采用单个运算放大器的超导量子干涉器磁传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种采用单个运算放大器的超导量子干涉器磁传感器，其特征在于使用一个低噪声的运算放大器，以开环的方式对SQUID电压信号进行放大，并由单个运算放大器开环输出直接驱动反馈电阻及反馈线圈。取代了传统磁通锁定环路中的前置放大器和积分器。所述的采用单个运算放大器SQUID磁通锁定环路有正、负端输入接线方式，且正、负端输入接线方式各有三种形式可选。本发明专利技术特点是只使用一个运算放大器实现SQUID磁通锁定环路，电路简单。避免了传统电路中积分器的使用，减小环路延时，使磁通锁定环路实现更高的带宽。在SQUID多通道应用中具有重要的意义。

【技术实现步骤摘要】
采用单个运算放大器的超导量子干涉器磁传感器
本专利技术涉及一种采用单个运算放大器的超导量子干涉器磁传感器，更确切地说涉及一种超导量子干涉器件读出电路，属于电路

技术介绍
采用超导量子干涉器件(SuperconductingQuantumInterferenceDevice,以下简称SQUID)构建的磁传感器是目前已知最灵敏的磁传感器。广泛应用于生物磁场、地球磁场异常、极低场核磁共振等微弱磁场探测应用领域，其磁场探测灵敏度已经达到飞特(10-15特斯拉)量级。是极微弱磁场探测和研究中重要的磁传感器。直流超导量子干涉器(简称dcSQUID)是由两个超导约瑟夫森结并联形成一个超导环。在约瑟夫森结两端引出接线，形成了一个两端子元件。当SQUID两端加载一定的偏置电流时，基于超导量子化效应和约瑟夫森效应，SQUID两端产生的电压将随超导环感应外磁通大小而变化。由于SQUID输出电压与其探测磁通成非线性关系，无法直接通过测量SQUID两端电压来获得探测的磁通大小。因此，实际应用的SQUID磁传感器是由SQUID器件与放大电路构成的磁通锁定环路(Flux-LockedLoop，以下简称FLL)来实现的。该磁通锁定环路称为SQUID读出电路。文献【D.DrungandM.Mück,TheSQUIDHandbook,vol.I,J.ClarkeandA.I.Braginski,Ed.Weinheim:Wiley-VCH,pp.128–155,2006.】中典型的SQUID磁通锁定环路如图1所示。首先给SQUID加载一定偏置电流Ib使其具有最大的磁通电压传输率。将SQUID电压信号接入一个前置放大器进行放大。同时调节偏置电压Vb,使得SQUID在具有最大磁通电压传输率时输出电压的直流量为零。此时SQUID当前的偏置电流Ib、偏置电压Vb及所加载磁通Φa取值状态称为工作点。前置放大器输出接入积分器进行积分，积分器的输出驱动反馈电阻向反馈线圈注入反馈电流，由反馈线圈与SQUID的互感产生反馈磁通耦合到SQUID中。磁通锁定环路的工作原理是：在磁通锁定环路保持SQUID工作点稳定时，当被测磁通发生一个变化量ΔΦ，SQUID端产生一个偏离工作点的电压变化Δv,经前置放大器放大后，送入积分器进行积分，调整积分器的输出电压。经反馈电阻、反馈线圈调整反馈磁通抵消上述外部输入的磁通变化量，使SQUID在工作点输入积分器的电压为零，积分器停止积分，环路恢复稳定。工作点稳定状态称为读出电路锁定。在锁定状态下，磁通锁定环路输出电压Vf就与SQUID感应的外磁通变化量成正比【D.Drung“High-Tcandlow-TcdcSQUIDelectronics”Supercond.Sci.Technol.161320–1336(2003).】，即Vf＝ΔΦ·Rf/Mf，其中ΔΦ为SQUID检测的磁通变化量，Rf为反馈电阻，Mf为反馈线圈与SQUID的互感。在电路实现上，传统SQUID磁通锁定环路通常使用前置放大器对SQUID微弱电压信号进行低噪声放大，再将放大后的信号接入积分器进行积分反馈。因此传统的SQUID磁通锁定环路采用至少一个前置放大电路与一个积分器级联电路再连接反馈电阻、反馈线圈构成。