本实用新型专利技术涉及电路板加工设备技术领域，尤其涉及一种微波等离子体发生装置，包括：等离子腔，连接有第一冷却组件以及气体通入组件，所述等离子腔的下端开设有输出口；微波导入腔，设置在所述等离子腔的上端，并且所述等离子腔和所述微波导入腔之间通过石英板隔开，所述微波导入腔连接有第二冷却组件，本实用新型专利技术的微波等离子体发生装置在的等离子腔的上端设置微波导入腔，并且微波导入腔和等离子腔之间通过石英板隔开，等离子腔连接第一冷却组件，微波导入腔连接第二冷却组件，保证整个等离子体发生装置的散热效果，从而延长装置的使用寿命，并且该装置长时间使用后仍可以均匀地产生等离子体，保证蚀刻的质量和效率。保证蚀刻的质量和效率。保证蚀刻的质量和效率。
【技术实现步骤摘要】
微波等离子体发生装置
[0001]本技术涉及电路板加工设备
，尤其涉及一种微波等离子体发生装置及等离子蚀刻设备。
技术介绍
[0002]等离子刻蚀是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。采用该原理工作的等离处理设备是用等离子体中的自由基去轰击或溅射被刻蚀材料的表面分子，形成易挥发物质，从而实现刻蚀的目的。
[0003]目前，等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面活化、改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。
[0004]然而，传统的用于蚀刻电路板的等离子体发生装置大多存在着等离子体产生不均匀、装置散热不佳而导致蚀刻质量不稳定、使用寿命低的问题。
技术实现思路
[0005]为了克服上述现有技术的不足，本技术提供了一种微波等离子体发生装置，包括：等离子腔，连接有第一冷却组件以及气体通入组件，所述等离子腔的下端开设有输出口；微波导入腔，设置在所述等离子腔的上端，并且所述等离子腔和所述微波导入腔之间通过石英板隔开，所述微波导入腔连接有第二冷却组件。
[0006]进一步地，还包括呈框型的冷却板，所述冷却板固定安装在盖体上，并且所述等离子腔形成在所述冷却板上。
[0007]进一步地，所述冷却板上开设有气体通入流道，所述气体通入流道的一端连通若干个气体通入口，另一端连通所述气体通入组件。
[0008]进一步地，所述等离子腔呈矩形，若干个所述气体通入口分为两组并且分设在所述等离子腔相对的两个侧壁上。
[0009]进一步地，还包括导波盖，所述导波盖安装在所述冷却板上并且在所述导波盖与所述冷却板之间形成所述微波导入腔。
[0010]进一步地，所述第二冷却组件有至少一个，并且所述第二冷却组件为安装在所述导波盖上的散热风扇。
[0011]进一步地，所述导波盖与所述冷却板之间设置有导波孔板。
[0012]进一步地，所述导波孔板上开设有若干个穿孔，若干个所述穿孔沿所述冷却板的宽度方向延伸。
[0013]进一步地，所述石英板与所述冷却板之间设置有垫圈，所述垫圈采用特氟龙材料制成。
[0014]进一步地，所述输出口上连接有蚀刻板，所述蚀刻板上开设有网孔。
[0015]进一步地，所述蚀刻板上靠近产品的一端设置挡板，所述挡板围合在所述网孔的周围。
[0016]本技术的有益效果有：本技术的微波等离子体发生装置在的等离子腔的上端设置微波导入腔，并且微波导入腔和等离子腔之间通过石英板隔开，等离子腔连接第一冷却组件，微波导入腔连接第二冷却组件，保证整个等离子体发生装置的散热效果，从而延长装置的使用寿命，并且该装置长时间使用后仍可以均匀地产生等离子体，保证蚀刻的质量和效率。
附图说明
[0017]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0018]图1是本技术的微波等离子体发生装置的的结构示意图；
[0019]图2是本技术的微波等离子体发生装置的装配示意图；
[0020]图3是本技术的微波等离子体发生装置的其中一个方向的剖面示意图；
[0021]图4是本技术的微波等离子体发生装置的另一个方向的剖面示意图。
具体实施方式
