中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本实用新型涉及一种异构多核高速无线传输设备,包括:以太网接口、前端射频接口、基带处理器、内存、GPS模块、闪存模块、电源、FMC和/或USB接口与JTAG调试接口;所述基带处理器分别与以太网接口、前端射频接口、内存、GPS模块、闪存模块...
  • 一种热电能量采集器及其制作方法
    本发明提供一种热电能量采集器及其制作方法,该方法包括以下步骤:S1:制作第一器件片;S2:制作第二器件片;S3:将所述第一器件片与第二器件片键合,使各个第一、第二热电偶臂通过第一电连接块与第二电连接块相互交替依次相连,其中,各个所述第一...
  • 本发明提供一种基于扭转闪耀光栅检测的磁场传感器及其制备方法,包括:1)提供半导体基底,在半导体基底表面形成第一凹槽;2)在第一凹槽内形成磁性薄膜结构;3)提供键合基底,将半导体基底与键合基底键合;4)在键合后的半导体基底表面形成闪耀光栅...
  • 本发明提供一种应力可调的悬浮应变薄膜结构及其制备方法,该方法包括以下步骤:S1:提供一自上而下依次包括顶层应变半导体层、埋氧层及半导体衬底的半导体结构,刻蚀顶层应变半导体层形成预设图形微结构及基座;所述微结构包括一对平板及连接于该一对平...
  • 一种抗单粒子效应的静态随机存储器单元
    本发明提供一种抗单粒子效应的静态随机存储器单元,所述存储单元至少包括:第一交叉耦合型反相器,由第一上拉管和第二上拉管组成;第二交叉耦合型反相器,由第一下拉管和第二下拉管组成;传输管,由第一存取管、第二存取管、第三存取管及第四存取管组成。...
  • 本发明涉及一种便携式基于地磁传感器实现车辆检测和分类识别方法。通过搭建便携式的车辆检测和分类识别系统,并且在路边布置好该便携式系统。接下来针对典型车型,使用地磁传感器采集车辆经过传感器旁边时对地球磁场的扰动信号,并将磁场扰动数据保存到P...
  • 本发明提供一种存储器,至少包括:衬底和依次形成于衬底上的底电极和介质层、介质层上的复合存储结构及复合存储结构上的顶电极。本发明还提供该存储器的制作方法:在清洗后的衬底上依次形成底电极和介质层;在介质层上制作贯孔;在介质层上形成由硫系化合...
  • 本发明涉及一种锂离子电池用改性钛酸锂负极材料及制备方法,其特征在于所述的改性钛酸锂负极材料为铜和碳原位复合的钛酸锂负极材料,铜与钛酸锂材料的质量百分比为0.1-10%,碳与钛酸锂材料的质量百分比为0.1-5%。制备方法特征在于将二氧化钛...
  • 混合晶圆级真空封装方法及结构
    本发明提供一种混合晶圆级真空封装方法及结构,包括步骤:a)提供一衬底片,于所述衬底片中形成芯片封装腔;b)于所述衬底片的芯片封装腔中制作吸气剂薄膜;c)提供一包括基底及器件区域的已通过测试的待封装芯片;d)提供一真空设备,将所述待封装芯...
  • 本发明的基于氟化石墨烯钝化的AlGaN/GaN HEMT器件及其制作方法,将单层石墨烯转移到AlGaN表面,经过氟离子处理后绝缘,以此替代常规氮化物钝化层。然后在石墨烯上生长高k材料,两者共同作为栅介质,制备AlGaN/GaN金属-绝缘...
  • 本发明提供一种相变存储器检测结构及其制备方法,包括:半导体衬底,所述半导体衬底内形成有有源区;相变存储器单元,位于所述半导体衬底上,且与所述有源区相连接;相变电阻伪单元,位于所述相变存储器单元的一侧,且与所述有源区相隔离。本发明利用该相...
  • 一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法
    本发明提供一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法,包括以下步骤:1)清洗基底表面;2)采用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层氧化锌种子层;3)在基底上采用水热法生长氧化锌纳米线阵列;4)再将基底清洗并干燥后,形成棒状氧化锌纳米线阵列;5)采...
  • 大量程SQUID磁传感器的工作点跳变控制方法及系统
    本发明提供一种大量程SQUID磁传感器的工作点跳变控制方法及系统,该方法包括:当大量程SQUID磁传感器的FLL的输出电压幅度达到上限电压幅度时,输出一控制信号至FLL的复位控制端,使FLL开始复位;当大量程SQUID磁传感器的FLL的...
  • 本发明提供一种微机械硅谐振器的温度补偿结构及其制作方法,包括微机械谐振器结构;设有空腔并用于支撑所述微机械谐振器结构的底层基底以及位于所述微机械谐振器结构与所述底层基底之间的绝缘层;所述微机械谐振器结构包括具有第一温度系数的结构层,所述...
  • 一种车辆存在检测装置及方法
    本发明涉及一种车辆存在检测装置及方法,装置包括两个多普勒微波雷达传感器模块、地磁传感器和处理器,所述两个多普勒微波雷达模块以和水平面成一定的夹角的方式背靠背呈正立的等腰三角形方式安装,所述地磁传感器工作在值守模式用于间隙性地检测当前磁场...
  • 本发明涉及一种用于三维集成的大厚度光敏BCB的涂覆方法,包括:在晶圆上,先旋涂一层光敏BCB,然后放在真空环境中静置;对第一层BCB进行曝光前热烘、曝光和固化;在第一层上旋涂第二层光敏BCB,并进行光刻、显影和固化;干法刻蚀去除部分BC...
  • 一种宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器及其制备方法
    本发明提供一种宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器及其制备方法,所述宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器包括:衬底、下电接触层、第一多量子阱层、中电接触层、第二多量子阱层以及上电接触层。本发明具有以下有益效果:本发明的太赫兹量子阱光电探测器具有...
  • 振动幅度阈值驱动发电的能量采集器及传感器
    本发明提供一种振动幅度阈值驱动发电的能量采集器及传感器,至少包括:用于感应外界振动的第一级振子;所述第一级振子包括依次连接的第一弹簧、第一质量块及第一磁体;用于产生电能的第二级振子;所述第二级振子包括依次连接的第二弹簧、第二质量块及第二...
  • 本发明涉及生物技术领域,特别是涉及一组人肺鳞癌和诊断用LncRNA生物标志物、相关试剂盒以及他们的用途。本发明提供一组人肺鳞癌诊断用LncRNA生物标志物,所述LncRNA生物标志物包括:ENST00000453324,ENST0000...
  • 一种SQUID磁传感器的失锁复位补偿装置及方法
    本发明提供一种SQUID磁传感器的失锁复位补偿装置及方法,该装置包括:参考SQUID磁传感器,包括第二SQUID器件,第二反馈线圈,及第二读出电路;第二SQUID器件与SQUID磁传感器共用一个信号输入线圈,与信号输入线圈的耦合度低于S...