在实际应用中，采用积分器的SQUID磁通锁定环路存在以下几个问题：1)带宽受限：采用积分器的读出电路，使用至少两级以上的放大电路，增大了环路信号的延时，使高频信号传输产生相移，造成环路振荡【D.DrungandM.Mück,TheSQUIDHandbook,vol.I,J.ClarkeandA.I.Braginski,Ed.Weinheim:Wiley-VCH,pp.128–155,2006.】，因此必须增大积分电容，消除振荡，实现磁通锁定环路稳定工作，积分电容的增大，降低了磁通锁定回路的带宽。2)摆率受限：积分电路的输出是其输入信号随时间积分的结果，当检测信号发生突变，积分器无法快速响应，因此传感器电压输出的摆率受限。难以满足高摆率磁场探测的要求。3)至少使用两个以上的运算放大器及外围电路，电路复杂，功耗大。SQUID器件的信号响应可以从直流到GHz，具有高速高带宽特性。上述采用积分器的读出电路在响应带宽、摆率特性上限制了SQUID磁传感器性能。此外，SQUID芯片采用微电子技术制备，具有体积小，集成化的独特优势，在多通道，高分辨率探测系统如采用SQUID的64通道心磁图仪、200多通道的脑磁图仪中广泛应用。多通道系统对SQUID磁传感器小型化提出更高要求。因此，简化SQUID读出电路设计对SQUID多通道应用具有重要意义和实用价值。本专利技术试图在解决这方面问题作开创性工作。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种采用单个运算放大器的超导量子干涉器磁传感器，本专利技术是针对多通道高度集成的SQUID系统，设计更简化的读出电路构建SQUID磁传感器。SQUID比半导体放大器具有更高的响应速度，它可与放大器实现稳定的负反馈回路。因此本专利技术构思是只使用一个低噪声的运算放大器，以开环的方式对SQUID电压信号进行放大，并由单个运算放大器开环输出直接驱动反馈电阻及反馈线圈。从而取代了传统磁通锁定环路中的前置放大器和积分器，实现了更简单的SQUID磁通锁定环路的构建。采用单个运算放大器的SQUID磁通锁定环路有以下两种接线方式：1)正端输入接线方式，如图2所示。偏置电流源提供的偏置电流Ib加载到SQUID中，SQUID电压信号接入运算放大器的正输入端。偏移电压Vb接入运算放大器的负输入端。运算放大器的输出端接反馈电阻Rf的一端，反馈电阻的另一端接反馈线圈，反馈线圈与SQUID通过互感耦合，运算放大器输出电压驱动反馈电阻Rf产生电流，通过反馈线圈与SQUID互感Mf产生反馈磁通，构成磁通锁定环路。所述的正端输入接线方式有实施方式1、3和5(即A、B和C)三种中的一种(详见具体实施方式)。2)负端输入接线方式，如图3所示。偏置电流源提供的偏置电流Ib加载到SQUID中，SQUID电压信号接运算放大器的负输入端，偏移电压Vb接运算放大器的正输入端。运算放大器的输出端接反馈电阻Rf的一端，反馈电阻的另一端连接反馈线圈，反馈线圈与SQUID通过互感耦合，运算放大器输出电压驱动反馈电阻Rf产生电流，通过反馈线圈与SQUID互感Mf产生反馈磁通，构成磁通锁定环路。所述的负端输入接线方式有实施方式2、4和6(即D、E和F)三种中的任一种(详见具体实施方式)。本专利技术只使用一个运算放大器实现SQUID磁通锁定环路，电路简单。避免了传统环路中积分器电路的使用，减小环路延时，使磁通锁定环路实现更高的带宽。运算放大器直接输出驱动反馈电阻和反馈线圈，避免了积分电容的影响，磁通锁定环路可实现更高的摆率。此外，上述电路采用单个运算放大器和少量外围电路构成，电路体积小，功耗低，大大减少多通道SQUID传感器集成的整体体积和功耗，在SQUID多通道应用中具有重要的意义。附图说明图1.典型直读式读出电路原理。图2.SQUID正端输入的单个运算放大器磁通锁定环路原理图。图3.SQUID负端输入的单个运算放大器磁通锁定环路原理图。图4.单个运算放大器SQUID磁通锁定环路具体实施方式1；图中B1、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种采用单个运算放大器的超导量子干涉器磁传感器，其特征在于只使用一个低噪声的运算放大器，以开环的方式对SQUID电压信号进行放大，并由单个运算放大器开环输出直接驱动反馈电阻及反馈线圈，从而取代了传统磁通锁定环路中的前置放大器和积分器。

