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中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术
中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利
集成光栅的楔形结构的边发射太赫兹量子级联激光器制造技术
本发明提出了一种集成光栅的楔形结构的边发射太赫兹量子级联激光器及其制作方法,集成光栅的楔形结构的边发射太赫兹量子级联激光器至少包括:依次相连接的DBR光栅波导、矩形直波导和楔形波导;所述楔形波导的一端为窄端面,另一端为宽端面,所述楔形波...
抑制横向干扰的三维集成微机械加速度传感器及制作方法技术
本发明提供一种抑制横向干扰的三维集成微机械加速度传感器由三个相互独立的加速度传感单元集成为一体,三个方向的信号不会相互耦合干扰,每个方向的加速度信号都能准确地输出提取;Z轴方向的加速度传感单元由相互平行设置的单端固支的固支板和位于固支板...
在(100)单硅片上制作宽频带高量程加速度传感器的方法技术
本发明提供一种在(100)单硅片上制作宽频带高量程加速度传感器的方法,所制作的宽频带高量程加速度传感器由四个纵截面为五边形规则的作为压阻敏感电阻的微梁以及一块弹性板构成,工作时微梁仅沿硅<110>晶向产生直拉或直压的应变,使...
用于相变存储器的V‑Sb‑Te相变材料体系及其制备方法技术
本发明提供一种用于相变存储器的V‑Sb‑Te相变材料体系及其制备方法,其中,所述V‑Sb‑Te相变材料体系为在Sb‑Te相变材料体系基础上掺V而成,其化学通式为V100‑x‑ySbxTey,其中,0.5≤x/y≤4,且50≤x+y≤99...
一种二级振动式宽频带能量采集器制造技术
本发明提供一种二级振动式宽频带能量采集器,至少包括:第一级低频振子,用于感应外界环境的振动;第二级高频振子,通过与所述第一级低频振子的排斥力驱动,且所述排斥力同时激发所述第一级低频振子的高频振动分量;所述第一级低频振子及第二级高频振子通...
一种锗材料表面稳定钝化的方法技术
本发明涉及一种锗材料表面稳定钝化的方法,包括:采用不同试剂对锗片表面进行清洗,有效除去锗表面污物以及表层氧化层,实现锗表面的初步氯化;然后采用乙醇和水的混合液配制硫醇试剂,采用适当加热的钝化条件在锗表面得到自组装膜。本发明具有操作简单、...
伸展模态传感器及其制造方法技术
本发明提供一种伸展模态传感器及其制造方法,所述伸展模态传感器至少包括:左右对称的两个质量块;互相平行、左右对称并可在平面内伸缩的两个微梁;所述微梁中形成有离子注入区;所述微梁两端分别与两个质量块连接;两个支撑台;所述支撑台阶一端往顶端方...
封装应力与温漂自补偿的双悬浮式力敏传感器芯片及制备方法技术
本发明提供一种封装应力与温漂自补偿的双悬浮式力敏传感器芯片及制备方法。所述芯片至少包括:形成在单晶硅基片一表面的两个同结构同尺寸的悬臂梁,每一悬臂梁表面开设有参考压力腔体,每一参考压力腔体表面覆盖有单晶硅压力敏感薄膜,且在每一单晶硅压力...
一种无线多媒体传感器网络接入IP网络的方法技术
本发明涉及一种无线多媒体传感器网络接入IP网络的方法,其特征在于采用虚拟网关的方式实现无线多媒体传感器网络接入IP网络;所述的虚拟网关遵从SOCKET网络编程规范的应用程序便可以访问该无线多媒体传感网络;所述的虚拟网关在不同的操作平台上...
超导量子干涉器磁传感器及其中的工作点跳变的识别方法技术
本发明提供一种超导量子干涉器磁传感器及其中的工作点跳变的识别方法。所述磁传感器包括:超导量子干涉器件;回滞反馈处理单元,用于将超导量子干涉器件所感应的电信号进行回滞反馈处理,使得超导量子干涉器件经回滞反馈处理后所输出的电信号具有周期单值...
