双工位等离子刻蚀机制造技术

本发明专利技术公开的双工位等离子刻蚀机，包括上料生产线、上料吊升装置、双工位等离子刻蚀装置、下料吊升装置和下料生产线，上料吊升装置用于将上料生产线输送的待加工PCB板放置于板框夹具上锁紧固定、以及送料至每个蚀刻加工单元；该双工位等离子刻蚀装置采用上下层的刻蚀腔进行循环的PCB板刻蚀；下料吊升装置移出加工后的PCB板及板框夹具、并将空置的板框夹具转送至备用区和将PCB板转送至下料工位处；下料生产线用于转送的加工后的PCB板水平输出，通过整机实现PCB板双工位刻蚀加工的自动上料和自动下料，有效提高生产效率。有效提高生产效率。有效提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
双工位等离子刻蚀机


[0001]本专利技术涉及等离子刻蚀技术，尤其涉及一种双工位等离子刻蚀机。

技术介绍

[0002]等离子刻蚀是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。而等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。现有的等离子刻蚀设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室，气体被导入并与等离子体进行交换，等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。
[0003]现有的等离子刻蚀设备也常用于PCB板的刻蚀或清洗加工，但是，随着电子产品小型化、轻量化的需求，电子产品所用PCB板越来越薄；因此，当PCB板需要刻蚀或清洗加工时，就需要将PCB板放入专用的载具中进行定位支撑，一方面提高PCB板转运过程中的可靠性，另一方面提高刻蚀或清洗加工时的定位精度；然后，再进行后续的加工，这就需要在加工前需要通过人工将PCB板放入载具中，上料到对应工位处直接定位加工，且在加工后需要人工将PCB从载具中取出。
[0004]现有PCB板的传送方式，在实际生产加工过程中，线路板的上下料大多只能实现单独一个工位的移送，对于一个工艺步骤中立式布局的多个工位的同步加工，无法实现立体的上下料控制；这就造成，现有设备对线路板加工前后，上下料无法实现立体布局的多工位有序控制。
[0005]以上原因，造成现有PCB板上下料夹装的效率低，无法实现PCB板的自动装载、自动卸载，不仅浪费了人力、效率不高，还造成无法控制的质量问题。

技术实现思路

[0006]本专利技术实施例提供的双工位等离子刻蚀机，能够实现在立体空间上的多工位同步上下料控制，便于PCB板刻蚀或清洗加工时进行自动夹持抓取、移送和松开放料，循环有序的进行双工位的PCB板刻蚀或清洗，有效实现PCB板的自动化加工，有效提高生产效率。
[0007]本专利技术至少一个实施例所采用的技术方案是：
[0008]双工位等离子刻蚀机，用于PCB板双工位刻蚀加工的自动上料和自动下料，包括：
[0009]上料生产线，用于将待加工的PCB板连续不断的水平输送至下一工位；
[0010]上料吊升装置，用于将空置的板框夹具横移和沿竖向升降运动归位至上料区、以及横移夹持所述上料生产线输送的待加工PCB板放置于板框夹具上锁紧固定，并沿竖向方向升降运动后再次横移进给送料至每个蚀刻加工单元；
[0011]双工位等离子刻蚀装置，采用上下层状叠加布局的两个工位设置的等离子刻蚀腔，通过所述上料吊升装置对两个等离子刻蚀腔分别提供待加工的PCB板、进行有序替换循环的PCB板刻蚀，在双工位等离子刻蚀装置后侧还连接有对两个等离子刻蚀腔分别抽真空
