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中国科学院半导体研究所专利技术
中国科学院半导体研究所共有5962项专利
基于激光多普勒干涉的语音检测系统技术方案
本发明公开了一种语音检测系统。该语音检测系统中,激光通过两个声光调制器产生的差值来实现光学频率调制,从而将待测干涉信号与低频环境扰动信号相分离,并且降低了电路的处理速度以及采集卡的采集速度,同时,因为频率降低的比较多,数据量也要少很多,...
应用于电流传感器角差在线监测系统的信号分离方法技术方案
一种应用于电流传感器角差在线监测系统的信号分离方法,包括如下步骤:步骤1:将电流传感器的输出信号与两个不同初始相位的测试信号一起组成3维观测信号矩阵X(n);步骤2:对观测信号矩阵运行多次FastICA算法,进行信号分离以得到多次分离结...
一种多步单斜模拟数字信号转换装置制造方法及图纸
本发明公开了一种多步单斜模拟数字信号转换装置,包括采样保持求余放大模块、斜坡和参考电压产生模块、比较器、计数器、控制信号发生器、数字校正单元和输出模块,输入电压Vin被采样保持求余放大模块采样后作为比较器的一个输入信号VSH1,与斜坡电...
高速CMOS图像传感器的像素单元及其制作方法技术
本发明公开了一种高速CMOS图像传感器的像素单元及其制作方法,该像素单元包括单晶硅衬底、位于该单晶硅衬底内的浅槽隔离区、完全覆盖该浅槽隔离区下方的掺杂阱、位于该浅槽隔离区之间的转移晶体管和掩埋型感光二极管。利用本发明,提高了感光二极管光...
CMOS图像传感器的像素单元及其制作方法技术
本发明公开了一种CMOS图像传感器的像素单元及其制作方法,该像素单元包括单晶硅衬底、在单晶硅衬底内设置的浅槽隔离区、在浅槽隔离区之间设置的转移晶体管和掩埋型感光二极管,其中转移晶体管包含阈值电压调节区,阈值电压调节区位于转移晶体管栅极及...
基于对称垂直光栅耦合的SOI基电光调制器制造技术
一种基于对称垂直光栅耦合的SOI基电光调制器,包括:一个对称垂直耦合光栅,作为SOI基电光调制器与单模光纤的接口或耦合器和SOI基电光调制器输入端的3-dB光学分束器;两个模式转换器,作为对称垂直耦合光栅处宽波导与单模脊型波导的连接;两...
一种硅基集成化的二位二进制电光编码器制造技术
本发明涉及电光编码器技术领域,公开了一种硅基集成化的二位二进制电光编码器。该电光编码器由三个微环谐振器MRR和三个弯曲的纳米线波导实现,其中输入是四个待编码的电信号和一个处于工作波长处的连续光信号,输出的结果是对电学信号编码后的光信号。...
基于两端口微腔激光器空间干涉的光学生物传感器制造技术
一种基于两端口微腔激光器空间干涉的光学生物传感器,包括:一微腔激光器,该微腔激光器为室温电注入激光器,输出的激光具有较高的边模抑制比,具有好的单模特性;一第一输出端口和第二输出端口,该第一输出端口和第二输出端口直接连接在微腔激光器上;一...
制作立体神经微电极的方法技术
一种制作立体神经微电极的方法,包括以下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在衬底正反面生长掩膜,并做对称图案化处理,得到微电极阵列的原始形状;步骤3:从衬底正反面同时刻蚀,将多余部分去除;步骤4:去除剩余的掩膜;步骤5:对上述步骤得到的结构...
大功率激光用光闸装置制造方法及图纸
一种大功率激光用光闸装置,包括:一光闸组件,该光闸组件包括:一底座,该底座为一矩形板体;一双向摆角电磁铁,位于底座上,并与底座固定,该双向摆角电磁铁的中心有一转轴;一左限位块和一右限位块,位于双向摆角电磁铁中心的转轴的两侧,并固定于底座...
