在（100）单硅片上制作宽频带高量程加速度传感器的方法技术
【技术实现步骤摘要】
在（100)单硅片上制作宽频带高量程加速度传感器的方法
本专利技术属于硅微机械传感器
，涉及一种宽频带高灵敏度的高量程加速度 传感器及其制作方法。
技术介绍
高量程的加速度传感器在许多领域中都有着非常重要的应用价值，最典型的应用 是在工程冲击实验、侵彻型撞击测量、爆炸实验等，在民用和军事两方面都有迫切需求。 高量程传感器在实际应用环境中，需要传感器具有快速响应，并且要求有较宽的 测量频率带宽，保证测量的高频信号不失真，因此要求传感器具有高的灵敏度和较宽的工 作频率带宽。目前量程在10万g的高量程加速度传感器的种类已有一些研究报道，如，一 种压阻检测的带曲面保护的悬臂梁结构的高量程加速度传感器已在实际应用（具体可见 文献：Journal of Micromechanics and Microengineening. Vol. 12, 2002:742-746.)，其具 有较高的灵敏度，但其一阶共振频率仅为81KHz，容易激发共振，导致信号提取有一定的难 度，高频信号也有可能被丢失。一般传感器的谐振频率与其灵敏度的乘积为一常数，要想同 时获得较高的灵敏度和谐振频率是很困难的。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种宽频带高量程加速度 传感器及其制作方法，用于解决现有技术中的的高量程加速度传感器的工作频率带宽较 窄，灵敏度不高的问题。 为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种宽频带高量程加速度传感器， 所述宽频带高量程加速度传感器包括：支撑框，设置在所述加速度传感器中...
【技术保护点】
一种宽频带高量程加速度传感器，其特征在于，所述宽频带高量程加速度传感器包括：支撑框，设置在所述加速度传感器中，且框体呈矩形结构；弹性板，顺应所述框体呈矩形立方结构并设置于所述框体中；所述弹性板两个相对的侧面固支于所述支撑框的内侧，另两个相对的侧面与所述框体具有一定的间隙；多个微梁，对称地分布于所述弹性板非固支的两侧，且位于所述弹性板同一侧的微梁相互平行；所述微梁的一端与所述弹性板相连接，另一端与所述支撑框相连接；所述微梁纵截面的形状为五边形；所述微梁为用作压阻敏感电阻的微梁，各压阻敏感电阻之间相互连接成惠斯通全桥电路。
【技术特征摘要】
1. 一种宽频带高量程加速度传感器，其特征在于，所述宽频带高量程加速度传感器包 括： 支撑框，设置在所述加速度传感器中，且框体呈矩形结构； 弹性板，顺应所述框体呈矩形立方结构并设置于所述框体中；所述弹性板两个相对的 侧面固支于所述支撑框的内侧，另两个相对的侧面与所述框体具有一定的间隙； 多个微梁，对称地分布于所述弹性板非固支的两侧，且位于所述弹性板同一侧的微梁 相互平行；所述微梁的一端与所述弹性板相连接，另一端与所述支撑框相连接；所述微梁 纵截面的形状为五边形；所述微梁为用作压阻敏感电阻的微梁，各压阻敏感电阻之间相互 连接成惠斯通全桥电路。2. 根据权利要求1所述的宽频带高量程加速度传感器，其特征在于：所述弹性板非固 支的两侧各分布一对平行的微梁。3. 根据权利要求1所述的宽频带高量程加速度传感器，其特征在于：所述微梁以所述 弹性板的中心呈中心对称分布。4. 根据权利要求1所述的宽频带高量程加速度传感器，其特征在于：所述微梁的厚度 与宽度之比大于万/2。5. 根据权利要求1所述的宽频带高量程加速度传感器，其特征在于：所述支撑框的上 表面、所述微梁的上表面与所述弹性板的上表面位于同一平面；所述支撑框的下表面与所 述弹性板的下表面位于同一平面。6. 根据权利要求1至5中任一项所述的宽频带高量程加速度传感器，其特征在于：所 述支撑框的上、下表面、所述微梁的上表面和所述弹性板的上、下表面分别为硅（100)晶 面。7. 根据权利要求6所述的宽频带高量程加速度传感器，其特征在于：所述微梁的五个 表面包括一个娃（100)晶面、两个与所述娃（100)晶面相连接的娃（110)晶面和两个位于 所述两硅（110)晶面之间的硅（111)晶面。8. 根据权利要求7所述的宽频...
【专利技术属性】
技术研发人员：张鲲，李昕欣，鲍海飞，宋朝辉，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31
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