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中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术
中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利
一种W波段多端口平面电路测试夹具制造技术
本发明提供一种W波段多端口平面电路测试夹具,该测试夹具至少包括:具有腔体的夹具本体,所述腔体中放置有微带传输线;在所述夹具本体上设置有与所述微带传输线方向一致的第一端口和第二端口;在与所述第一端口、第二端口所在的中心线方向垂直的夹具本体...
基于带状吸气剂的混合晶圆级真空封装方法及结构技术
本发明提供一种基于带状吸气剂的混合晶圆级真空封装方法及结构,包括步骤:a)提供一垫片、一衬底片及一盖片,于所述垫片中形成芯片封装腔及吸气剂腔,并形成通气孔;b)键合所述垫片及所述衬底片形成封装腔体;c)提供一待封装芯片,将所述芯片通过键...
基于吸气剂薄膜的混合晶圆级真空封装方法及结构技术
本发明提供一种基于吸气剂薄膜的混合晶圆级真空封装方法及结构,该方法包括步骤:a)提供一垫片、一衬底片及一盖片,于所述垫片中形成芯片封装腔;b)键合所述垫片及所述衬底片;c)将待封装芯片通过键合结构键合于所述衬底片;d)提供吸气剂,并将所...
一种基于CSMA/CA的低时延多跳广播通信方法技术
本发明提供了一种基于CSMA/CA的低时延多跳广播通信方法,通过在业务信道间隔(SCHI)内对“事发车辆双重信道预约机制”、“事发/中继车辆多方握手机制”、“事发车辆即时预警发布机制”和“中继车辆随机退避转发机制”的综合应用,本发明能够...
供电系统技术方案
本实用新型提供一种供电系统,用于向包含超导传感器的负载供电,包括:与外部供电电源相连的至少两个受控开关;与每个受控开关对应连接的充电电池,其中,受控开关将充电电池在供电电源和负载之间切换连通,各充电电池并联连接;与每个受控开关和供电电源...
一种表面多功能化微流控芯片的圆片级制造方法技术
本发明提供一种表面多功能化微流控芯片的圆片级制造方法,包括步骤:1)提供一表面具有微通道和储液池的基底,生长第一自组装单层膜;2)提供一具有镂空结构的硬掩膜,对准后,利用紫外光穿过镂空结构辐照至第一自组装单层膜的局部区域,使所述第一自组...
一种建筑节能系统技术方案
本发明涉及一种建筑节能系统,包括建筑节能装置和环境采集设备,环境采集设备布设在建筑物内采集建筑物内的环境参数;建筑节能装置包括:第一传输模块与环境采集设备实现连接,用于获取环境采集设备采集的建筑物内的环境参数;能耗设备状态采集模块,用于...
一种基于ALD的石墨烯基热电子晶体管及其制备方法技术
本发明提供一种基于ALD的石墨烯基热电子晶体管及其制备方法,包括步骤:1)提供一重掺杂N型Si,在其表面两侧生长发射区电极;2)在所述重掺杂N型Si表面热氧化形成第一势垒;3)在所述第一势垒表面形成单层石墨层作为基区,并在其表面两侧形成...
张应变锗MSM光电探测器及其制作方法技术
本发明提供一种张应变锗光电探测器及其制作方法,该方法至少包括以下步骤:S1:提供一衬底并在其上依次形成牺牲层及锗层;S2:在所述锗层上形成一金属层,所述金属层对所述锗层提供应力;S3:将所述金属层图形化,形成一对金属主基座及一对金属次基...
一种频率扩展结构制造技术
本发明提供一种频率扩展结构,所述频率扩展结构包括混频器以及巴伦结构;其中:所述混频器包括RF输入端口、LO输入端口及两个输出端口,待处理信号输入到所述RF输入端口,本振信号输入到所述LO输入端口,两个输出端口分别输出I/Q两路信号;所述...
