中国科学院半导体研究所专利技术

中国科学院半导体研究所共有5962项专利

  • 本发明公开了一种原子层沉积装置。该原子层沉积装置包括:薄膜生长室,在其相对的两侧面分别设置第一红外观察窗口和第二红外观察窗口;傅里叶红外光源,位于薄膜生长室的一侧,用于发射红外光束,红外光束通过第一红外观察窗口透射至位于薄膜生长室内部的...
  • 一种用于快速海洋测温的光纤温度传感器,包括:一长周期光纤光栅;一外壳,为圆柱体,该外壳的中间为圆形镂空状的容置部,该容置部的两端的中心分别有一小孔,在两小孔的外侧为一直径大于小孔的开放状的圆孔,所述长周期光纤光栅容置于外壳的容置部内,且...
  • 一种微电极阵列传感器,包括:一衬底,该衬底上面的两侧分别有一第一反型区和第二反型区;一源极,制作在第一反型区内,该源极有一引出导线;一输出极,制作在第二反型区内,该输出极有一引出导线;一栅氧层,该栅氧层制作在衬底的表面,并暴露出源极和输...
  • 一种GaN基薄膜芯片的制造方法,包括:1)在一蓝宝石衬底上生长外延层,该外延层包括N型层、活性层和P型层;2)在外延层上制作反射层;3)在反射层上涂覆第一树脂层;4)在第一树脂层上粘合第一临时基板,并固化;5)对蓝宝石衬底进行激光剥离,...
  • 本发明公开了一种光子晶体波分复用器,该光子晶体波分复用器采用三角晶格的二维光子晶体结构,包括光子晶体输入直波导、60度斜向波导、光子晶体微腔和光子晶体输出直波导,其中,光信号由一路光子晶体输入直波导输入,沿横向传输约十几个周期后,沿正三...
  • 一种选择区域外延自脉动DFB激光器的制作方法,包括如下步骤:步骤1:在InP衬底上制作两条介质掩膜图形,该两条介质掩膜图形分别包括A段、B段和过渡区;步骤2:在制作有介质掩膜图形的衬底上外延生长多量子阱有源区;步骤3:在多量子阱有源区上...
  • 本发明公开了一种半导体激光照明光源。该半导体激光光源包括:半导体激光器,用于产生激光输出;光束准直模块,位于半导体激光器的光路后端,用于将半导体激光器输出激光的进行平行和准直;光斑匀化模块,位于光束准直模块的光路后端,用于将光束准直模块...
  • 一种可调谐载流子诱导波导光栅,包括:一光传输波导;周期型分布的P掺杂区,形成在光传输波导芯层内的一侧;周期型分布的N掺杂区,远离P掺杂区,形成在光传输波导芯层上的另一侧,该P掺杂区和N掺杂区的中间形成一间隙;所述载流子诱导波导光栅是在偏...
  • 一种全高清视频信号处理电路,包括:一除静电、滤波电路,该电路去除输入视频信号中的高频噪声和静电干扰;一信号分离电路,其输入端与除静电、滤波电路的输出端连接,该电路实现模拟视频信号中同步信号和图像信号的分离和数字化;一视频信号处理电路,其...
  • 本发明公开了一种CMOS图像传感器全局曝光像素单元,包括依次连接的光电二极管、信号读出电路、信号放大电路、信号采样保持电路和信号输出电路,光电二极管用于采集入射光线的原始信息,将采集的目标图像光信号转换成电信号;信号读出电路用于读出光电...
  • 本发明公开了一种用于测量低波数拉曼信号的装置,包括:激发光源;体光栅带通滤光片,用于过滤掉激光的等离子线而纯化激光线;第一体光栅陷波滤光片,位于体光栅带通滤光片将激光反射后的光路上;显微物镜,用于将由第一体光栅陷波滤光片反射来的激光聚焦...
  • 本发明公开了一种在GaAs衬底上制备金属纳米颗粒的方法,该方法包括:在GaAs衬底正反面各淀积一层SiO2进行保护;在GaAs衬底的正面再蒸镀一层金属铝膜;将蒸镀有金属铝膜的GaAs衬底在阳极氧化浴槽中进行阳极氧化;将氧化后的GaAs衬...
  • 本发明公开了一种基于黑硅材料非制冷热红外探测器的制备方法,包括:在硅衬底或SOI衬底上形成温敏二极管;在该温敏二极管表面沉积非晶硅薄膜,在硫系元素氛围下采用超快激光辐照或采用离子注入硫系元素+超快激光辐照的方式对该非晶硅薄膜进行硫系元素...
  • 一种SiO2/SiN双层钝化T型栅AlGaN/GaN?HEMT,包括:一衬底,在衬底上依次生长GaN缓冲层、GaN本征层和AlGaN势垒层;源漏电极,该源漏电极制作在势垒层上面的两侧;一下钝化层,制作在源漏电极之间及势垒层的上面;一上钝...
  • 本发明公开了一种硅基集成化光学异或及同或运算阵列,该光学异或及同或运算阵列由多个光学异或及同或运算单元构成,由该光学异或及同或运算单元组成的一维阵列可同时得到两个向量的异或及同或运算结果,其二维阵列可同时得到向量与矩阵的异或及同或运算结...
  • 本发明公开了一种基于超快激光掺杂的中间带材料的制备方法,该方法包括:在硅衬底表层蒸镀钛薄膜;以及采用超快激光辐照蒸镀有钛薄膜的硅材料表层。本发明提供的基于超快激光掺杂的中间带材料的制备方法,采用超快激光辐照镀有钛薄层的硅衬底的方法,实现...
  • 一种基于高速调制光发射器件非线性谐波特性的高速光量化器,包括:一高速微波电信号源;一采样光源,该采样光源接收高速微波电信号源的信号;一强度调制器,该强度调制器的输入端与采样光源的输出端连接;一高速光电探测器,该高速光电探测器的输入端与强...
  • 本发明公开了一种对铁电晶体材料进行极化的极化电极,用于制备出小周期周期性和准周期周期性反转铁电晶体,该极化电极包括:梳状光栅极化电极,具有多个梳状的光栅电极条;以及设置于该梳状光栅极化电极的光栅电极条之间的、宽度小于该光栅电极条间距的条...
  • 一种基于半导体激光器阵列的投影照明光路,包括:一半导体绿光激光器阵列模组、一半导体红光激光器阵列模组和一半导体蓝光激光器阵列模组;一合光模组;其中该半导体绿光激光器阵列模组、半导体红光激光器阵列模组以及半导体蓝光激光器阵列模组通过光路与...
  • 本发明公开了一种测量状态量的光纤钻孔应变仪,包括:应变筒,用于感受体应变;充满应变筒内的液体,用于传递应变筒感受到的体应变;端盖,用于密封;安装于应变筒底部的膜片,用于感受应变筒内容积的变化,并与光纤的端面形成一个低反射测量干涉仪;安装...