【技术特征摘要】
1.一种采用单个运算放大器的超导量子干涉器磁传感器，其特征在于只使用一个低噪声的运算放大器，以开环的方式对SQUID电压信号进行放大，并由单个运算放大器开环输出直接驱动反馈电阻及反馈线圈，从而取代了传统磁通锁定环路中的前置放大器和积分器；采用单个运算放大器的SQUID磁通锁定环路有以下两种接线方式：1)正端输入接线方式：偏置电流源提供的偏置电流Ib加载到SQUID中，SQUID电压信号接入运算放大器的正输入端；偏置电压Vb接入运算放大器的负输入端，运算放大器的输出端接反馈电阻Rf的一端，反馈电阻的另一端接反馈线圈，反馈线圈与SQUID通过互感耦合，运算放大器输出电压驱动反馈电阻Rf产生电流，通过反馈线圈与SQUID互感Mf产生反馈磁通，构成磁通锁定环路；2)负端输入接线方式：偏置电流源提供的偏置电流Ib加载到SQUID中，SQUID电压信号接运算放大器的负输入端，偏置电压Vb接运算放大器的正输入端，运算放大器的输出端接反馈电阻Rf的一端，反馈电阻的另一端连接反馈线圈，反馈线圈与SQUID通过互感耦合，运算放大器输出电压驱动反馈电阻Rf产生电流，通过反馈线圈与SQUID互感Mf产生反馈磁通，构成磁通锁定环路；此外，(一)正端输入接线方式有以下A、B和C三种中的任一种：A：①供电电源+Vs和-Vs：整个电路采用双极性电源供电，即正电源端+Vs接入正电压电源和负电源端-Vs接入负电压电源；②SQUID偏置电流调节电路B1：其功能是给SQUID加载一个流向SQUID的两个约瑟夫森结的偏置电流，通过调节加载到SQUID偏置电流的大小，使得SQUID获得最佳的磁通电压转换特性；可调偏置电流电路中可调电位器RA1是一个三端子的可调电阻，其中电位器的1和2的两端为一个固定阻值的电阻，电位器的3端为可调电阻抽头，电位器RA1的1和2两端分别接到正电源+Vs和负电源-Vs；电位器RA1的3端输出电位器电阻分压，通过调节电位器抽头位置产生可调电压；该电压输出接电阻R1,电阻R1的另一端与SQUID串联；③SQUID偏置电压调节电路B2：其功能是产生一个可调节的直流电压，接入运算放大器的负输入端；通过调节使该电压与SQUID工作点处的直流电压相同，实现工作点调零，可调偏置电压电路中的可调电位器RA2是一个三端子的可调电阻器，其中电位器的1和2两端为一个固定端，其电阻值在10k欧姆到100k欧姆之间，电位器RA1的1和2两端分别接正电源+Vs和负电源-Vs，可变电阻引出抽头端3端输出电阻分压，该电压接电阻R3的一端，R3另一端与R2串联，R2另一端接地；R2与R3的连接端将产生的电阻分压引出作为偏置电压信号Vb；④SQUID器件SQ1：SQ1使用放置在4.2K的液氦温度下工作的低温直流超导量子干涉器件或放置在77K的液氮温度下工作的高温直流超导量子干涉器件，是一个两端子器件，SQ1的一端接入运算放大器正输入端，同时与偏置电流电路B1的电流输出端相连，SQ1的另一端接地；⑤反馈线圈L1：是一个与SQUID具有互感耦合的线圈，反馈线圈将反馈回路产生的电流转变成反馈磁通耦合到SQUID中，形成抵消磁通；反馈线圈L1一端接反馈电阻Rf,另一端接地；⑥运算放大器U1：采用双极性供电的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永良，张懿，常凯，汉斯约阿希姆·克劳斯，徐小峰，邱阳，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，于利希研究中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31