一种超薄绝缘体上材料的制备方法技术
本发明提供一种超薄绝缘体上材料的制备方法,包括步骤:1)在所述第一衬底表面外延第一掺杂单晶层、缓冲层、第二掺杂单晶层以及待转移层;2)低剂量离子注入至所述第一掺杂单晶层与第一衬底的界面以下预设深度;3)键合所述第二衬底的绝缘层与待转移层...
分布式布拉格反射结构的太赫兹量子级联激光器制造技术
本发明提供一种分布式布拉格反射结构的太赫兹量子级联激光器,包括多模波导及分别形成于所述多模波导两侧的DBR光栅波导,其中,所述多模波导的宽度至少为所述DBR光栅波导宽度的两倍。本发明采用宽度较宽的多模波导与宽度较窄的DBR光栅波导组合设...
一种柔性导热垫片的制备方法技术
本发明涉及一种柔性导热垫片的制备方法,包括以下步骤:提供一泡沫金属;提供一导热材料;将所述导热材料填入该泡沫金属中,形成导热垫片。本发明将导热性能较好并且尺寸合适的材料填入泡沫金属的空隙当中,得到的导热垫片与处理前的泡沫金属以及填充材料...
一种在超导瞬变电磁应用中的噪声抑制方法技术
本发明涉及一种在超导瞬变电磁应用中的噪声抑制方法,其特征在于所述的噪声抑制方法是将经验模态分解方法和环境磁场参考测量相结合;具体是首先建立TEM接收系统和环境磁场参考测量系统,分别测量TEM信号和环境磁场信号,并采用EMD模块对这两类信...
一种蜂窝网络中的D2D通信方法技术
本发明公开了一种蜂窝网络中的D2D通信方法,包括将小区划分为专用资源区和共享资源区;根据小区内D2D终端上报的干扰状态信息及干扰D2D终端信息,将小区内的D2D通信对进行分簇;D2D通信的两终端共享基站下发的D2D资源分配控制信息,能够...
参考电阻优化的相变存储器读电路及参考电阻优选方法技术
本发明提供一种参考电阻优化的相变存储器读电路及参考电阻优选方法,所述读电路包括:参考模块、参考相变存储单元写电路、参考相变存储单元电压嵌位、电流乘积平方根电路及电流灵敏放大器。本发明根据相变存储单元的读出原理,通过对两个参考相变存储单元...
一种石墨烯的制备方法技术
本发明公开了一种石墨烯的制备方法,其特征在于以天然石墨为原料,极性溶剂为分散介质,在石墨烯量子点辅助下通过机械剥离方法制备高质量石墨烯,主要利用石墨烯量子点在极性溶剂中良好的分散性,及其与石墨烯/石墨烯片层之间较强的非共价键结合,促进天...
一种柔性衬底上制备石墨烯器件的方法技术
本发明提供一种柔性衬底上制备石墨烯器件的方法,所述方法至少包括:1)提供一柔性衬底,将所述柔性衬底粘附至一硬性衬底,并在所述柔性衬底上形成石墨烯导电沟道;2)采用电子束曝光图形化形成源、漏电极图形,沉积金属并剥离在所述石墨烯导电沟道的两...
分布式无线传感网时间同步方法技术
本发明涉及一种分布式无线传感网时间同步方法,其特征在于基于低通滤波技术的分布式平均方法,对节点时间更新量低通滤波包括以下步骤:传感器节点建立邻居列表,节点相互交换时间信息,利用分布式平均计算时间更新量,节点对时间更新量低通滤波,根据更新...
一种降低石墨烯与电极接触电阻的方法技术
本发明提供一种降低石墨烯与电极接触电阻的方法,包括步骤:首先,提供衬底,在所述衬底上形成石墨烯;然后,在所述石墨烯表面形成暴露出石墨烯两端的边缘的BN薄膜,;接着,定义源、漏电极区域,形成金属催化层,并在氢气气氛中进行退火,使所述金属催...
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