的抽真空组件；
[0012]下料吊升装置，其结构设置与所述上料吊升装置相同，用于横移移出所述双工位等离子刻蚀装置上每个等离子刻蚀腔内加工完成后的PCB板及板框夹具，并将加工完成后的PCB板从板框夹具上夹持取出，进一步沿竖向方向升降运动的同时、通过横移依次将空置的板框夹具转送至所述双工位等离子刻蚀装置上的备用区和将加工完成后的PCB板转送至下料工位处；
[0013]下料生产线，用于将所述下料吊升装置转送的加工完成后的PCB板连续不断的水平输出。
[0014]优选地，所述上料吊升装置和下料吊升装置均包括：
[0015]上下料吊升机构，安装于立柱支架上，对于同一工位处所述双工位等离子刻蚀装置的上下层状布局的两个蚀刻加工单元、沿竖向方向升降运动后进给至每个蚀刻加工单元的上料工位或下料工位；
[0016]上下料横移进给机构，安装固定于上下料吊升机构上，用于将上料生产线送给至的待加工PCB板移送至其上的板框夹具锁紧、并在上下料吊升机构带动下升降运动至每个蚀刻加工单元的上料工位处将待加工的板框夹具及PCB板移送至每个蚀刻加工单元，或者在上下料吊升机构带动下升降运动至每个蚀刻加工单元的下料工位处将加工后的板框夹具及PCB板移出每个加工单元、并在上下料吊升机构带动下二次升降运动后将板框夹具上的PCB板移送下料以及将空置的板框夹具移送至备用区。
[0017]优选地，所述上下料吊升机构包括吊升驱动电机、两个立柱滑轨、吊升主动齿轮、吊升齿轮带和吊升从动齿轮，两个立柱滑轨相对的安装于所述立柱支架的底基座和顶撑体之间，所述吊升驱动电机及其驱动的吊升主动齿轮安装于所述立柱支架的底基座上，所述吊升从动齿轮吊挂安装于所述立柱支架上顶撑体的下侧；
[0018]所述吊升齿轮带转动套装于吊升主动齿轮与吊升从动齿轮之间，所述上下料横移进给机构上的基座板通过直线滑动轴承与两个立柱滑轨滑动套装配合，所述吊升齿轮带的单侧通过压扣锁紧件与所述上下料横移进给机构上的基座板固定连接；
[0019]所述吊升驱动电机通过吊升主动齿轮及吊升齿轮带带动所述上下料横移进给机构沿竖直方向升降运动。
[0020]优选地，所述上下料横移进给机构包括：
[0021]基座板，水平设置用于整个装置的支撑定位；
[0022]两组限位立板，分别相对的竖直安装于所述基座板两侧、并在两者之间形成 PCB板上下料的移送通道；
[0023]板体载具定位机构，设置于所述基座板上侧、且位于两组所述限位立板之间的移送通道中，设置有对PCB板定位及装卸锁紧的板框夹具和用于板框夹具沿移送通道方向导向及定位；
[0024]两组板体横移机构，分别安装于两组所述限位立板的顶端，且同步运动带动上料工位处的PCB板横移至所述板体载具定位机构上的板框夹具处、或者同步运动带动板框夹具处的PCB板横移至下料工位处；
[0025]板体升降抓取机构，包括两个升降气缸和提升吊框，所述提升吊框外围周向上设有多个对PCB板进行夹持抓取的抓手组件，两个升降气缸位于所述提升吊框相对两侧并分
别安装固定于两侧对应的板体横移机构上、用于抓取夹持PCB板后对整个所述提升吊框的提升或下降；
[0026]板框移送机构，安装于基座板中部，在两组限位立板两侧板体载具定位机构对板框夹具的纵向及横向限位作用下，锁紧板框夹具、并沿直线移送方向带动板框夹具移入或带动板框夹具上的PCB板移出。
