集成光栅的楔形结构的边发射太赫兹量子级联激光器制造技术
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提出了一种集成光栅的楔形结构的边发射太赫兹量子级联激光器及其制作方法，集成光栅的楔形结构的边发射太赫兹量子级联激光器至少包括：依次相连接的DBR光栅波导、矩形直波导和楔形波导；所述楔形波导的一端为窄端面，另一端为宽端面，所述楔形波导的窄端面与所述矩形直波导相连接。本专利技术采用楔形波导结构增大激光器增益面积提高输出光功率，减小激光器远场光斑发散角，提高出射光束质量；采用一阶DBR光栅结构，实现单纵模激射，提供激射光的反射，替代传统端面镀膜工艺。【专利说明】集成光栅的楔形结构的边发射太赫兹量子级联激光器
本专利技术属于激光器半导体
，涉及一种太赫兹量子级联激光器，特别是涉及一种集成光栅的楔形结构的边发射太赫兹量子级联激光器。
技术介绍
太赫兹(以下简称THz，ITHz = 1012Hz)波段是指电磁波谱中频率从10GHz到ΙΟΤΗζ，对应的波长从3毫米到30微米，介于毫米波与红外光之间的电磁波谱区域。由于缺少有效的THz辐射产生和检测方法，导致THz波段的电磁波长期未得到充分地研究和应用，被称为电磁波谱中的“T...
【技术保护点】
一种集成光栅的楔形结构的边发射太赫兹量子级联激光器，其特征在于：包括：依次相连接的DBR光栅波导、矩形直波导和楔形波导；所述楔形波导的一端为窄端面，另一端为宽端面，所述楔形波导的窄端面与所述矩形直波导相连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：姚辰，曹俊诚，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31
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