中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 一种基于体硅加工工艺的微型热电能量采集器的制备方法
    本发明提供一种基于体硅加工工艺的微型热电能量采集器的制备方法,所述制备方法包括:器件层的制备,先在P型硅上刻蚀深孔,再在深孔中填充热电材料,并通过顶部电连接层实现热电偶对之间的串联,之后通过键合将器件层转移到顶部衬底片,减薄器件层底部的...
  • 本发明涉及一种高品质因数电感制造方法,包括以下步骤:提供一硅基板,在所述硅基板正反两面沉积掩膜层后在该硅基板正面的掩膜层上形成腐蚀窗口;沿所述腐蚀窗口形成位于该硅基板内的深坑结构;旋涂聚合物形成隔离层,该隔离层覆盖所述深坑结构并高出硅基...
  • 本发明涉及一种用于光刻掩膜板制作过程的夹具,包括主体部分,所述主体部分呈矩形框架结构;所述主体部分的四个角的内侧设有支撑柱体,所述主体部分的周边设有多个槽口;所述主体部分的四个角上还设有用于安装提杆的螺纹孔。本发明可以使得掩膜板制作过程...
  • 一种基于薄膜半导体-石墨烯异质结的光电探测器制备方法
    本发明提供一种基于薄膜半导体-石墨烯异质结的光电探测器制备方法,包括步骤:首先,提供一衬底,在所述衬底表面两侧生长金属电极;然后在所述衬底及金属电极表面生长薄膜半导体层;接着,去除部分薄膜半导体层,暴露出其中一侧的金属电极以及部分衬底;...
  • 本发明提供一种高密度电感的制造方法,包括以下步骤:在硅基板正反两面沉积掩膜层后在该硅基板反面形成腐蚀窗口;沿所述腐蚀窗口形成位于该硅基板内的深坑结构;在所述硅基板正面的掩膜层上形成第一层金属图形;在步骤C之后获得的结构上旋涂介质层并图形...
  • 本发明提供一种纳米线与石墨烯的复合材料及其制备方法,制备方法包括:1)提供SGOI衬底,SGOI衬底由下至上依次包括硅衬底、埋氧层及SiGe层;2)刻蚀SiGe层,形成预定尺寸的条状SiGe阵列;3)将步骤2)得到的结构进行锗浓缩,得到...
  • 本发明涉及一种高密度电感的制造方法,包括以下步骤:在硅基板正反两面沉积掩膜层后在该硅基板反面形成腐蚀窗口;沿所述腐蚀窗口形成位于该硅基板内的深坑结构;在所述硅基板正面的掩膜层上形成第一层金属图形;在步骤C之后获得的结构上旋涂介质层并图形...
  • 一种利用含醛基的硼酯化合物检测过氧化物的方法
    本发明涉及一种利用含醛基的硼酯化合物检测过氧化物的方法,其特征在于包括,首先制备含醛基的硼酯化合物的薄膜,然后将薄膜充分暴露于脂肪伯胺的饱和蒸汽中熏蒸,以形成的新的薄膜经自然晾干或真空干燥后即可用于过氧化物蒸汽检测。本发明所提供的检测方...
  • 一种基于分段算法的毫米波平面扫描成像方法
    本发明涉及一种基于分段算法的毫米波平面扫描成像方法,包括以下步骤:在毫米波扫描平面上获得信号f(x,y,ω);将所述信号f(x,y,ω)按照天线波束的张角来进行分段;将上述分段信号做关于x和y的二维离散傅里叶变换;通过相位修正因子得到相...
  • 本发明涉及一种量子点荧光探针及其应用,其特征在于所述的量子点荧光探针利用双功能交联剂长链磺基琥珀酰亚胺4-[N-甲基马来酸]-1-羧环己烷Succinimidyl-4-[N-Maieimidomethyl]cyclohexane-1-c...
  • 一种钙钛矿型Sr2IrO4单晶薄膜材料的制备方法
    本发明提供一种钙钛矿型Sr2IrO4单晶薄膜材料的制备方法,所述制备方法至少包括:首先提供一SrTiO3衬底;然后对所述SrTiO3衬底进行预处理,获得具有单一终截面的SrTiO3衬底;接着对所述具有单一终截面的SrTiO3衬底依次进行...
  • 一种全双工无线网络中的节点配对与资源竞争方法
    本发明涉及一种全双工无线网络中的节点配对与资源竞争方法,通过综合运用流量平衡性评估、上行参数适配、轮询分片传输、反馈间隙检测、竞争配对尝试等技术手段,有效解决了现有全双工网络中的资源竞争与流量匹配、同信道干扰与节点匹配、上行多终端竞争接...
  • 一种光学读出红外探测器结构及其制作方法
    本发明提供一种光学读出红外探测器结构及其制作方法,所述探测器结构至少包括:玻璃衬底和通过第二锚悬空于所述玻璃衬底上的悬浮结构;所述悬浮结构包括可见光反射层、红外吸收层以及支撑梁;所述可见光反射层悬空于所述玻璃衬底上,所述红外吸收层通过第...
  • 一种水基ALD诱使的可逆N型石墨烯制备方法
    本发明提供一种水基ALD诱使的可逆N型石墨烯制备方法,包括步骤:首先,提供一衬底,在所述衬底表面形成石墨烯层;然后将生长有所述石墨烯层的衬底置于ALD腔体中,并将所述ALD腔体温度升至设定值,并通入至少一个循环的去离子水,提高吸附在所述...
  • 本发明提供一种超高分辨率的磁共振成像方法及装置,所述方法至少包括以下步骤:将被检样品放置于磁场梯度源与纳米超导量子干涉器件的作用范围内;采用静磁场源对被检样品施加静磁场,采用射频源对所述被检样品施加核磁共振射频脉冲以激发所述被检样品使其...
  • 一种绝缘体上石墨烯的制备方法
    本发明提供一种绝缘体上石墨烯的制备方法,包括:提供一锗催化衬底,将其放入生长腔室,并通入含氢气氛,以在所述锗催化衬底表面形成Ge-H键;将所述催化衬底加热至预设温度,并通入碳源,在所述锗催化衬底表面生长得到石墨烯;提供一绝缘衬底,将所述...
  • 一种绝缘体上材料的制备方法
    本发明提供一种制备绝缘体上材料的方法,包括以下步骤:S1:提供一衬底;S2:在所述衬底表面依次外延第一材料层、硼掺杂第一材料层及第二材料层;S3:重复步骤S2至少一次;S4:进行离子注入,使离子注入到最远离所述衬底的所述第一材料层中;S...
  • 本发明涉及一种基于热力学优化的双链置换核酸探针高特异性检测单碱基改变的方法,包括:(1)针对预检测的目的序列,设计双链置换探针,并设计出相应的PCR扩增引物;通过引物扩增出目的靶序列;通过探针和引物设计,使反应1的自由能变化量接近于0,...
  • 本发明提供一种高品质因数电感制造方法,包括以下步骤:提供一硅基板,在所述硅基板正反两面沉积掩膜层后在该硅基板反面形成腐蚀窗口;沿所述腐蚀窗口形成位于该硅基板内的深坑结构;在所述硅基板正面的掩膜层上形成第一层金属图形;在步骤C之后获得的结...
  • 本发明涉及一种车辆类型分类检测识别系统和方法,系统包括无线式地磁车辆检测装置、无线通信基站和计算机,所述无线式地磁车辆检测装置安装在每条道路中间,包括地磁传感器和无线通信模块,所述地磁传感器用于监测磁场变化以判断道路上是否有车辆经过;所...