[0027]优选地，所述板体载具定位机构包括对PCB板装卸锁紧的板框夹具、多个顶侧限位压轮、多个底侧限位承托轮和多个旁侧限位轮，所述顶侧限位压轮、所述底侧限位承托轮和所述旁侧限位轮分为两组、且分别安装于所述基座板两侧的每组限位立板上，对沿移送方向水平进给的板框夹具滑动导向的同时、并进行纵向和横向限位。
[0028]优选地，所述板体载具定位机构上板框夹具的正对应两侧边框上还分别设有多组板体自锁夹持件，每组板体自锁夹持件在外力驱动下克服自锁扭力张开让位后用于PCB板放置于板框夹具、以及在自身自锁扭力作用下将PCB板压扣锁紧于板框夹具上。
[0029]优选本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.双工位等离子刻蚀机，用于PCB板双工位刻蚀加工的自动上料和自动下料，其特征在于，包括：上料生产线，用于将待加工的PCB板连续不断的水平输送至下一工位；上料吊升装置，用于将空置的板框夹具横移和沿竖向升降运动归位至上料区、以及横移夹持所述上料生产线输送的待加工PCB板放置于板框夹具上锁紧固定，并沿竖向方向升降运动后再次横移进给送料至每个蚀刻加工单元；双工位等离子刻蚀装置，采用上下层状叠加布局的两个工位设置的等离子刻蚀腔，通过所述上料吊升装置对两个等离子刻蚀腔分别提供待加工的PCB板、进行有序替换循环的PCB板刻蚀，在双工位等离子刻蚀装置后侧还连接有对两个等离子刻蚀腔分别抽真空的抽真空组件；下料吊升装置，其结构设置与所述上料吊升装置相同，用于横移移出所述双工位等离子刻蚀装置上每个等离子刻蚀腔内加工完成后的PCB板及板框夹具，并将加工完成后的PCB板从板框夹具上夹持取出，进一步沿竖向方向升降运动的同时、通过横移依次将空置的板框夹具转送至所述双工位等离子刻蚀装置上的备用区和将加工完成后的PCB板转送至下料工位处；下料生产线，用于将所述下料吊升装置转送的加工完成后的PCB板连续不断的水平输出。2.根据权利要求1所述的双工位等离子刻蚀机，其特征在于，所述上料吊升装置和下料吊升装置均包括：上下料吊升机构，安装于立柱支架上，对于同一工位处所述双工位等离子刻蚀装置的上下层状布局的两个蚀刻加工单元、沿竖向方向升降运动后进给至每个蚀刻加工单元的上料工位或下料工位；上下料横移进给机构，安装固定于上下料吊升机构上，用于将上料生产线送给至的待加工PCB板移送至其上的板框夹具锁紧、并在上下料吊升机构带动下升降运动至每个蚀刻加工单元的上料工位处将待加工的板框夹具及PCB板移送至每个蚀刻加工单元，或者在上下料吊升机构带动下升降运动至每个蚀刻加工单元的下料工位处将加工后的板框夹具及PCB板移出每个加工单元、并在上下料吊升机构带动下二次升降运动后将板框夹具上的PCB板移送下料以及将空置的板框夹具移送至备用区。3.根据权利要求2所述的双工位等离子刻蚀机，其特征在于，所述上下料吊升机构包括吊升驱动电机、两个立柱滑轨、吊升主动齿轮、吊升齿轮带和吊升从动齿轮，两个立柱滑轨相对的安装于所述立柱支架的底基座和顶撑体之间，所述吊升驱动电机及其驱动的吊升主动齿轮安装于所述立柱支架的底基座上，所述吊升从动齿轮吊挂安装于所述立柱支架上顶撑体的下侧；所述吊升齿轮带转动套装于吊升主动齿轮与吊升从动齿轮之间，所述上下料横移进给机构上的基座板通过直线滑动轴承与两个立柱滑轨滑动套装配合，所述吊升齿轮带的单侧通过压扣锁紧件与所述上下料横移进给机构上的基座板固定连接；所述吊升驱动电机通过吊升主动齿轮及吊升齿轮带带动所述上下料横移进给机构沿竖直方向升降运动。4.根据权利要求2所述的双工位等离子刻蚀机，其特征在于，所述上下料横移进给机构