表征随机存储器单元抗电流噪声容限的方法及测试结构技术
本发明提供一种表征随机存储器单元抗电流噪声容限的方法及测试结构,所述存储器单元的表征抗电流噪声容限的方法步骤为:扫描单元第一存储节点的电压,得到该扫描电压与供电电流关系曲线;反扫描第二存储节点的电压,得到该扫描电压与供电电流关系曲线;将...
一种双栅SOI器件结构及其制作方法技术
本发明提供一种双栅SOI器件结构及其制作方法,该结构包括SOI衬底及形成于SOI衬底中并通过浅沟槽隔离结构隔离的MOS晶体管;所述MOS晶体管包括栅极、源极、漏极、栅极接触、源极接触及漏极接触;所述MOS晶体管还包括背栅极接触;所述背栅...
相变存储器及其制备方法技术
本发明提供一种相变存储器及其制备方法,其中,所述相变存储器至少包括:下电极,所述下电极呈阵列式排布;位于所述下电极上的下加热电极;位于多个下加热电极上的相变材料层,所述相变材料层呈条状等间距排布;位于所述下加热电极上方位置的相变材料层上...
一种基于多通道压缩采样的宽带功率谱估计方法技术
本发明涉及一种基于多通道压缩采样的宽带功率谱估计方法,该方法面向宽带信号,模拟前端采用多通道压缩采样的方式,对每一路的采样值进行离散傅里叶变换,先将时域相乘转化为卷积后的抽取,然后转化为频域相乘,并建立各通道间的互功率谱关系式。信号的功...
一种连续波探测器测试系统技术方案
本发明涉及一种连续波探测器测试系统,其中接收/发射天线用于接收与发射信号;所述接收/发射天线接收到的信号通过所述环形器至低噪声放大器进行放大,用于所述混频器的本振输入;所述波形发生器根据目标探测过程中距离信息或多普勒频率设定相应频率的波...
一种石墨烯闪存存储器的制备方法技术
本发明提供一种石墨烯闪存存储器的制备方法,所述方法采用单层或者多层的连续石墨烯薄膜替代多晶硅栅或者氮氧化物存储电荷,能够在有限的物理空间内提高电荷存储容量,由于石墨烯厚度较薄,缩小器件纵向尺寸的同时,消除器件中电容耦合的影响,能有效避免...
采用单个运算放大器的超导量子干涉器磁传感器制造技术
本发明涉及一种采用单个运算放大器的超导量子干涉器磁传感器,其特征在于使用一个低噪声的运算放大器,以开环的方式对SQUID电压信号进行放大,并由单个运算放大器开环输出直接驱动反馈电阻及反馈线圈。取代了传统磁通锁定环路中的前置放大器和积分器...
一种野外运动目标精细化提取方法技术
本发明涉及野外运动目标精细化提取方法,包括:获取包含运动目标的序列图像,并对序列图像进行预处理;将预处理后的序列图逐帧做差后分割为多个栅格,根据栅格的特征值确定目标所在的运动区域,并利用栅格法提取目标的运动区域进一步缩小目标范围;在目标...
一种实时序列图像运动目标区域获取方法技术
本发明涉及一种实时序列图像运动目标区域获取方法,包括以下步骤:对获取的静态图像序列做帧差处理,获得帧差图像序列;将帧差图像序列的每一帧分割成W×H子区域,并计算每个子区域能量对数值;根据每个子区域能量对数值获取每个子区域的特征值;判断每...
一种基于麦克风阵列的无线传感器网络运动目标检测方法技术
本发明涉及一种基于麦克风阵列的无线传感器网络运动目标检测方法,包括以下步骤:无线传感器网络的网络节点利用麦克风阵列采集运动目标发出的声响信号;对采集到的声响信号运行多级检测算法,只有在低一级检测算法检测到目标后才启动高一级检测算法,当最...
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