一种真空等离子机纠偏系统的传动机构技术方案

本实用新型专利技术涉及真空等离子处理设备技术领域，尤其涉及一种真空等离子机纠偏系统的传动机构，本实用新型专利技术采用第一套筒的一端固定连接移动座，另一端安装丝杆螺母，转动驱动源驱使转动丝杆转动，从而驱使丝杆螺母带动第一套筒/移动座直线运动，并且将第二套筒套接在第一套筒上，隔绝丝杆螺母和丝杆直接暴露在真空腔室内，从而避免腐蚀性物质直接粘附到丝杆螺母/丝杆上，可以有效延长丝杆螺母和丝杆的使用寿命，降低设备停机维护/更换的周期，保证生产产能。产产能。产产能。

【技术实现步骤摘要】
一种真空等离子机纠偏系统的传动机构


[0001]本技术涉及真空等离子处理设备
，尤其涉及一种真空等离子机纠偏系统的传动机构。

技术介绍

[0002]真空等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化、表面活化和改性等场合。通过等离子处理设备的处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆和镀等操作，增强粘合力与键合力，同时可以去除油污、油脂和有机污染物。卷对卷的真空等离子处理设备一般都设置调整张力的纠偏装置或者说纠偏系统来保证工作的齐整度，纠偏装置主要包括电驱动件、纠偏执行机构和控制系统等。由于真空等离子设备内部伴有腐蚀性气体，因此无法将电器元件直接安装到腔体内部。
[0003]纠偏执行机构通常包括移动座和直线驱动源，直线驱动源设置在真空腔室外，并通过丝杆或传动轴等传动结构与移动座驱动连接，现有的设备大多是将传动结构直接暴露在真空腔室内，腐蚀性物质能够直接粘附在丝杆螺母上从而腐蚀丝杆螺母和丝杆之间的塑料部件，导致传动结构报废损坏而要频繁停机维护甚至更换，影响产能。

