离子体发生装置,包括:等离子腔,连接有第一冷却组件以及气体通入组件,所述等离子腔的下端开设有输出口;微波导入腔,设置在所述等离子腔的上端,并且所述等离子腔和所述微波导入腔之间通过石...
  • 本实用新型涉及电路板加工设备技术领域,尤其涉及一种等离子蚀刻设备,包括:基座;蚀刻腔,设置在基座上,用于容置电路板,并且蚀刻腔的一端敞开;门板,设置在蚀刻腔上敞开的一端,门板的一侧或两侧设置有限位杆;支架,设置在基座上,设置有与限位杆相...
  • 本实用新型涉及电路板技术领域,尤其涉及一种框式夹具,包括:第一框体;第二框体,一端与第一框体铰接;其中,第一框体和第二框体上均设置有相吸合的磁体,并且第一框体与第二框体之间设置有用于压紧产品的弹性压片本实用新型的框式夹具具有相铰接的第一...
  • 本发明涉及电路板加工设备技术领域,尤其涉及一种微波等离子体发生装置及等离子蚀刻设备;本发明的微波等离子体发生装置在的等离子腔的上端设置微波导入腔,并且微波导入腔和等离子腔之间通过石英板隔开,等离子腔连接第一冷却组件,所述第一冷却组件为形...
  • 本发明涉及PCB制造领域,公开了一种PCB显影废液的循环回用系统,包括前级处理装置、后级处理装置、高压泵、浓缩箱和回收箱,前级处理装置包括离心过滤组件,后级处理装置包括精细过滤组件。还公开了一种使用上述循环回用系统的PCB显影废液的循环...
  • 本发明涉及电路板加工设备保养维护技术领域,尤其涉及一种应用于线路板生产设备的低温保养方法及低温保养装置,本发明的低温保养方法通过低温清洁粒子冲击待清洗设备的表面,使得待清洗设备表面的污质迅速冷却凝结和脆化,从而能够从表面被剥离,随气流清...
  • 本实用新型涉及等离子清洗设备技术领域,尤其涉及一种抽拉式活动治具及等离子清洗装置,安装在机架上,包括基座,基座的底部设置有移动组件,移动组件采用绝缘材料制成,机架上设置有与移动组件相配合的导向组件,基座可沿导向组件往复移动,基座上还设置...