[0022]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0023]参见图1至图4所示的一种微波等离子体发生装置，该微波等离子体发生装置包括等离子腔303和微波导入腔304，其中微波导入腔304设置在等离子腔303的上端，并且微波导入腔304和等离子腔303之间通过石英板307隔开，等离子腔303连接有第一冷却组件305和气体通入组件，并且等离子腔303的下端开设有输出口，而微波导入腔304连接有第二冷却组件306，在本技术中，等离子腔303和微波导入腔304分别通过第一冷却组件305和第二冷却组件306进行冷却操作，避免发生冷却不均或冷却效率不佳的问题，保证蚀刻的稳定性和蚀刻的质量；具体的，微波导入腔304连接外置的微波发生器104，等离子腔303连接有外置的气体通入组件，微波发生器104与微波导入腔304之间通过导波管107连接。
[0024]在一些实施例中，参照图1与图2所示，该等离子体发生装置包括呈框型的冷却板301，冷却板301通过螺栓连接固定安装在盖体102上，框型的冷却板301与石英板307相配合而围合成下端敞开的等离子腔303，该敞开的下端即是输出口，所述石英板307与所述冷却板301之间还设置有垫圈312，该垫圈312采用特氟龙材料制成；进一步地，参照图4所示，所述冷却板301上开设有气体通入流道318，该气体通入流道318的一端连通若干个气体通入口319，另一端连通气体通入组件，更具体的，该气体通入流道318有两个并且分设在框型冷却板301上相对的两个侧壁上，并且每个气体通入流道318所连通的若干个气体通入口319并排连接在等离子腔303的一侧，具体的，该若干个气体通入口319分为两组并且分设在等离子腔303相对的两个侧壁上，该两组气体通入口319分别连通气体通入流道318，其目的在于保证气体能够均匀地通入等离子腔303，从而保证等离子腔303体能够均匀分布在腔内并
且自输出口流出或喷出以蚀刻电路板。
[0025]在一些实施例中，参照图3所示，所述第一冷却组件305为形成在冷却板301上的冷流道，冷流道连通外置的冷却水系统，该冷流道环绕在等离子腔303的周围，进而保证能够均匀冷却等离子腔303，更进一步地，该冷流道的进口和出口均设置在冷却板301的同一侧上，方便布置管道。
[0026]在一些实施例中，参照图1与图2所示，该等离子体发生装置包括导波盖302，所述导波盖302安装在冷却板301上并且导波盖302与石英板307相配合而围合成微波导入腔304，微波导入腔304的一侧通过转换接头308连通导波管107，另一侧通过封板316封闭。
[0027]在一些实施例中，参照图1与图2所示，所述第二冷却组件306为安装在导波盖302上的散热风扇，具体的，所述导波盖302上开设有散热孔，所述散热风扇安装在该散热孔上，所述散热孔上还设置有散热网板309；更进一步的，所述导波盖302的上端面还设置有拉手317，其目的在于方便操作员搬动该导波盖302以对盖等离子体发生装置的内部进行维护，需要说明的是，所述导波盖302通过螺纹连接安装在冷却板301上，更近一步地，所述冷却板301的上端面设置有压牙套本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.微波等离子体发生装置，其特征在于，包括：等离子腔(303)，连接有第一冷却组件(305)以及气体通入组件，所述等离子腔(303)的下端开设有输出口；微波导入腔(304)，设置在所述等离子腔(303)的上端，并且所述等离子腔(303)和所述微波导入腔(304)之间通过石英板(307)隔开，所述微波导入腔(304)连接有第二冷却组件(306)。2.根据权利要求1所述的微波等离子体发生装置，其特征在于，还包括呈框型的冷却板(301)，所述冷却板(301)固定安装在盖体(102)上，并且所述等离子腔(303)形成在所述冷却板(301)上。3.根据权利要求2所述的微波等离子体发生装置，其特征在于，所述冷却板(301)上开设有气体通入流道(318)，所述气体通入流道(318)的一端连通若干个气体通入口(319)，另一端连通所述气体通入组件。4.根据权利要求3所述的微波等离子体发生装置，其特征在于，所述等离子腔(303)呈矩形，若干个所述气体通入口(319)分为两组并且分设在所述等离子腔(303)相对的两个侧壁上。5.根据权利要求2所述的微波等离子体发生装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵义党，李志强，李志华，廖文晗，贝亮，
申请(专利权)人：珠海恒格微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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