光学微腔生化传感器制造技术
一种光学微腔传感器,包括:一第一3dB光分束器和一第二3dB光分束器;一传感微腔,该传感微腔的一侧与第一3dB光分束器的端口1耦合,该传感微腔的另一侧与第二3dB光分束器的端口1耦合;一参考微腔,该参考微腔的一侧与第一3dB光分束器的端...
基于四波混频效应的光量化器制造技术
一种基于四波混频效应的高速光量化器,包括:一第一光泵浦源、一第二光泵浦源和一采样光源;一高速微波电信号源的输出端与采样光源的输入端连接;一第一、第二和第三光放大器,其输入端分别与第一、第二光泵浦源和采样光源的输出端连接;一强度调制器的输...
一种显微共焦拉曼光谱仪制造技术
本发明公开了一种显微共焦拉曼光谱仪,该光谱仪包括显微共焦拉曼模块和与之匹配的单光栅光谱仪,其中显微共焦拉曼模块包含反射镜、可调角度滤光片架、样品监测光路、拉曼滤光片、显微物镜、汇聚透镜和可调大小针孔。利用显微共焦拉曼模块将激光聚焦到样品...
基于局域加热技术的圆片级低温键合系统及装置制造方法及图纸
本发明公开了一种基于局域加热技术的圆片级低温键合系统及装置,该系统包括真空腔室、支架平台、键合装置、电流源和真空泵组,其中:真空腔室,用于提供键合所需的真空或惰性气氛;键合装置,位于真空腔室内部的支架平台上,用于对待键合圆片提供键合压力...
柔性皮肤表面干电极及制备方法技术
本发明提供一种柔性皮肤表面干电极及制备方法,其中柔性皮肤表面干电极包括:一柔性导电衬底;多个微针体,形成微针阵列,该多个微针体为锥形,分为根部和前端,该多个微针体的根部固定于柔性导电衬底的一面,其微针体的前端高于柔性导电衬底的表面。该该...
一种将柔性薄膜材料粘附在玻璃基底上的方法技术
本发明公开了一种将柔性薄膜材料粘附在玻璃基底上的方法,该方法包括:步骤1:清洗玻璃基底和柔性薄膜材料;步骤2:在该玻璃基底上滴加SU8光刻胶;步骤3:将该柔性薄膜材料的一侧接触该SU8光刻胶,并将该柔性薄膜材料从一侧到另外一侧赶平;步骤...
一种非制冷热电偶红外探测器及其制备方法技术
本发明公开了一种非制冷热电偶红外探测器及其制备方法,该非制冷热电偶红外探测器由下至上依次包括:在硅衬底上热氧化得到的氧化硅薄层,沉积在氧化硅薄层上的高塞贝克系数金属层;具有热隔离作用的热绝缘层;高红外辐射吸收的黑硅材料层;以及其表面钝层...
深能级杂质掺杂的晶体硅红外探测器及其制备方法技术
一种深能级杂质掺杂的晶体硅红外探测器,包括:一硅或SOI衬底;一第一掺杂层,制作在硅或SOI衬底上;一第二掺杂层,制作在第一掺杂层上;一迎光面介质钝化层,制作在第二掺杂层上;一第一金属电极,为E字形结构,该第一金属电极制作在第二掺杂层上...
语音监听的设备和方法技术
本发明公开了一种语音监听的设备和方法。该语音监听设备包括:机械振动传感模块,用于感知由于原始语音而引起的墙体、地面或两者的固体附着物的机械振动信号,并将该机械振动信号转换为电信号;信号处理模块,与机械振动传感模块相连接,用于从电信号中还...
用于金属化学气相沉积设备反应室的进气喷淋头制造技术
一种用于金属化学气相沉积设备反应室的进气喷淋头,包括:一混气室,该混气室为一桶状,在混气室的上面或侧面连通有多个进气通道;一冷却匀气喷头,固接于混气室的下面。其中冷却匀气喷头包括:一上盖板、一下盖板和侧壁,该上盖板、一下盖板和侧壁构成密...
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