技术实现思路

[0004]为达到上述目的，本技术提供一种真空等离子机纠偏系统的传动机构，包括：
[0005]第一套筒，其一端与移动座固定连接，另一端固定安装有丝杆螺母；
[0006]第二套筒，固定安装在底座上且套接于所述第一套筒，所述第一套筒可在所述第二套筒内沿轴向往复移动，所述第二套筒上远离所述移动座的一端设置有密封件；
[0007]转动丝杆，其一端穿入所述第一套筒内并与所述丝杆螺母驱动连接，另一端自所述密封件穿出并与转动驱动源连接。
[0008]在一些可能实现的方式中，所述第一套筒上靠近所述移动座的一端封闭设置。
[0009]在一些可能实现的方式中，所述丝杆螺母通过锁紧螺钉固定安装于所述第一套筒的端部。
[0010]在一些可能实现的方式中，所述底座上设置有安装通孔，所述第二套筒穿过并固装于所述安装通孔内。
[0011]在一些可能实现的方式中，所述第一套筒和/或所述第二套筒采用金属材料制成。
[0012]在一些可能实现的方式中，所述第一套筒通过连接件与所述移动座固定连接，所述底座上形成有限位凹槽，所述连接件朝下延伸至所述限位凹槽内，并且所述连接件可随所述移动座在所述限位凹槽内往复移动。
[0013]相比现有技术，本技术的有益效果在于：本技术采用第一套筒的一端固定连接移动座，另一端安装丝杆螺母，转动驱动源驱使转动丝杆转动，从而驱使丝杆螺母带动第一套筒/移动座直线运动，并且将第二套筒套接在第一套筒上，隔绝丝杆螺母和丝杆直接暴露在真空腔室内，从而避免腐蚀性物质直接粘附到丝杆螺母/丝杆上，可以有效延长丝
杆螺母和丝杆的使用寿命，降低设备停机维护/更换的周期，保证生产产能。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本技术实施例提供的传动机构的装配示意图；
[0016]图2为本技术实施例提供的传动机构的剖面示意图；
[0017]图3为图2中A处的放大示意图。
[0018]附图标记：
[0019]底座10；安装通孔101；移动座11；连接件111；转动驱动源12；限位凹槽13；联轴器14；
[0020]第一套筒21；第二套筒22；丝杆螺母23；转动丝杆24；密封件25。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。以下，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本公开实施例的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0022]参照图1至图3所示的一种真空等离子机纠偏系统的传动机构，该传动机构设置在转动驱动源12和移动座11之间，其中转动驱动源12设置在真空腔室外，移动座11设置在真空腔室内，本实施例中真空腔室的底部称为底座10，该传动机构包括第一套筒21、第二套筒22和转动丝杆24，第一套筒21的一端通过螺栓连接或焊接等方式固定安装在移动座11上，第一套筒21的另一端设置有丝杆螺母23，第二套筒22的两端均敞开设置并且其套接在第一套筒21上，第一套筒21可在第二套筒22内沿轴向直线往复移动，第二套筒22上远离移动座11的一端还设置有密封件25，该密封件25可以为常规的密封圈，其用于密封第二套筒22远离移动座11的一端，并且密封件25的内圈可容转动丝杆24穿过，转动丝杆24的一端自外而内依次穿过密封件25和丝杆螺母23并延伸至第一套筒21内，并且转动丝杆24与丝杆螺母23驱动连接，转动丝杆24的另一端连接转动驱动源12，转动驱动源12可通过转动丝杆24驱使丝杆螺母23沿轴向直线移动，从而带动移动座11沿轴向移动，具体的，转动驱动源12可以为可正反转的伺服电机，转动驱动源12的输出端通过联轴器14与转动丝杆24的一端驱动连接，本实施例中将第一套筒21安装有丝杆螺母23的一端穿入第二套筒22内，通过第二套筒22的遮蔽作用以避免丝杆螺母23和转动丝杆24直接暴露在真空腔室内，从而避免真空腔室内的腐蚀性物质直接粘附到丝杆螺母23/转动丝杆24上，大大提升丝杆螺母23/丝杆的使用寿命，降低丝杆螺母23和转动丝杆24的维护/更换频率。
[0023]在一些可能实现的方式中，参照图1与图3所示，第一套筒21上靠近移动座11的一端封闭设置，并且其通过侧面设置的锁紧螺钉与移动座11固定连接，这样的方式可以有效避免腐蚀性物质会直接进入第一套筒21内并粘附到转动丝杆24上。
[0024]在一些可能实现的方式中，丝杆螺母23通过锁紧螺钉固定安装于第一套筒21的端部，此时转动驱动源12驱使转动丝杆24转动，即可带动丝杆螺母23沿轴向直线移动，进而通过第一套筒21带动移动座11移动。
[0025]在一些可能实现的方式中，参照图1所示，底座10上设置有安装通孔101，本实施例中第二套筒22水平设置并固装于安装通孔101内，第一套筒21在第二套筒22内水平直线往复移动。
[0026]在一些可能实现的方式中，第一套筒21和/或第二套筒22采用金属材料制成，其目的在于避免第一套筒21和第二套筒22受真空腔室内的腐蚀性物质影响而降低机构的使用寿命。
[0027]在一些可能实现的方式中，参照本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空等离子机纠偏系统的传动机构，其特征在于，包括：第一套筒(21)，其一端与移动座(11)固定连接，另一端固定安装有丝杆螺母(23)；第二套筒(22)，固定安装在底座(10)上且套接于所述第一套筒(21)，所述第一套筒(21)可在所述第二套筒(22)内沿轴向往复移动，所述第二套筒(22)上远离所述移动座(11)的一端设置有密封件(25)；转动丝杆(24)，其一端穿入所述第一套筒(21)内并与所述丝杆螺母(23)驱动连接，另一端自所述密封件(25)穿出并与转动驱动源(12)连接。2.根据权利要求1所述的一种真空等离子机纠偏系统的传动机构，其特征在于，所述第一套筒(21)上靠近所述移动座(11)的一端封闭设置。3.根据权利要求2所述的一种真空等离子机纠偏系统的传动机构，其特征在于，所述丝杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志强，廖文晗，赵义党，
申请(专利权)人：珠海恒格微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：