包括：基座板，水平设置用于整个装置的支撑定位；两组限位立板，分别相对的竖直安装于所述基座板两侧、并在两者之间形成PCB板上下料的移送通道；板体载具定位机构，设置于所述基座板上侧、且位于两组所述限位立板之间的移送通道中，设置有对PCB板定位及装卸锁紧的板框夹具和用于板框夹具沿移送通道方向导向及定位；两组板体横移机构，分别安装于两组所述限位立板的顶端，且同步运动带动上料工位处的PCB板横移至所述板体载具定位机构上的板框夹具处、或者同步运动带动板框夹具处的PCB板横移至下料工位处；板体升降抓取机构，包括两个升降气缸和提升吊框，所述提升吊框外围周向上设有多个对PCB板进行夹持抓取的抓手组件，两个升降气缸位于所述提升吊框相对两侧并分别安装固定于两侧对应的板体横移机构上、用于抓取夹持PCB板后对整个所述提升吊框的提升或下降；板框移送机构，安装于基座板中部，在两组限位立板两侧板体载具定位机构对板框夹具的纵向及横向限位作用下，锁紧板框夹具、并沿直线移送方向带动板框夹具移入或带动板框夹具上的PCB板移出。5.根据权利要求4所述的双工位等离子刻蚀机，其特征在于，所述板体载具定位机构包括对PCB板装卸锁紧的板框夹具、多个顶侧限位压轮、多个底侧限位承托轮和多个旁侧限位轮，所述顶侧限位压轮、所述底侧限位承托轮和所述旁侧限位轮分为两组、且分别安装于所述基座板两侧的每组限位立板上，对沿移送方向水平进给的板框夹具滑动导向的同时、并进行纵向和横向限位。6.根据权利要求5所述的双工位等离子刻蚀机，其特征在于，所述板体载具定位机构上板框夹具的正对应两侧边框上还分别设有多组板体自锁夹持件，每组板体自锁夹持件在外力驱动下克服自锁扭力张开让位后用于PCB板放置于板框夹具、以及在自身自锁扭力作用下将PCB板压扣锁紧于板框夹具上。7.根据权利要求4所述的双工位等离子刻蚀机，其特征在于，两组所述板体横移机构的驱动部共用一个动力驱动源，两组所述板体横移机构的动力驱动通过驱动杆同步连接；每组板体横移机构包括：支撑板，水平设置用于整个机构的支撑定位；驱动部，设置于所述支撑板一端；第一传送带，沿所述支撑板长度方向安装，一端套装于所述驱动部驱动轴上设置的第一主动轮上，另一端套装于所述支撑板上安装的第一从动轮上；第一滑轨及第一滑块组件，所述第一滑轨紧邻所述第一传送带安装于所述支撑板上，所述第一滑块组件通过第一连接件与所述第一传送带固定连接、且在第一传送带带动下沿第一滑轨直线横移；第二滑轨及第二滑块组件，所述第二滑轨呈悬臂状安装固定于所述第一滑块组件上，所述第二滑块组件沿所述第二滑轨滑动、并用于带动其上承载物料；第二传送带，分别转动套装于所述第二滑轨两端设置的第三从动轮和第四从动轮上，
所述第二滑块组件通过第二连接件与所述第二传送带固定连接；移送皮带固定柱，远离所述驱动部安装固定于所述支撑板另一端的端部、并用于锁紧固定所述第二传送带；所述驱动部驱动第一传送带转动，第一传送带通过第一连接件带动第一滑块组件沿第一滑轨滑动，并带动第一滑块组件上的第二滑轨及第二滑块组件同步横移，且由于第二传送带一端由所述移送皮带固定柱固定，在第二传送带反向力作用下，通过第二连接件与所述第二传送带固定连接的所述第二滑块组件、相对所述第二滑轨及所述第一传送带以双倍的速度带动第二滑块组件及其上承载物料横移。8.根据权利要求4所述的双工位...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志强，李志华，赵义党，
申请(专利权)人：珠海恒格微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：